Монокристалды кремний өсіру пеші, монокристалды кремний құймасын өсіру жүйесінің жабдығының температурасы 2100℃ дейін

Қысқаша сипаттама:

Монокристалды кремний өсіру пеші - жартылай өткізгіш және фотоэлектрлік өнеркәсібінде кеңінен қолданылатын жоғары тазалықтағы монокристалды кремний өзектерін өндіруге арналған негізгі жабдық. Монокристалды кремний интегралды схемаларды, күн батареяларын және басқа да электрондық құрылғыларды өндірудегі негізгі материал болып табылады. Монокристалды кремний өсіру пештері поликремний шикізатын Чохральски (CZ) Чохральски немесе қалқымалы аймақ әдісі (FZ) сияқты әдістерді қолдана отырып, жоғары сапалы монокристалды кремний өзектеріне айналдырады.

Негізгі функциясы: Поликремний шикізатын балқытылған күйге дейін қыздыру, кристалдардың тұқымдық кристалдары арқылы өсуін басқару және бақылау, кристалдардың белгілі бір бағыты мен өлшемі бар монокристалды кремний таяқшаларын қалыптастыру.

Негізгі компоненттер:
Жылыту жүйесі: Әдетте графит жылытқыштарды немесе жоғары жиілікті индукциялық қыздыруды пайдалана отырып, жоғары температуралы ортаны қамтамасыз етеді.

Тигель: Әдетте кварцтан немесе графиттен жасалған балқытылған кремнийді ұстау үшін қолданылады.

Көтеру жүйесі: кристалдың біркелкі өсуін қамтамасыз ету үшін тұқым кристалының айналуын және көтеру жылдамдығын басқарады.

Атмосфераны басқару жүйесі: Балқыма аргон сияқты инертті газдармен ластанудан қорғалған.

Салқындату жүйесі: Термиялық кернеуді азайту үшін кристалды салқындату жылдамдығын басқарыңыз.

Бізге электрондық пошта жіберіңіз

Ерекше өзгешеліктері

Монокристалды кремний өсіру пешінің негізгі сипаттамалары

(1) Жоғары дәлдікті басқару
Температураны бақылау: Балқу тұрақтылығын қамтамасыз ету үшін қыздыру температурасын дәл бақылаңыз (кремнийдің балқу температурасы шамамен 1414°C).
Көтеру жылдамдығын басқару: тұқым кристалының көтеру жылдамдығы дәл қозғалтқышпен басқарылады (әдетте 0,5-2 мм/мин), бұл кристалдың диаметрі мен сапасына әсер етеді.
Айналу жылдамдығын басқару: Кристаллдың біркелкі өсуін қамтамасыз ету үшін тұқым мен тигельдің айналу жылдамдығын реттеңіз.

(2) жоғары сапалы кристалды өсіру
Төмен ақау тығыздығы: Процесс параметрлерін оңтайландыру арқылы ақауы төмен және тазалығы жоғары монокристалды кремний өзегін өсіруге болады.
Ірі кристалдар: диаметрі 12 дюймге (300 мм) дейінгі монокристалды кремний шыбықтарын жартылай өткізгіш өнеркәсібінің қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін өсіруге болады.

(3) Тиімді өндіріс
Автоматтандырылған жұмыс: Заманауи монокристалды кремний өсіру пештері қолмен араласуды азайту және өндіріс тиімділігін арттыру үшін автоматтандырылған басқару жүйелерімен жабдықталған.
Энергияны үнемдейтін дизайн: Энергия тұтынуды азайту үшін тиімді жылыту және салқындату жүйелерін пайдаланыңыз.

(4) Көпфункционалдылық
Әртүрлі процестерге жарамды: CZ әдісін, FZ әдісін және басқа кристалды өсіру технологиясын қолдау.
Әртүрлі материалдармен үйлесімді: Монокристалды кремнийден басқа, оны басқа жартылай өткізгіш материалдарды (мысалы, германий, галлий арсениді) өсіру үшін де пайдалануға болады.

Монокристалды кремний өсіру пешінің негізгі қолданылуы

(1) Жартылай өткізгіштер өнеркәсібі
Интегралды микросхемаларды өндіру: монокристалды кремний процессорды, жадты және басқа да интегралды микросхемаларды өндіруге арналған негізгі материал болып табылады.
Қуат құрылғысы: MOSFET, IGBT және басқа да қуатты жартылай өткізгіш құрылғыларды өндіру үшін қолданылады.

(2) Фотоэлектрлік өнеркәсіб
Күн батареялары: монокристалды кремний жоғары тиімді күн батареяларының негізгі материалы болып табылады және фотоэлектрлік энергия өндіруде кеңінен қолданылады.
Фотоэлектрлік модульдер: Фотоэлектрлік түрлендіру тиімділігін арттыру үшін монокристалды кремний фотоэлектрлік модульдерін өндіру үшін қолданылады.

(3) Ғылыми зерттеулер
Материалдарды зерттеу: Монокристалды кремнийдің физикалық және химиялық қасиеттерін зерттеу және жаңа жартылай өткізгіш материалдарды әзірлеу үшін қолданылады.
Процесті оңтайландыру: Кристалл өсу процесіндегі инновациялар мен оңтайландыруды қолдау.

(4) Басқа электрондық құрылғылар
Сенсорлар: Қысым сенсорлары және температура сенсорлары сияқты жоғары дәлдіктегі сенсорларды өндіру үшін қолданылады.
Оптоэлектрондық құрылғылар: лазерлер мен фотодетекторларды өндіру үшін қолданылады.

XKH монокристалды кремний өсіру пешінің жабдықтары мен қызметтерін ұсынады

XKH монокристалды кремний өсіру пеші жабдықтарын әзірлеу мен өндіруге бағытталған, келесі қызметтерді ұсынады:

Тапсырыс бойынша жасалған жабдық: XKH әртүрлі кристалды өсіру процестерін қолдау үшін тұтынушы талаптарына сәйкес әртүрлі сипаттамалар мен конфигурациялардағы монокристалды кремний өсіру пештерін ұсынады.

Техникалық қолдау: XKH тұтынушыларға жабдықты орнатудан және процесті оңтайландырудан бастап кристалдардың өсуіне техникалық басшылық жасауға дейін толық процесті қолдау көрсетеді.

Оқыту қызметтері: XKH жабдықтың тиімді жұмыс істеуін қамтамасыз ету үшін тұтынушыларға операциялық оқыту және техникалық оқыту жүргізеді.

Сатудан кейінгі қызмет көрсету: XKH тұтынушылардың өндірісінің үздіксіздігін қамтамасыз ету үшін жылдам жауап беретін сатудан кейінгі қызмет көрсетуді және жабдықтарға техникалық қызмет көрсетуді ұсынады.

Жаңарту қызметтері: XKH өндіріс тиімділігі мен кристалл сапасын жақсарту үшін тұтынушылардың талаптарына сәйкес жабдықты жаңарту және түрлендіру қызметтерін ұсынады.

Монокристалды кремний өсіру пештері жартылай өткізгіш және фотоэлектрлік салалардың негізгі жабдықтары болып табылады, олар жоғары дәлдікті басқаруды, жоғары сапалы кристалды өсіруді және тиімді өндірісті қамтамасыз етеді. Ол интегралды схемалар, күн батареялары, ғылыми зерттеулер және электрондық құрылғылар салаларында кеңінен қолданылады. XKH компаниясы тұтынушыларға жоғары сапалы монокристалды кремний шыбықтарын өндіруге қол жеткізуге қолдау көрсету, байланысты салалардың дамуына көмектесу үшін озық монокристалды кремний өсіру пеші жабдықтарын және толық қызмет түрлерін ұсынады.