4 дюймдік тазалығы жоғары Al2O3 99,999% сапфир субстраты Диа101,6×0,65 ммт, негізгі жалпақ ұзындығы
Сипаттама
4 дюймдік сапфир пластинкаларының жалпы сипаттамалары келесідей енгізілген:
Қалыңдығы: кәдімгі сапфир пластинкаларының қалыңдығы 0,2 мм мен 2 мм аралығында, ал нақты қалыңдығын тұтынушы талаптарына сәйкес реттеуге болады.
Орналастыру жиегі: пластинаның шетінде әдетте «орналастыру жиегі» деп аталатын шағын бөлік бар, ол пластинаның бетін және жиегін қорғайды және әдетте аморфты болады.
Бетті дайындау: Кәдімгі сапфир пластиналар бетін тегістеу үшін механикалық ұнтақталған және химиялық механикалық жылтыратылған.
Беттік қасиеттері: сапфир пластинкаларының беті әдетте құрылғы жұмысын жақсарту үшін төмен шағылысу және төмен сыну көрсеткіші сияқты жақсы оптикалық қасиеттерге ие.
Қолданбалар
● III-V және II-VI қосылыстар үшін өсу субстраты
● Электроника және оптоэлектроника
● IR қолданбалары
● Сапфирдегі кремний интегралды схемасы (SOS)
● Радиожиілік біріктірілген схемасы (RFIC)
Техникалық сипаттама
| Элемент | 4 дюймдік C-жазықтық (0001) 650 мкм сапфирлі вафли | |
| Кристалды материалдар | 99,999%, жоғары тазалық, монокристалды Al2O3 | |
| Баға | Prime, Epi-Ready | |
| Беттік бағдар | C-жазықтығы(0001) | |
| C-жазықтығы M осіне қарай 0,2 +/- 0,1° бұрыштан тыс | ||
| Диаметрі | 100,0 мм +/- 0,1 мм | |
| Қалыңдығы | 650 мкм +/- 25 мкм | |
| Бастапқы тегіс бағдарлау | A-жазықтығы(11-20) +/- 0,2° | |
| Негізгі жазық ұзындық | 30,0 мм +/- 1,0 мм | |
| Жалғыз жағы жылтыратылған | Алдыңғы беті | Эпи-жылтыратылған, Ra < 0,2 нм (AFM бойынша) |
| (SSP) | Артқы беті | Жұқа ұнтақталған, Ra = 0,8 мкм - 1,2 мкм |
| Екі жақты жылтыратылған | Алдыңғы беті | Эпи-жылтыратылған, Ra < 0,2 нм (AFM бойынша) |
| (DSP) | Артқы беті | Эпи-жылтыратылған, Ra < 0,2 нм (AFM бойынша) |
| TTV | < 20 мкм | |
| ТАҒАМ | < 20 мкм | |
| WARP | < 20 мкм | |
| Тазалау / орау | 100-сыныптағы таза бөлмені тазалау және вакуумды орау, | |
| Бір кассеталық қаптамада немесе бір дана қаптамада 25 дана. | ||
Біздің сапфир өңдеу өнеркәсібінде көп жылдық тәжірибеміз бар. Оның ішінде Қытай жеткізушілер нарығы, сондай-ақ халықаралық сұраныс нарығы. Егер сізде қандай да бір қажеттіліктер болса, бізге хабарласыңыз.
Егжей-тегжейлі диаграмма
