8 дюйм 200 мм 4H-N SiC вафли өткізгіш манекен зерттеу дәрежесі

Қысқаша сипаттама:

Тасымалдау, энергетика және өнеркәсіптік нарықтар дамып келе жатқандықтан, сенімді, жоғары өнімді электрлік электроникаға сұраныс өсуде.Жартылай өткізгіш өнімділігін жақсарту қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін құрылғы өндірушілері кең диапазонды жартылай өткізгіш материалдарды іздейді, мысалы, 4H n-типті кремний карбиді (SiC) пластинкаларының 4H SiC Prime Grade портфолиосы.

Бізге электрондық поштаны жіберіңіз

Өнімнің егжей-тегжейі

Өнім тегтері

Бірегей физикалық және электронды қасиеттерінің арқасында 200 мм SiC пластиналы жартылай өткізгіш материалы жоғары өнімді, жоғары температураға, радиацияға төзімді және жоғары жиілікті электронды құрылғыларды жасау үшін қолданылады.8 дюймдік SiC субстратының бағасы технология жетілдірілген сайын және сұраныс өскен сайын біртіндеп төмендейді.Технологияның соңғы жетістіктері 200 мм SiC пластинкаларын өндіріс ауқымында өндіруге әкеледі.SiC пластиналы жартылай өткізгіш материалдардың Si және GaAs пластиналарымен салыстырғандағы негізгі артықшылықтары: Көшкіннің бұзылуы кезіндегі 4H-SiC электр өрісінің кернеулігі Si және GaAs үшін сәйкес мәндерден үлкен дәрежеден жоғары.Бұл күйдегі Ron кедергісінің айтарлықтай төмендеуіне әкеледі.Төмен күйдегі кедергі, жоғары ток тығыздығы және жылу өткізгіштікпен біріктірілген, қуат құрылғылары үшін өте кішкентай матрицаны пайдалануға мүмкіндік береді.SiC жоғары жылу өткізгіштігі чиптің жылу кедергісін төмендетеді.SiC пластинкаларына негізделген құрылғылардың электрондық қасиеттері уақыт өте тұрақты және температурада тұрақты, бұл өнімнің жоғары сенімділігін қамтамасыз етеді.Кремний карбиді қатты сәулеленуге өте төзімді, ол чиптің электрондық қасиеттерін нашарлатпайды.Кристалдың жоғары шекті жұмыс температурасы (6000С жоғары) қатал жұмыс жағдайлары мен арнайы қолданбалар үшін жоғары сенімді құрылғыларды жасауға мүмкіндік береді.Қазіргі уақытта біз 200 ммSiC пластинаның шағын партиясын тұрақты және үздіксіз жеткізе аламыз және қоймада біраз қор бар.

Техникалық сипаттама

Сан	Элемент	Бірлік	Өндіріс	Зерттеу	Манеке
1. Параметрлер
1.1	политип	--	4H	4H	4H
1.2	беттік бағдарлау	°	<11-20>4±0,5	<11-20>4±0,5	<11-20>4±0,5
2. Электрлік параметр
2.1	дәрілік зат	--	n-типті азот	n-типті азот	n-типті азот
2.2	қарсылық	ом ·см	0,015~0,025	0,01~0,03	NA
3. Механикалық параметр
3.1	диаметрі	mm	200±0,2	200±0,2	200±0,2
3.2	қалыңдық	мкм	500±25	500±25	500±25
3.3	Кетіктік бағдар	°	[1- 100]±5	[1- 100]±5	[1- 100]±5
3.4	Кетік тереңдігі	mm	1~1,5	1~1,5	1~1,5
3.5	LTV	мкм	≤5(10мм*10мм)	≤5(10мм*10мм)	≤10(10мм*10мм)
3.6	TTV	мкм	≤10	≤10	≤15
3.7	Садақ	мкм	-25~25	-45~45	-65~65
3.8	Бұрыш	мкм	≤30	≤50	≤70
3.9	AFM	nm	Ra≤0,2	Ra≤0,2	Ra≤0,2
4. Құрылымы
4.1	микроқұбырдың тығыздығы	е/см2	≤2	≤10	≤50
4.2	металл құрамы	атом/см2	≤1E11	≤1E11	NA
4.3	TSD	е/см2	≤500	≤1000	NA
4.4	BPD	е/см2	≤2000	≤5000	NA
4.5	TED	е/см2	≤7000	≤10000	NA
5. Оң сапа
5.1	алдыңғы	--	Si	Si	Si
5.2	бетін әрлеу	--	Si-face CMP	Si-face CMP	Si-face CMP
5.3	бөлшек	ea/вафли	≤100(өлшем≥0,3мкм)	NA	NA
5.4	сызат	ea/вафли	≤5,Жалпы ұзындығы≤200мм	NA	NA
5.5	Жиек чиптер/шегістер/жарықтар/дақтар/ластану	--	Жоқ	Жоқ	NA
5.6	Политипті аймақтар	--	Жоқ	Аудан ≤10%	Аудан ≤30%
5.7	алдыңғы таңбалау	--	Жоқ	Жоқ	Жоқ
6. Артқы сапасы
6.1	артқы аяқтау	--	C-беттегі депутат	C-беттегі депутат	C-беттегі депутат
6.2	сызат	mm	NA	NA	NA
6.3	Артқы ақаулардың шеті чиптер/шегістер	--	Жоқ	Жоқ	NA
6.4	Артқы кедір-бұдыр	nm	Ra≤5	Ra≤5	Ra≤5
6.5	Артқы белгі	--	ойық	ойық	ойық
7. Шет
7.1	жиегі	--	Фака	Фака	Фака
8. Пакет
8.1	орау	--	Вакууммен эпи-дайын орау	Вакууммен эпи-дайын орау	Вакууммен эпи-дайын орау
8.2	орау	--	Көп вафельді кассеталық қаптама	Көп вафельді кассеталық қаптама	Көп вафельді кассеталық қаптама