Кремний / Кремний карбиді (SiC) пластинасының төрт сатылы байланыстырылған жылтырату автоматизациясы желісі (біріктірілген жылтыратудан кейінгі өңдеу желісі)

Қысқаша сипаттама:

Бұл төрт сатылы байланыстырылған жылтырату автоматтандыру желісі - бұл келесіге арналған интеграцияланған, желілік шешімжылтыратудан кейінгі / CMP-ден кейінгіоперацияларыкремнийжәнекремний карбиді (SiC)пластиналар. Айналасында салынғанкерамикалық тасымалдаушылар (керамикалық пластиналар), жүйе бірнеше төменгі ағымдық тапсырмаларды бір үйлестірілген желіге біріктіреді – бұл зауыттарға қолмен өңдеуді азайтуға, такт уақытын тұрақтандыруға және ластануды бақылауды күшейтуге көмектеседі.

Бізге электрондық пошта жіберіңіз

Ерекше өзгешеліктері

Егжей-тегжейлі диаграмма

Шолу

Жартылай өткізгіштер өндірісінде,CMP-ден кейінгі тиімді тазалаукелесі процеске дейін ақауларды азайтудың негізгі қадамы және озық тәсілдер (соның ішіндемегасоникалық тазалау) бөлшектерді кетіру өнімділігін жақсарту үшін жиі талқыланады.

Атап айтқанда, SiC үшін, оныңжоғары қаттылық және химиялық инерттілікжылтыратуды қиындатады (көбінесе материалды кетірудің төмен жылдамдығымен және бетінің/жер астының зақымдану қаупінің жоғарылауымен байланысты), бұл жылтыратудан кейінгі тұрақты автоматтандыруды және бақыланатын тазалауды/өңдеуді ерекше құнды етеді.

Негізгі артықшылықтар

Қолдау көрсететін бірыңғай интеграцияланған желі:

Вафлиді бөлу және жинау(жылтыратудан кейін)
Керамикалық тасымалдаушыны буферлеу/сақтау
Керамикалық тасымалдаушыларды тазалау
Керамикалық тасымалдағыштарға пластинаны бекіту (желімдеу)
Біріктірілген, бір жолды операция үшін6–8 дюймдік вафлилер

Техникалық сипаттамалар (берілген деректер парағынан)

Жабдықтың өлшемдері (Ұзындығы × Ені × Биіктігі):13643 × 5030 × 2300 мм
Нәр беруші:Айнымалы ток 380 В, 50 Гц
Жалпы қуат:119 кВт
Орнату тазалығы:0,5 мкм < 50 дана; 5 мкм < 1 дана
Орнату жазықтығы:≤ 2 мкм

Өткізу қабілеті туралы анықтама (берілген деректер кестесінен)

Жабдықтың өлшемдері (Ұзындығы × Ені × Биіктігі):13643 × 5030 × 2300 мм
Нәр беруші:Айнымалы ток 380 В, 50 Гц
Жалпы қуат:119 кВт
Орнату тазалығы:0,5 мкм < 50 дана; 5 мкм < 1 дана
Орнату жазықтығы:≤ 2 мкм

Әдеттегі сызықтық ағын

Жоғары ағынды жылтырату аймағынан кіріс / интерфейс
Вафлиді бөлу және жинау
Керамикалық тасымалдағыштарды буферлеу/сақтау (такт уақытында ажырату)
Керамикалық тасымалдаушыларды тазалау
Тасымалдағыштарға пластинаны орнату (тазалық пен тегістікті бақылау мүмкіндігімен)
Төменгі процеске немесе логистикаға шығыс беру

Жиі қойылатын сұрақтар

1-сұрақ: Бұл желі негізінен қандай мәселелерді шешеді?
A: Ол пластинаны бөлу/жинау, керамикалық тасымалдағышты буферлеу, тасымалдағышты тазалау және пластинаны орнатуды бір үйлестірілген автоматтандыру желісіне біріктіру арқылы жылтыратудан кейінгі операцияларды жеңілдетеді – қолмен жанасу нүктелерін азайтады және өндіріс ырғағын тұрақтандырады.

2-сұрақ: Қандай пластина материалдары мен өлшемдері қолдау табады?
A:Кремний және SiC,6–8 дюймпластиналар (берілген сипаттамаға сәйкес).

3-сұрақ: Неліктен салада CMP-ден кейінгі тазалауға баса назар аударылады?
A: Салалық әдебиеттерде келесі қадамға дейін ақау тығыздығын азайту үшін CMP-ден кейінгі тиімді тазалауға деген сұраныстың артқаны атап өтілген; бөлшектерді жоюды жақсарту үшін мегадыбыстық тәсілдер жиі зерттеледі.

Біз туралы

XKH арнайы оптикалық шыны мен жаңа кристалды материалдарды жоғары технологиялық әзірлеуге, өндіруге және сатуға маманданған. Біздің өнімдеріміз оптикалық электроникаға, тұтынушылық электроникаға және әскери салаға қызмет көрсетеді. Біз сапфир оптикалық компоненттерін, ұялы телефон линзаларының қақпақтарын, керамиканы, LT, кремний карбиді SIC, кварц және жартылай өткізгіш кристалды пластиналарды ұсынамыз. Білікті тәжірибеміз бен заманауи жабдықтарымызбен біз стандартты емес өнімді өңдеуде табысқа жетеміз, жетекші оптоэлектронды материалдардың жоғары технологиялық кәсіпорыны болуға ұмтыламыз.