SiC сапфир Si GAAs пластинасына арналған кремний карбиді керамикалық патрон

SiC сапфир Si GAA пластинасына арналған кремний карбиді керамикалық патрон, ұсынылған сурет

Қысқаша сипаттама:

Кремний карбиді керамикалық патрон - жартылай өткізгіштерді тексеру, пластиналарды жасау және байланыстыру қолданбалары үшін жасалған жоғары өнімді платформа. Күйген SiC (SSiC), реакциямен байланысқан SiC (RSiC), кремний нитриді және алюминий нитридін қоса алғанда, озық керамикалық материалдардан жасалған ол жоғары қаттылықты, төмен термиялық кеңеюді, тамаша тозуға төзімділікті және ұзақ қызмет ету мерзімін ұсынады.

Бізге электрондық пошта жіберіңіз

Ерекше өзгешеліктері

Егжей-тегжейлі диаграмма

Кремний карбиді (SiC) керамикалық патронға шолу

TheКремний карбиді керамикалық патронжартылай өткізгіштерді тексеру, пластиналарды жасау және байланыстыру қолданбалары үшін жасалған жоғары өнімді платформа. Озық керамикалық материалдардан жасалған, соның ішіндекүйдірілген SiC (SSiC), реакциямен байланысқан SiC (RSiC), кремний нитридіжәнеалюминий нитриді- ұсынадыжоғары қаттылық, төмен жылу кеңеюі, тамаша тозуға төзімділік және ұзақ қызмет ету мерзімі.

Дәл инженерия және заманауи жылтырату арқылы патрон нәтиже бередісубмикронды жазықтық, айнадай сапалы беттер және ұзақ мерзімді өлшемді тұрақтылық, бұл оны маңызды жартылай өткізгіш процестер үшін тамаша шешімге айналдырады.

Негізгі артықшылықтары

Жоғары дәлдік
Жазықтық ішінде бақыланады0,3–0,5 мкм, пластинаның тұрақтылығын және процестің дәлдігін қамтамасыз ету.
Айнаны жылтырату
ЖетістіктерRa 0,02 мкмбетінің кедір-бұдырлығын, пластина сызаттарын және ластануды азайтады — өте таза орта үшін өте қолайлы.
Өте жеңіл
Кварц немесе металл негіздеріне қарағанда берік, бірақ жеңіл, қозғалысты басқаруды, жауап беруді және позициялау дәлдігін жақсартады.
Жоғары қаттылық
Ерекше Янг модулі ауыр жүктемелер кезінде өлшемдік тұрақтылықты және жоғары жылдамдықты жұмысты қамтамасыз етеді.
Төмен жылулық кеңею
CTE кремний пластиналарына өте ұқсас, бұл термиялық кернеуді азайтады және процестің сенімділігін арттырады.
Керемет тозуға төзімділік
Өте қаттылық ұзақ мерзімді, жоғары жиілікті пайдалану кезінде де тегістік пен дәлдікті сақтайды.

Өндіріс процесі

Шикізатты дайындау
Бақыланатын бөлшектердің мөлшері және өте төмен қоспалары бар жоғары тазалықтағы SiC ұнтақтары.
Қалыптау және күйдіру
сияқты әдістерқысымсыз күйдіру (SSiC) or реакциялық байланыс (RSiC)тығыз, біркелкі керамикалық негіздерді шығарады.
Дәл өңдеу
CNC тегістеу, лазерлік кесу және аса дәл өңдеу ±0,01 мм төзімділікке және ≤3 мкм параллелизмге қол жеткізеді.
Беттік өңдеу
Ra 0,02 мкм дейін көп сатылы тегістеу және жылтырату; коррозияға төзімділік немесе үйкеліс қасиеттерін реттеу үшін қосымша жабындар қолжетімді.
Тексеру және сапаны бақылау
Интерферометрлер мен кедір-бұдырлықты өлшегіштер жартылай өткізгіштердің техникалық сипаттамаларына сәйкестігін тексереді.

Техникалық сипаттамалар

Параметр	Құндылық	Бірлік
Жазықтық	≤0.5	мкм
Вафли өлшемдері	6'', 8'', 12'' (тапсырыс бойынша тапсырыс беруге болады)	—
Беттік түрі	Түйреуіш түрі / Сақина түрі	—
Түйреуіш биіктігі	0,05–0,2	mm
Минималды түйреуіш диаметрі	ϕ0.2	mm
Минималды түйреуіш аралығы	3	mm
Минималды тығыздағыш сақинасының ені	0,7	mm
Беткі кедір-бұдырлық	Ra 0,02	мкм
Қалыңдыққа төзімділік	±0,01	mm
Диаметрге төзімділік	±0,01	mm
Параллелизмге төзімділік	≤3	мкм

Негізгі қолданылу салалары

Жартылай өткізгішті пластиналарды тексеру жабдықтары
Пластинаны жасау және тасымалдау жүйелері
Вафлиді байланыстыру және орау құралдары
Оптоэлектрондық құрылғыларды өндірудің озық технологиясы
Өте тегіс, өте таза беттерді қажет ететін дәлдік құралдары

Сұрақ-жауап – Кремний карбиді керамикалық патрон

1-сұрақ: SiC керамикалық патрондары кварц немесе металл патрондарымен қалай салыстырылады?
A1: SiC патрондары жеңілірек, қаттырақ және кремний пластиналарына жақын CTE-ге ие, бұл термиялық деформацияны азайтады. Олар сондай-ақ тозуға төзімділігі жоғары және қызмет ету мерзімін ұзартады.

2-сұрақ: Қандай жазықтыққа қол жеткізуге болады?
A2: Ішінде басқарылады0,3–0,5 мкм, жартылай өткізгіштер өндірісінің қатаң талаптарын қанағаттандырады.

С3: Беткі қабат пластиналарды сызып тастай ма?
A3: Жоқ — айнамен жылтыратылғанRa 0,02 мкм, сызатсыз өңдеуді және бөлшектердің пайда болуын азайтуды қамтамасыз етеді.

4-сұрақ: Қандай пластина өлшемдері қолдау көрсетіледі?
A4: Стандартты өлшемдері6 дюйм, 8 дюйм және 12 дюйм, теңшеу мүмкіндігі бар.

5-сұрақ: Термиялық кедергі қандай?
A5: SiC керамикасы термиялық цикл кезінде минималды деформациямен тамаша жоғары температуралық өнімділікті қамтамасыз етеді.

Біз туралы

XKH арнайы оптикалық шыны мен жаңа кристалды материалдарды жоғары технологиялық әзірлеуге, өндіруге және сатуға маманданған. Біздің өнімдеріміз оптикалық электроникаға, тұтынушылық электроникаға және әскери салаға қызмет көрсетеді. Біз сапфир оптикалық компоненттерін, ұялы телефон линзаларының қақпақтарын, керамиканы, LT, кремний карбиді SIC, кварц және жартылай өткізгіш кристалды пластиналарды ұсынамыз. Білікті тәжірибеміз бен заманауи жабдықтарымызбен біз стандартты емес өнімді өңдеуде табысқа жетеміз, жетекші оптоэлектронды материалдардың жоғары технологиялық кәсіпорыны болуға ұмтыламыз.