6 дюймдік N-түрі немесе P-типті кремний пластинасы CZ Si пластинасы
Вафельді қораппен таныстыру
Силикон пластинкасының техникалық сипаттамалары:
6 дюймдік кремний пластинаның өсуі: CZ, MCZ, FZ.
6 Кремний пластинасы Сынып: Prime, Test, Dummy, т.б
6 дюймдік кремний пластинаның диаметрі: 6 дюйм/150 мм.
6 дюймдік кремний пластинасының қалыңдығы: 200 ~ 3000 мм.
6 дюймдік кремний пластинасы: кесілген, өңделген, өңделген, SSP, DSP және т.б.
6 дюймдік кремний пластинаның бағыты: (100) (111) (110) (531) (553) т.б.
6 дюймдік кремний пластинасы өшірілген: 4 градусқа дейін.
6 дюймдік кремний пластинасы/Түрі: P/B, N/Phos, N/As, N/Sb, Intrinsic.
6 дюймдік кремний пластинасы Меншіктілігі: CZ/MCZ: 0,001 ден 1000 Ом-см-ге дейін. FZ: 20к Ом-см дейін.
6 дюймдік кремний вафли жұқа қабықшалар: (a)PVD: Al, Cu, Au, Cr, Si, Ni;, Fe, Mo. т.б., Қаптау қалыңдығы 20,000A/5% дейін.
(b)LPCVD/PECVD: оксид, нитрид, siC, т.б., 200.000А/3% дейін жабын қалыңдығы.
(c) Кремний эпитаксиалды пластиналар және эпитаксиалды қызметтер (SOS, GaN, GOI т.б.).
6 дюймдік кремний вафли процестері: a.DSP, ультра жұқа, ультра тегіс және т.б.
b.Кішірейту, кері тегістеу, текшелерді кесу, т.б. c. MEMS.
2010 жылдан бастап Шанхай XKH Material Tech. Co.,Ltd тұтынушыларға 4 дюймдік вафельді кремний пластинасының жан-жақты шешімдерін қамтамасыз етуге міндеттелді, олар күйін келтіру деңгейіндегі вафельді Dummy Wafer, сынақ деңгейіндегі вафельдер Test Wafer, өнім деңгейіндегі вафельдер Prime Wafer, сондай-ақ арнайы пластиналар, оксидті вафли оксиді, Si3N4 нитридті пластиналар, алюминиймен қапталған пластиналар, мыс жалатылған кремний пластиналары, SOI вафли, MEMS шыны, 50 мм-ден 300 мм-ге дейінгі өлшемдері бар теңшелген ультра қалың және ультра жалпақ пластиналар және т.б. және біз бір жақты жартылай өткізгіш пластиналарды ұсына аламыз. /екі жақты жылтырату, жұқарту, текшелерді кесу, MEMS және басқа өңдеу және теңшеу қызметтері.