Жартылай өткізгіштер технологиясының үздіксіз дамуымен жартылай өткізгіштер өнеркәсібінде және тіпті фотоэлектрлік өнеркәсіпте пластиналық субстраттың немесе эпитаксиалды парақтың бетінің сапасына қойылатын талаптар да өте қатаң.Сонымен, вафельдің сапасына қандай талаптар қойылады?Мысал ретінде сапфир пластинкаларын алсақ, пластинаның бетінің сапасын қандай көрсеткіштермен бағалауға болады?
Вафельді бағалау көрсеткіштері қандай?
Үш көрсеткіш
Сапфир пластиналары үшін оның бағалау көрсеткіштері жалпы қалыңдық ауытқуы (TTV), иілу (садақ) және Warp (Warp) болып табылады.Бұл үш параметр бірге кремний пластинкасының тегістігі мен қалыңдығының біркелкілігін көрсетеді және пластинаның толқындау дәрежесін өлшей алады.Вафли бетінің сапасын бағалау үшін гофрды тегістікпен біріктіруге болады.
TTV, BOW, Warp дегеніміз не?
TTV (жалпы қалыңдықтың өзгеруі)
TTV - пластинаның максималды және минималды қалыңдығы арасындағы айырмашылық.Бұл параметр пластинаның қалыңдығының біркелкілігін өлшеу үшін қолданылатын маңызды көрсеткіш болып табылады.Жартылай өткізгішті процесте пластинаның қалыңдығы бүкіл бетінде өте біркелкі болуы керек.Өлшеу әдетте пластинаның бес орнында жүргізіледі және айырмашылық есептеледі.Сайып келгенде, бұл мән пластинаның сапасын бағалау үшін маңызды негіз болып табылады.
Садақ
Жартылай өткізгішті өндірудегі садақ пластинаның иілісін білдіреді, қысылмаған пластинаның ортаңғы нүктесі мен тірек жазықтығы арасындағы қашықтықты босатады.Бұл сөз, бәлкім, садақтың қисық пішіні тәрізді заттың иілу кезіндегі пішінін сипаттаудан туындаса керек.Bow мәні кремний пластинаның ортасы мен жиегі арасындағы ауытқуды өлшеу арқылы анықталады.Бұл мән әдетте микрометрмен (мкм) көрсетіледі.
Бұрыш
Warp - еркін қыстырылмаған пластинаның ортасы мен тірек жазықтық арасындағы максималды және ең аз қашықтық арасындағы айырмашылықты өлшейтін пластинаның ғаламдық қасиеті.Кремний пластинкасының бетінен жазықтыққа дейінгі қашықтықты білдіреді.
TTV, Bow, Warp арасындағы айырмашылық неде?
TTV қалыңдығының өзгеруіне назар аударады және пластинаның иілуіне немесе бұрмалануына қатысты емес.
Садақ негізінен орталық нүкте мен жиектің иілуін ескере отырып, жалпы иілуге бағытталған.
Вафлидің бүкіл бетін иілу және бұрауды қоса алғанда, Warp кеңірек.
Бұл үш параметр кремний пластинаның пішіні мен геометриялық қасиеттеріне қатысты болса да, олар әртүрлі өлшенеді және сипатталады, жартылай өткізгіш процесіне және пластинаны өңдеуге әсері де әртүрлі.
Үш параметр неғұрлым аз болса, соғұрлым жақсы, ал параметр неғұрлым үлкен болса, жартылай өткізгіш процеске теріс әсер етеді.Сондықтан, жартылай өткізгішті тәжірибеші ретінде біз бүкіл процесс процесі үшін пластиналар профилінің параметрлерінің маңыздылығын түсінуіміз керек, жартылай өткізгіш процесті орындауымыз керек, бөлшектерге назар аударуымыз керек.
(цензура)
Хабарлама уақыты: 24 маусым-2024 ж