4H-N 8 дюймдік SiC субстрат пластинасы, кремний карбиді манекені зерттеу дәрежесі, 500 мкм қалыңдық
Кремний карбидті пластиналар мен SiC негіздерін қалай таңдауға болады?
Кремний карбиді (SiC) пластиналары мен негіздерін таңдағанда бірнеше факторларды ескеру қажет. Міне, кейбір маңызды критерийлер:
Материал түрі: Қолдануыңызға сәйкес келетін SiC материалының түрін анықтаңыз, мысалы, 4H-SiC немесе 6H-SiC. Ең жиі қолданылатын кристалдық құрылым - 4H-SiC.
Допинг түрі: Сізге легирленген немесе легирленбеген SiC субстраты қажет пе, соны шешіңіз. Жалпы легирлеу түрлері сіздің нақты талаптарыңызға байланысты N-типті (n-легирленген) немесе P-типті (p-легирленген) болып табылады.
Кристалл сапасы: SiC пластиналарының немесе негіздерінің кристалл сапасын бағалаңыз. Қажетті сапа ақаулар саны, кристаллографиялық бағдар және бетінің кедір-бұдырлығы сияқты параметрлермен анықталады.
Вафли диаметрі: Қолдануыңызға байланысты тиісті вафли өлшемін таңдаңыз. Жалпы өлшемдерге 2 дюйм, 3 дюйм, 4 дюйм және 6 дюйм жатады. Диаметрі неғұрлым үлкен болса, әр вафлиден соғұрлым көп өнім алуға болады.
Қалыңдығы: SiC пластиналарының немесе негіздерінің қажетті қалыңдығын ескеріңіз. Қалыңдықтың әдеттегі нұсқалары бірнеше микрометрден бірнеше жүз микрометрге дейін болады.
Бағыт: Қолданбаңыздың талаптарына сәйкес келетін кристаллографиялық бағдарды анықтаңыз. Жалпы бағдарларға 4H-SiC үшін (0001) және 6H-SiC үшін (0001) немесе (0001̅) жатады.
Беткі өңдеу: SiC пластиналарының немесе негіздердің беткі өңдеуін бағалаңыз. Беті тегіс, жылтыратылған және сызаттардан немесе ластаушы заттардан таза болуы керек.
Жеткізушінің беделі: Жоғары сапалы SiC пластиналары мен негіздерін өндіруде мол тәжірибесі бар беделді жеткізушіні таңдаңыз. Өндіріс мүмкіндіктері, сапаны бақылау және тұтынушылардың пікірлері сияқты факторларды ескеріңіз.
Құны: Вафли немесе субстраттың бағасын және кез келген қосымша теңшеу шығындарын қоса алғанда, шығындардың салдарын ескеріңіз.
Таңдалған SiC пластиналары мен негіздері сіздің нақты қолдану талаптарыңызға сәйкес келетініне көз жеткізу үшін осы факторларды мұқият бағалау және салалық сарапшылармен немесе жеткізушілермен кеңесу маңызды.
Егжей-тегжейлі диаграмма
