Қос станциялы шаршы машина монокристалды кремний шыбықтарын өңдеу 6/8/12 дюймдік беткі тегістік Ra≤0,5 мкм

Қос станциялы шаршы машина монокристалды кремний өзегін өңдеу 6/8/12 дюймдік беткі тегістік Ra≤0.5μm Таңдаулы сурет

Қысқаша сипаттама:

Монокристалды кремнийлі қос станциялық шаршы машина - монокристалды кремний шыбықтарын (құйма) өңдеуге арналған тиімді жабдық. Ол қос станциялық синхронды жұмыс дизайнын қолданады және бір уақытта екі кремний шыбығын кесе алады, бұл өндіріс тиімділігін айтарлықтай жақсартады. Құрылғы цилиндрлік кремний шыбықтарын гауһар сым кесу технологиясы немесе ішкі дөңгелек ара дискілері арқылы шаршы/квази-шаршы кремний блоктарына (Grit) өңдейді, кейінгі кесуге дайындайды (мысалы, кремний пластиналарын жасау) және фотоэлектрлік және жартылай өткізгіш өнеркәсібіндегі кремний материалдарын өңдеу буындарында кеңінен қолданылады.

Бізге электрондық пошта жіберіңіз

Ерекше өзгешеліктері

Жабдық сипаттамалары:

(1) Қос станциялы синхронды өңдеу
· Қос тиімділік: Екі кремний шыбығын (Ø6"-12") бір мезгілде өңдеу өнімділікті симплекс жабдықтарымен салыстырғанда 40%-60%-ға арттырады.

· Тәуелсіз басқару: Әрбір станция әртүрлі кремний шыбықтарының сипаттамаларына бейімделу үшін кесу параметрлерін (кернеу, беру жылдамдығы) дербес реттей алады.

(2) Жоғары дәлдіктегі кесу
· Өлшемдік дәлдік: шаршы жолақтың бүйірлік қашықтығына төзімділік ±0,15 мм, диапазоны ≤0,20 мм.

· Беткі сапасы: кесу жиегінің сынуы <0,5 мм, кейінгі тегістеу мөлшерін азайтады.

(3) Ақылды басқару
· Бейімделгіш кесу: кремний өзегінің морфологиясын нақты уақыт режимінде бақылау, кесу жолын динамикалық реттеу (мысалы, иілген кремний өзегін өңдеу).

· Деректерді бақылау: MES жүйесін қондыруды қолдау үшін әрбір кремний өзегінің өңдеу параметрлерін жазып алыңыз.

(4) Тұтыну құнының төмендігі
· Алмаз сымының шығыны: ≤0,06 м/мм (кремний шыбығының ұзындығы), сым диаметрі ≤0,30 мм.

· Салқындатқыш сұйықтықтың айналымы: Сүзу жүйесі қызмет ету мерзімін ұзартады және қалдық сұйықтықтың жойылуын азайтады.

Технология мен әзірлеменің артықшылықтары:

(1) Кесу технологиясын оңтайландыру
- Көп сызықты кесу: параллель 100-200 гауһар сызықтар қолданылады, ал кесу жылдамдығы ≥40 мм/мин.

- Кернеуді басқару: сымның үзілу қаупін азайту үшін тұйықталған циклді реттеу жүйесі (±1N).

(2) Үйлесімділікті кеңейту
- Материалды бейімдеу: TOPCon, HJT және басқа да жоғары тиімді батарея кремний шыбықтарымен үйлесімді P типті/N типті монокристалды кремнийді қолдайды.

- Икемді өлшемі: кремний шыбығының ұзындығы 100-950 мм, шаршы шыбықтың бүйірлік қашықтығы 166-233 мм реттеледі.

(3) Автоматтандыруды жаңарту
- Роботпен тиеу және түсіру: кремний шыбықтарын автоматты түрде тиеу/түсіру, ≤3 минут.

- Интеллектуалды диагностика: жоспарланбаған тоқтап қалу уақытын азайту үшін болжамды техникалық қызмет көрсету.

(4) Салалық көшбасшылық
- Пластиналы тіреуіш: шаршы шыбықтармен ≥100 мкм ультра жұқа кремнийді өңдей алады, фрагментация жылдамдығы <0,5%.

- Энергия тұтынуды оңтайландыру: Кремний өзегінің бірлігіне шаққандағы энергия тұтыну 30%-ға азаяды (дәстүрлі жабдықпен салыстырғанда).

Техникалық параметрлер:

Параметрдің атауы	Индекс мәні
Өңделген жолақтар саны	2 дана/жиынтық
Өңдеу жолағының ұзындығының диапазоны	100~950 мм
Өңдеу шеті диапазоны	166~233 мм
Кесу жылдамдығы	≥40 мм/мин
Алмаз сымының жылдамдығы	0~35м/с
Алмаз диаметрі	0,30 мм немесе одан аз
Сызықтық тұтыну	0,06 м/мм немесе одан аз
Дөңгелек өзектің үйлесімді диаметрі	Дайын шаршы шыбықтың диаметрі +2 мм, жылтырату жылдамдығын қамтамасыз етіңіз
Ең озық сынуды бақылау	Шикі жиек ≤0,5 мм, сынықтар жоқ, бетінің сапасы жоғары
Доға ұзындығының біркелкілігі	Проекция диапазоны <1,5 мм, кремний шыбығының бұрмалануын қоспағанда
Машина өлшемдері (бір машина)	4800×3020×3660 мм
Жалпы номиналды қуат	56 кВт
Жабдықтың өлі салмағы	12т

Өңдеу дәлдігі индексінің кестесі:

Дәлдік элементі	Төзімділік диапазоны
Шаршы жолақ шетінің төзімділігі	±0,15 мм
Шаршы жолақтың жиектерінің диапазоны	≤0,20 мм
Шаршы таяқшаның барлық жағындағы бұрыш	90°±0,05°
Шаршы таяқшаның жазықтығы	≤0,15 мм
Роботтың қайталанатын позициялау дәлдігі	±0,05 мм

XKH қызметтері:

XKH монокристалды кремний қос станциялы машиналарға толық циклді қызметтерді ұсынады, соның ішінде жабдықты теңшеу (үлкен кремний шыбықтарымен үйлесімді), процесті іске қосу (кесу параметрлерін оңтайландыру), пайдалану бойынша оқыту және сатудан кейінгі қолдау (негізгі бөлшектерді жеткізу, қашықтан диагностикалау), тұтынушылардың жоғары өнімділікке (>99%) және төмен тұтынылатын шығындар өндірісіне қол жеткізуін қамтамасыз ету, сондай-ақ техникалық жаңартуларды (мысалы, жасанды интеллектпен кесуді оңтайландыру) қамтамасыз ету. Жеткізу мерзімі 2-4 айды құрайды.