8 дюймдік SiC өндірістік класты пластина 4H-N SiC негізі
Келесі кестеде біздің 8 дюймдік SiC пластиналарының сипаттамалары көрсетілген:
| 8 дюймдік N-типті SiC DSP сипаттамалары | |||||
| Сан | Тауар | Бірлік | Өндіріс | Зерттеу | Манекен |
| 1: параметрлер | |||||
| 1.1 | көптүрлі | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | бетінің бағдары | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
| 2: Электрлік параметр | |||||
| 2.1 | қоспа | -- | n-типті азот | n-типті азот | n-типті азот |
| 2.2 | кедергі | Ом ·см | 0,015~0,025 | 0,01~0,03 | NA |
| 3: Механикалық параметр | |||||
| 3.1 | диаметр | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
| 3.2 | қалыңдығы | мкм | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Ойықтың бағыты | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | Ойық тереңдігі | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
| 3.5 | LTV | мкм | ≤5 (10мм * 10мм) | ≤5 (10мм * 10мм) | ≤10 (10мм * 10мм) |
| 3.6 | TTV | мкм | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Садақ | мкм | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | Верб | мкм | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
| 4: Құрылым | |||||
| 4.1 | микротүтік тығыздығы | ea/см2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | металл құрамы | атомдар/см2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | ea/см2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | ҚҚПД | ea/см2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | ea/см2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. Алдыңғы сапасы | |||||
| 5.1 | алдыңғы | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | беткі өңдеу | -- | Si-бет CMP | Si-бет CMP | Si-бет CMP |
| 5.3 | бөлшек | вафли | ≤100 (өлшемі ≥0,3 мкм) | NA | NA |
| 5.4 | тырнау | вафли | ≤5, жалпы ұзындығы ≤200 мм | NA | NA |
| 5.5 | Шеткі сынықтар/ойықтар/жарықтар/дақтар/ластану | -- | Жоқ | Жоқ | NA |
| 5.6 | Политипті аймақтар | -- | Жоқ | Ауданы ≤10% | Ауданы ≤30% |
| 5.7 | алдыңғы белгі | -- | Жоқ | Жоқ | Жоқ |
| 6: Артқы сапасы | |||||
| 6.1 | артқы жағы | -- | C-бет MP | C-бет MP | C-бет MP |
| 6.2 | тырнау | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Артқы ақаулардың шеті чиптер/шегіністер | -- | Жоқ | Жоқ | NA |
| 6.4 | Арқаның кедір-бұдырлығы | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | Артқы белгі | -- | Ойық | Ойық | Ойық |
| 7: шеткі | |||||
| 7.1 | шеткі | -- | Фаша | Фаша | Фаша |
| 8: Қаптама | |||||
| 8.1 | қаптама | -- | Вакууммен Epi-дайын қаптама | Вакууммен Epi-дайын қаптама | Вакууммен Epi-дайын қаптама |
| 8.2 | қаптама | -- | Көп қабатты пластина кассета қаптамасы | Көп қабатты пластина кассета қаптамасы | Көп қабатты пластина кассета қаптамасы |
Егжей-тегжейлі диаграмма
Хабарламаңызды осында жазып, бізге жіберіңіз