Премиум сапфир көтергіш түйреуіштері бір кристалды Al₂O₃ пластина көтергіш түйреуіші
Техникалық параметрлер
| Химиялық құрамы | Al2O3 |
| Қаттылық | 9Mohs |
| Оптикалық табиғат | Бір осьті |
| Сыну көрсеткіші | 1.762-1.770 |
| Қос сыну | 0,008-0,010 |
| Дисперсия | Төмен, 0,018 |
| Жылтырлық | Шыны тәрізді |
| Плеохроизм | Орташадан күштіге дейін |
| Диаметрі | 0,4 мм-30 мм |
| Диаметрге төзімділік | 0,004 мм-0,05 мм |
| ұзындық | 2 мм-150 мм |
| ұзындыққа төзімділік | 0,03 мм-0,25 мм |
| Беткі сапасы | 40/20 |
| Бетінің дөңгелектігі | RZ0.05 |
| Арнайы пішін | екі ұшы жалпақ, бір ұшы редиус, екі ұшы редиус, ер-тоқым түйреуіштері және арнайы пішіндер |
Негізгі мүмкіндіктер
1. Ерекше қаттылық және тозуға төзімділік: Мохс бойынша 9 қаттылық рейтингісімен, тек гауһардан кейінгі екінші орында, Sapphire Lift Pins дәстүрлі кремний карбиді, алюминий оксиді керамикасы немесе металл қорытпасының баламаларынан айтарлықтай асып түсетін тозу сипаттамаларын көрсетеді. Бұл аса қаттылық бөлшектердің пайда болуы мен техникалық қызмет көрсету талаптарын айтарлықтай төмендетеді, қызмет ету мерзімі әдетте ұқсас қолданбаларда дәстүрлі материалдарға қарағанда 3-5 есе ұзағырақ.
2. Жоғары температураға төзімділік: 1000°C-тан асатын температурада тозусыз ұзақ мерзімді жұмыс істеуге төтеп беру үшін жасалған Sapphire Lift Pins ең күрделі термиялық процестерде өлшемдік тұрақтылықты және механикалық беріктікті сақтайды. Бұл оларды химиялық бумен тұндыру (CVD), металл-органикалық химиялық бумен тұндыру (MOCVD) және термиялық кеңеюдің сәйкессіздігі процестің өнімділігін төмендетуі мүмкін жоғары температуралы күйдіру жүйелері сияқты маңызды қолданбалар үшін ерекше құнды етеді.
3. Химиялық инерттілік: Монокристалды сапфир құрылымы HF қышқылының, хлор негізіндегі химиялық заттардың және жартылай өткізгіш өндірісінде жиі кездесетін басқа да агрессивті технологиялық газдардың шабуылына тамаша төзімділік көрсетеді. Бұл химиялық тұрақтылық плазмалық ортада тұрақты өнімділікті қамтамасыз етеді және пластинаның ластануына әкелуі мүмкін беткі ақаулардың пайда болуына жол бермейді.
4. Бөлшектердің төмен ластануы: Ақауларсыз, жоғары тазалықтағы сапфир кристалдарынан жасалған (әдетте >99,99%), бұл көтергіш түйреуіштер ұзақ уақыт пайдаланғаннан кейін де бөлшектердің минималды төгілуін көрсетеді. Олардың кеуекті емес беткі құрылымы және жылтыратылған әрлеуі таза бөлменің ең қатаң талаптарына сәйкес келеді, бұл озық түйінді жартылай өткізгіш өндірісіндегі технологиялық өнімділіктің жоғарылауына тікелей ықпал етеді.
Жоғары дәлдіктегі өңдеу: Алмазды тегістеу және лазерлік өңдеудің озық әдістерін қолдана отырып, Sapphire Lift Pins субмикрондық төзімділікпен және 0,05 мкм Ra-ден төмен беттік өңдеумен шығарылуы мүмкін. Келесі буын өндіріс жабдықтарындағы пластиналарды өңдеудің нақты мәселелерін шешу үшін конус тәрізді профильдерді, арнайы ұштық конфигурацияларын және интеграцияланған туралау мүмкіндіктерін қоса алғанда, арнайы геометрияларды жасауға болады.
Негізгі қолданбалар
1. Жартылай өткізгіш өндірісі: Сапфир көтергіш түйреуіштері фотолитография, ою, тұндыру және тексеру процестері кезінде сенімді тірек пен дәл позициялауды қамтамасыз ете отырып, озық пластиналарды өңдеу жүйелерінде маңызды рөл атқарады. Олардың термиялық және химиялық тұрақтылығы оларды EUV литография құралдары мен нанометрлік масштабтағы өлшемдік тұрақтылық маңызды болып табылатын озық қаптама қолданбаларында ерекше құнды етеді.
2. Жарықдиодты эпитакси (MOCVD): Галлий нитридінде (GaN) және онымен байланысты қосылыс жартылай өткізгіш эпитаксиалды өсу жүйелерінде Sapphire Lift Pins пластинаны тұрақты тіреуішпен қамтамасыз етеді, көбінесе 1000°C-тан асатын температурада. Олардың сапфир негіздері бар термиялық кеңею сипаттамалары эпитаксиалды өсу процесінде пластинаның иілуін және сырғудың пайда болуын азайтады.
3. Фотоэлектрлік өнеркәсіб: Жоғары тиімді күн батареяларын өндіру сапфирдің жоғары температуралы диффузия, күйдіру және жұқа қабықшалы тұндыру процестеріндегі ерекше қасиеттерінен пайда көреді. Түйреуіштердің тозуға төзімділігі, әсіресе, компоненттердің ұзақ қызмет ету мерзімі өндіріс шығындарына тікелей әсер ететін жаппай өндіріс орталарында құнды.
4. Дәл оптика және электроника өңдеу: Жартылай өткізгіштерді қолданудан басқа, Sapphire Lift Pins нәзік оптикалық компоненттерді, MEMS құрылғыларын және ластанбау және сызаттардың алдын алу маңызды болып табылатын арнайы негіздермен жұмыс істеуде қолданылады. Олардың электрлік оқшаулау қасиеттері оларды электростатикалық сезімтал құрылғыларды қамтитын қолданбалар үшін өте қолайлы етеді.
XKH компаниясының сапфир көтергіш түйреуіштеріне арналған қызметтері
XKH Sapphire Lift Pins үшін кешенді техникалық қолдау және арнайы шешімдер ұсынады:
1. Тапсырыс бойынша әзірлеу қызметтері
· Өлшемді, геометриялық және беттік өңдеуді теңшеуді қолдау
· Материалды таңдау және техникалық параметрлерді оңтайландыру бойынша ұсыныстар
· Бірлескен өнімді жобалау және модельдеуді тексеру
2. Дәл өндіріс мүмкіндіктері
· ±1 мкм шегінде басқарылатын төзімділікпен жоғары дәлдіктегі өңдеу
· Айнамен жылтырату және жиектерді тегістеу сияқты арнайы өңдеулер
· Жабыспайтын жабындар сияқты бетті өзгертуге арналған қосымша шешімдер
3. Сапаны қамтамасыз ету жүйесі
· Кіріс материалдарын тексеруді және процесті бақылауды қатаң жүзеге асыру
· Толық өлшемді оптикалық тексеру және беттік морфологияны талдау
· Өнімнің өнімділігін сынау туралы есептерді ұсыну
4. Жеткізу тізбегі қызметтері
· Стандартты өнімдерді жылдам жеткізу
· Негізгі шоттар үшін арнайы қорларды басқару
5. Техникалық қолдау
· Қолданбалы шешімдер бойынша кеңес беру
· Сатудан кейінгі жедел жауап беру
Біз жартылай өткізгіштердің, жарықдиодты шамдардың және басқа да озық салалардың қатаң талаптарын қанағаттандыру үшін жоғары сапалы Sapphire Lift Pins өнімдері мен кәсіби техникалық қызметтерді ұсынуға міндеттенеміз.
