Жоғары көлемді жартылай өткізгіш өндірісіне арналған 12 дюймдік сапфир пластинасы

Қысқаша сипаттама:

12 дюймдік сапфир пластинасы үлкен аумақты, жоғары өнімді жартылай өткізгіш және оптоэлектрондық өндіріске деген өсіп келе жатқан сұранысты қанағаттандыру үшін жасалған. Құрылғы архитектурасы масштабтала берген сайын және өндіріс желілері үлкенірек пластина форматтарына ауысқан сайын, ультра үлкен диаметрлі сапфир негіздері өнімділікте, өнімділікті оңтайландыруда және шығындарды бақылауда айқын артықшылықтар ұсынады.

Бізге электрондық пошта жіберіңіз

Ерекше өзгешеліктері

Егжей-тегжейлі диаграмма

12 дюймдік сапфир пластинасын енгізу

Жоғары тазалықтағы монокристаллды Al₂O₃-тан жасалған біздің 12 дюймдік сапфир пластиналары керемет механикалық беріктік, термиялық тұрақтылық және беттік сапамен үйлеседі. Оңтайландырылған кристалл өсуі және пластиналарды дәл өңдеу арқылы бұл негіздер озық LED, GaN және арнайы жартылай өткізгіш қолданбалар үшін сенімді өнімділікті қамтамасыз етеді.

Материалдық сипаттамалар

Сапфир (монокристалды алюминий оксиді, Al₂O₃) өзінің керемет физикалық және химиялық қасиеттерімен танымал. 12 дюймдік сапфир пластиналары сапфир материалының барлық артықшылықтарын мұра етеді, сонымен қатар пайдалануға болатын беттің ауданын әлдеқайда үлкен етеді.

Негізгі материалдық сипаттамаларға мыналар жатады:

Өте жоғары қаттылық және тозуға төзімділік
Тамаша термиялық тұрақтылық және жоғары балқу температурасы
Қышқылдар мен сілтілерге жоғары химиялық төзімділік
УК-ден ИК толқын ұзындығына дейінгі жоғары оптикалық мөлдірлік
Тамаша электр оқшаулау қасиеттері

Бұл сипаттамалар 12 дюймдік сапфир пластиналарын қатал өңдеу орталары мен жоғары температуралы жартылай өткізгіш өндіріс процестеріне жарамды етеді.

Өндіріс процесі

12 дюймдік сапфир пластиналарын өндіру үшін кристалды өсірудің озық әдістері және аса дәл өңдеу технологиялары қажет. Әдеттегі өндіріс процесіне мыналар кіреді:

Монокристалды өсу
Жоғары тазалықтағы сапфир кристалдары KY немесе басқа үлкен диаметрлі кристалдарды өсіру технологиялары сияқты озық әдістерді қолдану арқылы өсіріледі, бұл кристалдардың біркелкі бағдарлануын және ішкі кернеудің төмен болуын қамтамасыз етеді.
Кристалды пішіндеу және кесу
Сапфир құймасы дәл пішінделген және жер асты қабатының зақымдануын азайту үшін жоғары дәлдіктегі кесу жабдықтарын пайдаланып 12 дюймдік пластиналарға кесілген.
Тегістеу және жылтырату
Беттің кедір-бұдырлығына, тегістігіне және қалыңдығының біркелкілігіне қол жеткізу үшін көп сатылы тегістеу және химиялық механикалық жылтырату (ХМЖ) процестері қолданылады.
Тазалау және тексеру
Әрбір 12 дюймдік сапфир пластинасы мұқият тазалаудан және бетінің сапасын, TTV, садақ, қисық және ақауларды талдауды қоса алғанда, қатаң тексеруден өтеді.

Қолданбалар

12 дюймдік сапфир пластиналары озық және жаңа технологияларда кеңінен қолданылады, соның ішінде:

Жоғары қуатты және жоғары жарықтылықтағы жарықдиодты субстраттар
GaN негізіндегі қуат құрылғылары және радиожиілік құрылғылары
Жартылай өткізгіш жабдық тасымалдаушысы және оқшаулағыш негіздері
Оптикалық терезелер және үлкен аумақты оптикалық компоненттер
Жетілдірілген жартылай өткізгіш қаптама және арнайы процесс тасымалдаушылары

Үлкен диаметрі өнімділікті арттыруға және жаппай өндірісте шығындардың тиімділігін арттыруға мүмкіндік береді.

12 дюймдік сапфир вафлилерінің артықшылықтары

Әрбір пластина үшін құрылғының жоғары өнімділігі үшін үлкенірек пайдалануға болатын аумақ
Процестің бірізділігі мен біркелкілігі жақсарды
Жоғары көлемді өндірісте бір құрылғыға кететін шығынның төмендеуі
Үлкен өлшемді өңдеуге арналған тамаша механикалық беріктік
Әр түрлі қолданбалар үшін реттелетін сипаттамалар

Теңшеу параметрлері

Біз 12 дюймдік сапфир пластиналары үшін икемді теңшеу ұсынамыз, соның ішінде:

Кристалл бағыты (C-жазықтық, A-жазықтық, R-жазықтық және т.б.)
Қалыңдығы мен диаметріне төзімділік
Бір жақты немесе екі жақты жылтырату
Жиек профилі және фаска дизайны
Беттің кедір-бұдырлығы мен тегістігіне қойылатын талаптар

Параметр	Техникалық сипаттама	Ескертпелер
Вафли диаметрі	12 дюйм (300 мм)	Стандартты үлкен диаметрлі пластина
Материал	Монокристалды сапфир (Al₂O₃)	Жоғары тазалық, электрондық/оптикалық сынып
Кристалл бағыты	C-жазықтық (0001), A-жазықтық (11-20), R-жазықтық (1-102)	Қосымша бағыттар қолжетімді
Қалыңдығы	430–500 мкм	Сұраныс бойынша теңшелетін қалыңдық қолжетімді
Қалыңдыққа төзімділік	±10 мкм	Жетілдірілген құрылғыларға қатаң төзімділік
Жалпы қалыңдықтың өзгеруі (TTV)	≤10 мкм	Вафлидің біркелкі өңделуін қамтамасыз етеді
Садақ	≤50 мкм	Бүкіл пластина бойынша өлшенген
Верб	≤50 мкм	Бүкіл пластина бойынша өлшенген
Беткі әрлеу	Бір жақты жылтыратылған (SSP) / Екі жақты жылтыратылған (DSP)	Жоғары оптикалық сапалы бет
Беттік кедір-бұдырлық (Ra)	≤0,5 нм (жылтыратылған)	Эпитаксиалды өсу үшін атомдық деңгейдегі тегістік
Жиек профилі	Фаза / Дөңгелек жиек	Ұстау кезінде сызаттардың пайда болуын болдырмау үшін
Бағдарлау дәлдігі	±0,5°	Эпитаксиалды қабаттың дұрыс өсуін қамтамасыз етеді
Ақау тығыздығы	<10 см⁻²	Оптикалық тексеру арқылы өлшенеді
Жазықтық	≤2 мкм / 100 мм	Біркелкі литография мен эпитаксиалды өсуді қамтамасыз етеді
Тазалық	100-сынып – 1000-сынып	Таза бөлмемен үйлесімді
Оптикалық беріліс	>85% (УК–ИК)	Толқын ұзындығы мен қалыңдығына байланысты

12 дюймдік сапфир вафлиі туралы жиі қойылатын сұрақтар

1-сұрақ: 12 дюймдік сапфир пластинасының стандартты қалыңдығы қандай?
A: Стандартты қалыңдығы 430 мкм-ден 500 мкм-ге дейін. Тапсырыс берушінің талаптарына сәйкес арнайы қалыңдықтарды да жасауға болады.

2-сұрақ: 12 дюймдік сапфир пластиналары үшін қандай кристалдық бағдарлар бар?
A: Біз C-жазықтығы (0001), A-жазықтығы (11-20) және R-жазықтығы (1-102) бағдарларын ұсынамыз. Басқа бағдарларды құрылғының нақты талаптарына сәйкес реттеуге болады.

С3: Пластинаның жалпы қалыңдығының өзгеруі (TTV) қандай?
A: Біздің 12 дюймдік сапфир пластиналарымыз әдетте TTV ≤10 мкм болады, бұл жоғары сапалы құрылғы жасау үшін пластинаның бүкіл бетінде біркелкілікті қамтамасыз етеді.

Біз туралы

XKH арнайы оптикалық шыны мен жаңа кристалды материалдарды жоғары технологиялық әзірлеуге, өндіруге және сатуға маманданған. Біздің өнімдеріміз оптикалық электроникаға, тұтынушылық электроникаға және әскери салаға қызмет көрсетеді. Біз сапфир оптикалық компоненттерін, ұялы телефон линзаларының қақпақтарын, керамиканы, LT, кремний карбиді SIC, кварц және жартылай өткізгіш кристалды пластиналарды ұсынамыз. Білікті тәжірибеміз бен заманауи жабдықтарымызбен біз стандартты емес өнімді өңдеуде табысқа жетеміз, жетекші оптоэлектронды материалдардың жоғары технологиялық кәсіпорыны болуға ұмтыламыз.