Вафлиді қалай «өте жұқа» етіп жұқартуға болады?

Вафлиді қалай «өте жұқа» етіп жұқартуға болады?
Ультра жұқа пластина дегеніміз не?

Қалыңдықтың әдеттегі диапазондары (мысал ретінде 8 дюйм/12 дюймдік пластиналар)

• Стандартты пластина:600–775 мкм

• Жұқа пластина:150–200 мкм

• Өте жұқа пластина:100 мкм-ден төмен

• Өте жұқа пластина:50 мкм, 30 мкм немесе тіпті 10–20 мкм

Неліктен пластиналар жұқарып барады?

• Қаптаманың жалпы қалыңдығын азайтыңыз, TSV ұзындығын қысқартыңыз және RC кідірісін азайтыңыз

• Қарсыласуды азайтыңыз және жылу таратуды жақсартыңыз

• Өте жұқа форма факторларына арналған соңғы өнім талаптарын қанағаттандыру

Өте жұқа пластиналардың негізгі қауіптері

1. Механикалық беріктік күрт төмендейді

2. Қатты бұрмалау

3. Қиын өңдеу және тасымалдау

4. Алдыңғы жағындағы құрылымдар өте осал; пластиналар жарылуға/сынуға бейім

Вафлиді өте жұқа деңгейге дейін қалай жұқартуға болады?

1. DBG (ұнтақтау алдында турау)
   Пластинаны жартылай текшелерге кесіңіз (толық кеспей), әрбір қалып алдын ала анықталғандай етіп, пластина артқы жағынан механикалық түрде жалғанған күйінде қалады. Содан кейін қалыңдығын азайту үшін пластинаны артқы жағынан ұнтақтаңыз, қалған кесілмеген кремнийді біртіндеп алып тастаңыз. Ақырында, соңғы жұқа кремний қабаты ұнтақталып, сингуляция аяқталады.

2. Тайко процесі
   Шеткі аймағын қалың ұстай отырып, пластинаның тек орталық бөлігін жұқартыңыз. Қалың жиек механикалық тірек береді, бұл майысу және өңдеу қаупін азайтуға көмектеседі.

3. Уақытша пластина байланысы
   Уақытша байланыс пластинаны а-ға бекітедіуақытша тасымалдаушы, өте нәзік, пленка тәрізді пластинаны берік, өңдеуге болатын блокқа айналдырады. Тасымалдаушы пластинаны қолдайды, алдыңғы жағындағы құрылымдарды қорғайды және термиялық кернеуді азайтады - бұл жұқаруға мүмкіндік береді.ондаған микронсонымен бірге TSV түзілуі, электродты қаптау және байланыстыру сияқты агрессивті процестерге мүмкіндік береді. Бұл заманауи 3D қаптама үшін ең маңызды мүмкіндік беретін технологиялардың бірі.