Жартылай өткізгіш технологиясының үздіксіз дамуымен жартылай өткізгіш өнеркәсібінде және тіпті фотоэлектрлік өнеркәсібінде пластина негізінің немесе эпитаксиалды парақтың бетінің сапасына қойылатын талаптар да өте қатаң. Сонымен, пластиналардың сапасына қойылатын талаптар қандай?сапфир пластиліМысал ретінде, пластиналардың беткі сапасын бағалау үшін қандай көрсеткіштерді пайдалануға болады?
Вафлилерді бағалау көрсеткіштері қандай?
Үш көрсеткіш
Сапфир пластиналары үшін оның бағалау көрсеткіштері жалпы қалыңдық ауытқуы (TTV), иілу (Bow) және warp (Warp) болып табылады. Бұл үш параметр бірге кремний пластинасының жазықтығы мен қалыңдық біркелкілігін көрсетеді және пластинаның толқындылық дәрежесін өлшей алады. Гофрленген бетінің сапасын бағалау үшін жазықтылықты тегістікпен біріктіруге болады.
TTV, BOW, Warp дегеніміз не?
TTV (жалпы қалыңдықтың өзгеруі)
TTV - пластинаның максималды және минималды қалыңдығы арасындағы айырмашылық. Бұл параметр пластина қалыңдығының біркелкілігін өлшеу үшін қолданылатын маңызды индекс. Жартылай өткізгіш процесінде пластинаның қалыңдығы бүкіл бетінде өте біркелкі болуы керек. Өлшеулер әдетте пластинаның бес жерінде жүргізіледі және айырмашылық есептеледі. Сайып келгенде, бұл мән пластинаның сапасын бағалаудың маңызды негізі болып табылады.
Садақ
Жартылай өткізгіш өндірісіндегі садақ пластинаның иілуін білдіреді, бұл қысылмаған пластинаның ортаңғы нүктесі мен тірек жазықтығы арасындағы қашықтықты босатады. Бұл сөз, мүмкін, пластинаның иілген пішіні сияқты, заттың иілген кездегі пішінін сипаттаудан шыққан. Садақ мәні кремний пластинасының ортасы мен шеті арасындағы ауытқуды өлшеу арқылы анықталады. Бұл мән әдетте микрометрлермен (мкм) көрсетіледі.
Верб
Деформация - еркін қысылмаған пластинаның ортасы мен тірек жазықтығы арасындағы максималды және минималды қашықтық арасындағы айырмашылықты өлшейтін пластиналардың жалпы қасиеті. Кремний пластинасының бетінен жазықтыққа дейінгі қашықтықты білдіреді.
TTV, Bow және Warp арасындағы айырмашылық неде?
TTV қалыңдықтың өзгеруіне назар аударады және пластинаның иілуіне немесе бұрмалануына мән бермейді.
Садақ жалпы иілуге бағытталған, негізінен орталық нүкте мен жиектің иілуін ескереді.
Варп пластина бетінің бүкіл иілуі мен бұралуын қамтитын кешенді болып табылады.
Бұл үш параметр кремний пластинасының пішіні мен геометриялық қасиеттерімен байланысты болғанымен, олар әртүрлі өлшенеді және сипатталады, және олардың жартылай өткізгіш процесі мен пластинаны өңдеуге әсері де әртүрлі.
Үш параметр неғұрлым кіші болса, соғұрлым жақсы, ал параметр неғұрлым үлкен болса, жартылай өткізгіш процесіне соғұрлым теріс әсер етеді. Сондықтан, жартылай өткізгіш маман ретінде біз бүкіл процесс процесі үшін пластина профилі параметрлерінің маңыздылығын түсінуіміз керек, жартылай өткізгіш процесін жасай отырып, бөлшектерге назар аударуымыз керек.
(цензура)
Жарияланған уақыты: 2024 жылғы 24 маусым