Сапфирмен оюланған пластинаға арналған дымқыл және құрғақ ою ерітінділері

Сапфирмен оюланған вафли, дымқыл және құрғақ ою шешімдері, ұсынылған сурет

Қысқаша сипаттама:

Сапфирмен оюланған пластиналар жоғары тазалықтағы монокристалды сапфир (Al₂O₃) негіздерін пайдаланып жасалады, олар ылғалды ою және құрғақ ою технологияларымен үйлесімде озық фотолитография арқылы өңделеді. Өнімдер біркелкі микроқұрылымды өрнектермен, тамаша өлшемдік дәлдікпен және керемет физикалық және химиялық тұрақтылықпен ерекшеленеді, бұл оларды микроэлектроникада, оптоэлектроникада, жартылай өткізгіш қаптамада және озық зерттеу салаларында жоғары сенімділікпен қолдануға жарамды етеді.

Бізге электрондық пошта жіберіңіз

Ерекше өзгешеліктері

Егжей-тегжейлі диаграмма

Сапфирмен оюланған пластинаға арналған дымқыл және құрғақ ою ерітінділері

Өнімге кіріспе

Сапфирмен өңделген пластиналар жоғары тазалықтағы монокристалды сапфир (Al₂O₃) субстраттарын пайдаланып жасалады, олар озық фотолитография арқылы өңделедіылғалды және құрғақ ою технологияларыӨнімдер біркелкі микроқұрылымды үлгілермен, тамаша өлшемдік дәлдікпен және керемет физикалық және химиялық тұрақтылықпен ерекшеленеді, бұл оларды микроэлектроникада, оптоэлектроникада, жартылай өткізгіш қаптамада және озық зерттеу салаларында жоғары сенімділікпен қолдануға жарамды етеді.

Сапфир өзінің ерекше қаттылығы мен құрылымдық тұрақтылығымен танымал, Мохс қаттылығы 9, бұл тек гауһардан кейінгі екінші орында. Ою параметрлерін дәл басқару арқылы сапфир бетінде жақсы анықталған және қайталанатын микроқұрылымдар түзілуі мүмкін, бұл өрнек жиектерінің өткір болуын, геометрияның тұрақтылығын және партиялар бойынша тамаша консистенцияны қамтамасыз етеді.

Ою технологиялары

Ылғал ою

Ылғал ою сапфир материалын таңдамалы түрде алып тастау және қажетті микроқұрылымдарды қалыптастыру үшін арнайы химиялық ерітінділерді пайдаланады. Бұл процесс жоғары өнімділікті, жақсы біркелкілікті және салыстырмалы түрде төмен өңдеу құнын ұсынады, бұл оны үлкен аумақты өрнектеуге және бүйір қабырғасының профиліне орташа талаптар қойылатын қолданбаларға жарамды етеді.

Ерітінді құрамын, температурасын және ою уақытын дәл бақылау арқылы ою тереңдігі мен бетінің морфологиясын тұрақты бақылауға қол жеткізуге болады. Ылғал оюланған сапфир пластиналары жарықдиодты қаптама негіздерінде, құрылымдық тірек қабаттарында және таңдалған MEMS қолданбаларында кеңінен қолданылады.

Құрғақ ою

Плазмалық ою немесе реактивті иондық ою (RIE) сияқты құрғақ ою кезінде сапфирді физикалық және химиялық механизмдер арқылы ою үшін жоғары энергиялы иондар немесе реактивті түрлер қолданылады. Бұл әдіс жоғары анизотропияны, жоғары дәлдікті және тамаша өрнек беру мүмкіндігін қамтамасыз етеді, бұл жұқа ерекшеліктер мен жоғары арақатынасты микроқұрылымдарды жасауға мүмкіндік береді.

Құрғақ ою әсіресе тік бүйір қабырғаларын, айқын ерекшеліктерді анықтауды және Micro-LED құрылғылары, озық жартылай өткізгіш қаптамалар және жоғары өнімді MEMS құрылымдары сияқты тығыз өлшемді басқаруды қажет ететін қолданбалар үшін өте қолайлы.

Негізгі ерекшеліктері мен артықшылықтары

Тамаша механикалық беріктігі бар жоғары тазалықтағы монокристалды сапфир субстраты
Икемді процесс нұсқалары: қолдану талаптарына байланысты ылғалды ою немесе құрғақ ою
Ұзақ мерзімді сенімділік үшін жоғары қаттылық және тозуға төзімділік
Тамаша термиялық және химиялық тұрақтылық, қатал орталарға жарамды
Жоғары оптикалық мөлдірлік және тұрақты диэлектрлік қасиеттер
Үлгінің жоғары біркелкілігі және партиядан партияға сәйкестігі

Қолданбалар

Жарықдиодты және микро-жарықдиодты қаптама және сынақ негіздері
Жартылай өткізгіш чип тасымалдаушылар және озық қаптама
MEMS сенсорлары және микроэлектромеханикалық жүйелер
Оптикалық компоненттер және дәлдікпен туралау құрылымдары
Зерттеу институттары және жеке микроқұрылымды әзірлеу

Теңшеу және қызметтер

Біз өрнек дизайны, ою әдісін таңдау (дымқыл немесе құрғақ), ою тереңдігін бақылау, негіз қалыңдығы мен өлшемін таңдау, бір жақты немесе екі жақты ою және бетті жылтырату деңгейлерін қоса алғанда, кешенді теңшеу қызметтерін ұсынамыз. Қатаң сапфирмен ойылған пластинаның жеткізілім алдында жоғары сенімділік пен өнімділік стандарттарына сәйкес келетініне кепілдік беретін қатаң сапаны бақылау және тексеру процедуралары.

Жиі қойылатын сұрақтар – Жиі қойылатын сұрақтар

1-сұрақ: Сапфирді дымқыл өңдеу мен құрғақ өңдеудің айырмашылығы неде?

A:Ылғал ою химиялық реакцияларға негізделген және үлкен аумақты және үнемді өңдеуге жарамды, ал құрғақ ою жоғары дәлдікке, жақсы анизотропияға және нәзік ерекшеліктерді бақылауға қол жеткізу үшін плазмалық немесе иондық әдістерді қолданады. Таңдау құрылымдық күрделілікке, дәлдік талаптарына және шығындарға байланысты.

2-сұрақ: Қолдану үшін қай ою процесін таңдауым керек?

A:Ылғал ою стандартты жарықдиодты негіздер сияқты орташа дәлдікпен біркелкі өрнектерді қажет ететін қолданбалар үшін ұсынылады. Құрғақ ою жоғары ажыратымдылықтағы, жоғары арақатынастағы немесе дәл геометрия маңызды болатын Micro-LED және MEMS қолданбалары үшін қолайлырақ.

3-сұрақ: Сіз теңшелген үлгілер мен сипаттамаларды қолдай аласыз ба?

A:Иә. Біз толықтай теңшелген дизайндарды, соның ішінде өрнек орналасуын, элемент өлшемін, ою тереңдігін, пластина қалыңдығын және негіз өлшемдерін қолдаймыз.

Біз туралы

XKH арнайы оптикалық шыны мен жаңа кристалды материалдарды жоғары технологиялық әзірлеуге, өндіруге және сатуға маманданған. Біздің өнімдеріміз оптикалық электроникаға, тұтынушылық электроникаға және әскери салаға қызмет көрсетеді. Біз сапфир оптикалық компоненттерін, ұялы телефон линзаларының қақпақтарын, керамиканы, LT, кремний карбиді SIC, кварц және жартылай өткізгіш кристалды пластиналарды ұсынамыз. Білікті тәжірибеміз бен заманауи жабдықтарымызбен біз стандартты емес өнімді өңдеуде табысқа жетеміз, жетекші оптоэлектронды материалдардың жоғары технологиялық кәсіпорыны болуға ұмтыламыз.