Мазмұны
1. FOUP бағдарламасына шолу және негізгі функциялары
2. FOUP құрылымы мен дизайн ерекшеліктері
3. FOUP жіктеу және қолдану жөніндегі нұсқаулық
4. Жартылай өткізгіштер өндірісіндегі FOUP операциялары және маңызы
5. Техникалық қиындықтар және болашақ даму тенденциялары
6.XKH теңшелген шешімдері және сервистік қолдауы
Жартылай өткізгішті өндіру процесінде Front Opening Unified Pod (FOUP) пластиналарды қорғау, тасымалдау және сақтау үшін пайдаланылатын маңызды контейнер болып табылады. Оның интерьерінде 300 мм пластинаның 25 дана болуы мүмкін және оның негізгі құрамдас бөліктеріне алдыңғы ашылатын контейнер және ашу және жабуға арналған арнайы есік жақтауы кіреді. FOUP 12 дюймдік пластиналардағы автоматтандырылған тасымалдау жүйесіндегі негізгі тасымалдаушы болып табылады. Ол әдетте жабық күйде тасымалданады және жабдықты жүктеу портына итерілгенде ғана ашылады, бұл пластиналарды жабдықтың тиеу/түсіру портына тасымалдауға мүмкіндік береді.
FOUP дизайны микро-орта талаптарына бейімделген. Оның артқы жағында пластинаны салуға арналған ойықтар бар және қақпақ ашқыштың қысқышына сәйкес келу үшін арнайы жасалған. Вафлимен жұмыс істейтін роботтар 1-сыныптағы таза ауа ортасында жұмыс істейді, бұл пластинаның тасымалдау кезінде ластанбауын қамтамасыз етеді. Сонымен қатар, FOUP автоматтандырылған материалдарды өңдеу жүйесі (AMHS) арқылы технологиялық құралдар арасында жылжытылады. Заманауи вафельді зауыттар көбінесе тасымалдау үшін үстіңгі рельсті жүйелерді пайдаланады, ал бірнеше ескі зауыттар жердегі автоматтандырылған басқарылатын көліктерді (AGV) пайдалана алады.
FOUP автоматтандырылған вафельді тасымалдауды ғана емес, сонымен қатар сақтау функциясын да орындайды. Көптеген өндіріс қадамдарына байланысты пластиналар бүкіл процесс ағынын аяқтау үшін айлар алуы мүмкін. Ай сайынғы өндірістің жоғары көлемдерімен біріктірілгенде, бұл фабрикадағы ондаған мың пластиналар үнемі транзитте немесе кез келген уақытта уақытша сақтауда болатынын білдіреді. Сақтау кезінде таза және сенімді өндіріс процесін қамтамасыз ете отырып, ластаушы заттардың пластинкаларға тиюіне жол бермеу үшін FOUP мезгіл-мезгіл азотпен тазартылады.
1. FOUP функциялары мен маңызы
FOUP негізгі функциясы пластиналарды сыртқы соққыдан және ластанудан қорғау, әсіресе тасымалдау кезінде өнімге әсер етуді болдырмау болып табылады. Ол газды тазарту және жергілікті атмосфераны бақылау (LAC) сияқты әдістер арқылы ылғалдың алдын алады, бұл келесі өндіріс қадамын күту кезінде пластинаның қауіпсіз күйде қалуын қамтамасыз етеді. Оның жабық және басқарылатын жүйесі тек қажетті қосылыстар мен элементтерді енгізуге мүмкіндік береді, бұл VOCs, оттегі және ылғалдың пластиналардағы жағымсыз әсерін айтарлықтай азайтады.
25 пластинасы бар толық тиелген FOUP салмағы 9 келіге дейін жетуі мүмкін болғандықтан, оны тасымалдау автоматтандырылған материалды өңдеу жүйесіне (AMHS) сүйенуі керек. Мұны жеңілдету үшін FOUP муфталардың, түйреуіштердің және саңылаулардың әртүрлі комбинацияларымен жасалған және оңай сәйкестендіру және жіктеу үшін RFID электрондық тегтерімен жабдықталған. Бұл автоматтандырылған өңдеу дерлік қолмен жұмыс істеуді қажет етпейді, қателіктерді айтарлықтай төмендетеді және өндіріс процесінің қауіпсіздігі мен дәлдігін арттырады.
2. FOUP құрылымы мен классификациясы
FOUP типтік өлшемдері шамамен ені 420 мм, тереңдігі 335 мм және биіктігі 335 мм. Оның негізгі құрылымдық құрамдас бөліктеріне мыналар жатады: көтергішті тасымалдауға арналған жоғарғы OHT (саңырауқұлақ басы); жабдық пластинкасына кіруге арналған алдыңғы есік; бүйір Ластану деңгейі әртүрлі технологиялық аймақтарды ажырату үшін жиі түспен кодталған тұтқалар; хабарлама карталарын орналастыруға арналған карта аймағы; және FOUP үшін бірегей идентификатор ретінде қызмет ететін төменгі RFID тегі, құралдар мен көтергіштерге оны тануға мүмкіндік береді. Сондай-ақ, негіз құралдармен сәйкестендіру және технологиялық аймақтарды ажырату үшін төрт анықтау және орналастыру саңылауларымен жабдықталған.
Қолданылуына қарай FOUP үш түрге жіктеледі: PRD (өндіріс үшін), ENG (инженерлік пластиналар үшін) және MON (монитор пластиналары үшін). PRD FOUPs өнімді өндіру үшін пайдаланылуы мүмкін, ENG түрлері ҒЗТКЖ немесе эксперименттер үшін жарамды, ал MON түрлері CMP және DIFF сияқты қадамдар үшін процесті бақылауға арналған. PRD FOUPs ENG және MON мақсаттары үшін де, ал ENG түрлері MON үшін пайдаланылуы мүмкін екенін ескеру маңызды, бірақ кері операция сапа тәуекелдерін тудырады.
Ластану деңгейі бойынша жіктелген FOUP FE FOUP (алдыңғы жағындағы процесс, металл жоқ), BE FOUP (артқы процесс, құрамында метал бар) және NI FOUP, CU FOUP және CO FOUP сияқты арнайы металл процестеріне маманданғандарға бөлуге болады. Әртүрлі процестерге арналған FOUP әдетте бүйірлік тұтқалардың немесе есік панельдерінің түсімен ерекшеленеді. Фронт-соңғы процестердің FOUP-тарын бэк-соңғы процестерде пайдалануға болады, бірақ артқы FOUP-тер ешқашан фронт-соңғы процестерде пайдаланылмауы керек, себебі бұл ластану қаупін тудыруы мүмкін.
Жартылай өткізгіштер өндірісіндегі негізгі тасымалдаушы ретінде FOUP жоғары автоматтандыру және ластануды қатаң бақылау арқылы өндіріс процесі кезінде пластинаның қауіпсіздігі мен тазалығын қамтамасыз етеді, бұл оны заманауи вафли фабрикаларында таптырмас инфрақұрылым етеді.
Қорытынды
XKH тұтынушыларға арнайы технологиялық талаптарды және жабдық интерфейсінің сипаттамаларын қатаң сақтай отырып, жоғары теңшелген Front-Opening Unified Pod (FOUP) шешімдерін ұсынуға тырысады. Жетілдірілген материал технологиясы мен нақты өндіріс процестерін қолдана отырып, біз әрбір FOUP өнімі ерекше герметикалық, тазалық және механикалық тұрақтылықты қамтамасыз ететініне кепілдік береміз. Біздің техникалық командамыз FOUP пен материалды өңдеудің автоматтандырылған жүйесі (AMHS), сондай-ақ өңдеу жабдығы арасындағы үздіксіз интеграцияны және тиімді ынтымақтастықты қамтамасыз ететін таңдау бойынша кеңес беру мен құрылымдық оңтайландырудан тазалау мен техникалық қызмет көрсетуге дейін жан-жақты өмірлік циклді қолдауды ұсынатын терең салалық тәжірибесіне ие. Біз пластинкалардың қауіпсіздігін және өнім өнімділігін арттыруды біздің негізгі мақсаттарымыз ретінде үнемі бірінші орынға қоямыз. Инновациялық өнімдер мен жан-жақты техникалық қызметтер арқылы біз жартылай өткізгіштерді өндіру процестеріне сенімді кепілдік береміз, нәтижесінде өндіріс тиімділігі мен өнім шығымдылығын арттырамыз.
Жіберу уақыты: 08 қыркүйек 2025 ж