Жартылай өткізгіштерге, фотоника оптикалық қолданбаларына арналған жоғары тазалықтағы балқытылған кварц пластиналары 2″4″6″8″12″

Қысқаша сипаттама:

Балқытылған кварц— деп те аталадыБалқытылған кремний диоксиді— кремний диоксидінің (SiO₂) кристалды емес (аморфты) түрі. Боросиликаттан немесе басқа өнеркәсіптік шынылардан айырмашылығы, балқытылған кварц құрамында қоспалар немесе қоспалар жоқ, бұл SiO₂ химиялық таза құрамын ұсынады. Ол дәстүрлі шыны материалдарынан асып түсетін ультракүлгін (УК) және инфрақызыл (ИҚ) спектрлер бойынша ерекше оптикалық өткізгіштігімен танымал.

Бізге электрондық пошта жіберіңіз

Ерекше өзгешеліктері

Егжей-тегжейлі диаграмма

Балқытылған кремний диоксиді және оптикалық кварц шыны пластиналары-2

балқытылған_кварц_вафлиі_4 дюймдік_балқытылған_кремний_вафлиі_

Кварц әйнегіне шолу

Кварц пластиналары бүгінгі цифрлық әлемді басқаратын сансыз заманауи құрылғылардың негізін құрайды. Смартфоныңыздағы навигациядан бастап 5G базалық станцияларының негізіне дейін кварц жоғары өнімді электроника мен фотоника үшін қажетті тұрақтылықты, тазалықты және дәлдікті тыныш қамтамасыз етеді. Икемді схемаларды қолдау, MEMS сенсорларын қосу немесе кванттық есептеулердің негізін қалау болсын, кварцтың ерекше сипаттамалары оны салаларда алмастырылмайтын етеді.

«Балқытылған кремний» немесе «Балқытылған кварц», бұл кварцтың (SiO2) аморфты фазасы. Боросиликат шынымен салыстырғанда, балқытылған кремнийдің қоспалары жоқ; сондықтан ол таза түрінде, SiO2 түрінде болады. Балқытылған кремний кәдімгі шынымен салыстырғанда инфрақызыл және ультракүлгін спектрде жоғары өткізгіштікке ие. Балқытылған кремний ультратаза SiO2 балқыту және қайта қатаю арқылы алынады. Екінші жағынан, синтетикалық балқытылған кремний SiCl4 сияқты кремнийге бай химиялық прекурсорлардан жасалады, олар газдалады және содан кейін H2 + O2 атмосферасында тотығады. Бұл жағдайда пайда болған SiO2 шаңы субстратта кремнийге балқытылады. Балқытылған кремний блоктары пластиналарға кесіледі, содан кейін пластиналар ақырында жылтыратылады.

Балқытылған кремний диоксиді және оптикалық кварц шыны пластиналары

Кварц шыны пластинасының негізгі ерекшеліктері мен артықшылықтары

Өте жоғары тазалық (≥99,99% SiO2)
Материалдың ластануын азайту қажет болатын өте таза жартылай өткізгіш және фотоникалық процестер үшін өте қолайлы.
Кең термиялық жұмыс диапазоны
1100°C-тан жоғары криогенді температурада құрылымдық тұтастықты деформацияланбай немесе тозбай сақтайды.
Керемет УК және ИҚ өткізгіштігі
Терең ультракүлгін (DUV) сәулелерден жақын инфрақызылға (NIR) дейін тамаша оптикалық айқындықты қамтамасыз етеді, дәл оптикалық қолданбаларды қолдайды.
Төмен жылулық кеңею коэффициенті
Температура ауытқулары кезінде өлшемдік тұрақтылықты арттырады, кернеуді азайтады және процестің сенімділігін арттырады.
Жоғары химиялық төзімділік
Көптеген қышқылдарға, сілтілерге және еріткіштерге инертті, бұл оны химиялық агрессивті орталарға өте қолайлы етеді.
Беткі қабаттың икемділігі
Фотоника және MEMS талаптарына сәйкес келетін, өте тегіс, бір жақты немесе екі жақты жылтыратылған әрлеумен қолжетімді.

Кварц шыны пластинасын өндіру процесі

Балқытылған кварц пластиналары бірқатар бақыланатын және дәл қадамдар арқылы өндіріледі:

Шикізатты таңдау
Жоғары тазалықтағы табиғи кварц немесе синтетикалық SiO₂ көздерін таңдау.
Балқу және балқу
Кварц қоспалар мен көпіршіктерді жою үшін бақыланатын атмосферада электр пештерінде ~2000°C температурада балқытылады.
Блок қалыптастыру
Балқытылған кремний диоксиді қатты блоктарға немесе құймаларға салқындатылады.
Вафли кесу
Құймаларды пластина дайындамаларына кесу үшін дәлме-дәл гауһар немесе сым аралар қолданылады.
Тегістеу және жылтырату
Екі беті де оптикалық, қалыңдық және кедір-бұдырлық сипаттамаларына дәл сәйкес келу үшін тегістелген және жылтыратылған.
Тазалау және тексеру
Пластиналар ISO 100/1000 класындағы таза бөлмелерде тазаланады және ақаулар мен өлшем сәйкестігіне мұқият тексеруден өтеді.

Кварц шыны пластинасының қасиеттері

техникалық сипаттама	бірлік	4"	6"	8"	10"	12"
Диаметрі / өлшемі (немесе шаршы)	mm	100	150	200	250	300
Төзімділік (±)	mm	0,2	0,2	0,2	0,2	0,2
Қалыңдығы	mm	0,10 немесе одан көп	0,30 немесе одан көп	0,40 немесе одан көп	0,50 немесе одан көп	0,50 немесе одан көп
Негізгі анықтамалық жазықтық	mm	32,5	57.5	Жартылай ойық	Жартылай ойық	Жартылай ойық
LTV (5мм×5мм)	мкм	< 0,5	< 0,5	< 0,5	< 0,5	< 0,5
TTV	мкм	< 2	< 3	< 3	< 5	< 5
Садақ	мкм	±20	±30	±40	±40	±40
Верб	мкм	≤ 30	≤ 40	≤ 50	≤ 50	≤ 50
PLTV (5мм×5мм) < 0,4 мкм	%	≥95%	≥95%	≥95%	≥95%	≥95%
Жиектерді дөңгелектеу	mm	SEMI M1.2 стандартына сәйкес / IEC62276 стандартына қараңыз
Беттік түрі		Бір жағы жылтыратылған / Екі жағы жылтыратылған
Жылтыратылған жағы Ra	nm	≤1	≤1	≤1	≤1	≤1
Артқы жағының критерийлері	мкм	жалпы 0,2-0,7 немесе теңшелген

Кварц және басқа мөлдір материалдар

Мүлік	Кварц шынысы	Боросиликат әйнегі	Сапфир	Стандартты әйнек
Максималды жұмыс температурасы	~1100°C	~500°C	~2000°C	~200°C
УК өткізгіштігі	Тамаша (JGS1)	Нашар	Жақсы	Өте нашар
Химиялық төзімділік	Тамаша	Орташа	Тамаша	Нашар
Тазалық	Өте жоғары	Төменнен орташаға дейін	Жоғары	Төмен
Жылулық кеңею	Өте төмен	Орташа	Төмен	Жоғары
Құны	Орташадан жоғарыға дейін	Төмен	Жоғары	Өте төмен

Кварц шыны пластинасы туралы жиі қойылатын сұрақтар

1-сұрақ: Балқытылған кварц пен балқытылған кремнийдің айырмашылығы неде?
Екеуі де SiO₂ аморфты формалары болғанымен, балқытылған кварц әдетте табиғи кварц көздерінен алынады, ал балқытылған кремний синтетикалық жолмен өндіріледі. Функционалды тұрғыдан олар ұқсас өнімділікке ие, бірақ балқытылған кремнийдің тазалығы мен біртектілігі сәл жоғары болуы мүмкін.

2-сұрақ: Балқытылған кварц пластиналарын жоғары вакуумды ортада қолдануға бола ма?
Иә. Газдану қасиеттерінің төмендігі мен жылу кедергісінің жоғарылығына байланысты балқытылған кварц пластиналары вакуумдық жүйелер мен аэроғарыштық қолданбалар үшін өте қолайлы.

3-сұрақ: Бұл пластиналар терең ультракүлгін лазерлік қолданбаларға жарамды ма?
Әрине. Балқытылған кварцтың ~185 нм-ге дейін жоғары өткізгіштігі бар, бұл оны DUV оптикасы, литографиялық маскалар және эксимерлі лазерлік жүйелер үшін өте қолайлы етеді.

4-сұрақ: Сіз пластиналарды тапсырыс бойынша жасауды қолдайсыз ба?
Иә. Біз сіздің нақты қолдану талаптарыңызға негізделген диаметрі, қалыңдығы, бетінің сапасы, жазықтықтары/ойықтары және лазерлік өрнектерді қоса алғанда, толық теңшеуді ұсынамыз.

Біз туралы

XKH арнайы оптикалық шыны мен жаңа кристалды материалдарды жоғары технологиялық әзірлеуге, өндіруге және сатуға маманданған. Біздің өнімдеріміз оптикалық электроникаға, тұтынушылық электроникаға және әскери салаға қызмет көрсетеді. Біз сапфир оптикалық компоненттерін, ұялы телефон линзаларының қақпақтарын, керамиканы, LT, кремний карбиді SIC, кварц және жартылай өткізгіш кристалды пластиналарды ұсынамыз. Білікті тәжірибеміз бен заманауи жабдықтарымызбен біз стандартты емес өнімді өңдеуде табысқа жетеміз, жетекші оптоэлектронды материалдардың жоғары технологиялық кәсіпорыны болуға ұмтыламыз.

Өңдеуге арналған сапфир вафлиі, жоғары тазалықтағы шикі сапфир субстраты 5