6 дюймдік SiC Epitaxiy вафли N/P түрі теңшелген қабылдайды

6 дюймдік SiC Epitaxiy вафли N/P түрі теңшелген Таңдаулы кескінді қабылдайды

Қысқаша сипаттама:

SBD, JBS, PiN, MOSFET, JFET, BJT, GTO, IGBT және т.б. қоса алғанда, 4, 6, 8 дюймдік кремний карбиді эпитаксиалды пластинаны және эпитаксиалды құю қызметтерін, өндірістік (600V ~ 3300V) қуат құрылғыларын қамтамасыз етеді.

Біз SBD JBS PiN MOSFET JFET BJT GTO және IGBT, соның ішінде 600 В-тан 3300 В-қа дейінгі қуатты құрылғыларды жасау үшін 4 дюймдік және 6 дюймдік SiC эпитаксиалды пластиналарды ұсына аламыз.

Бізге электрондық поштаны жіберіңіз

Өнімнің егжей-тегжейі

Өнім тегтері

Кремний карбиді эпитаксиалды пластинаны дайындау процесі химиялық буларды тұндыру (CVD) технологиясын қолданатын әдіс болып табылады.Төменде тиісті техникалық принциптер мен дайындық процесінің қадамдары берілген:

Техникалық принцип:

Химиялық будың тұндыру: Газ фазасындағы шикізат газын пайдалану, белгілі бір реакция жағдайында, ол ыдырайды және қажетті жұқа пленканы қалыптастыру үшін субстратқа қойылады.

Газ-фазалық реакция: Пиролиз немесе крекинг реакциясы арқылы газ фазасындағы әртүрлі шикізат газдары реакция камерасында химиялық түрде өзгереді.

Дайындық процесінің қадамдары:

Субстрат өңдеу: субстрат эпитаксиалды пластинаның сапасы мен кристалдылығын қамтамасыз ету үшін бетін тазалауға және алдын ала өңдеуге ұшырайды.

Реакциялық камераны жөндеу: реакция жағдайларының тұрақтылығы мен бақылауын қамтамасыз ету үшін реакция камерасының температурасын, қысымын және ағынының жылдамдығын және басқа параметрлерді реттеңіз.

Шикізатпен қамтамасыз ету: қажетті газ шикізатын реакциялық камераға жеткізу, араластыру және қажет болған жағдайда ағын жылдамдығын бақылау.

Реакция процесі: Реакция камерасын қыздыру арқылы газтәрізді шикізат қажетті шөгінді, яғни кремний карбиді пленкасын алу үшін камерада химиялық реакцияға түседі.

Салқындату және түсіру: реакцияның соңында реакция камерасындағы шөгінділерді салқындату және қатайту үшін температура біртіндеп төмендетіледі.

Эпитаксиалды пластинаны жасыту және кейінгі өңдеу: тұндырылған эпитаксиалды вафли оның электрлік және оптикалық қасиеттерін жақсарту үшін күйдіріледі және кейінгі өңдеуден өтеді.

Кремний карбиді эпитаксиалды пластинаны дайындау процесінің нақты қадамдары мен шарттары нақты жабдық пен талаптарға байланысты өзгеруі мүмкін.Жоғарыда айтылғандар тек жалпы процесс ағыны мен принципі болып табылады, нақты операцияны нақты жағдайға сәйкес реттеу және оңтайландыру қажет.