8 дюймдік SiC Өндірістегі вафли 4H-N SiC субстраты

Қысқаша сипаттама:

8 дюймдік SiC субстраттары қуатты MOSFET (металл оксиді жартылай өткізгіш өрістік транзисторлар), Шоттки диодтары және басқа қуатты жартылай өткізгіш құрылғылар сияқты жоғары қуатты электрондық құрылғыларда қолданылады.

Бізге электрондық поштаны жіберіңіз

Өнімнің егжей-тегжейі

Өнім тегтері

Төмендегі кестеде 8 дюймдік SiC пластиналарымыздың сипаттамалары көрсетілген:

8 дюймдік N-типті SiC DSP сипаттамалары
Сан	Элемент	Бірлік	Өндіріс	Зерттеу	Манеке
1: параметрлер
1.1	политип	--	4H	4H	4H
1.2	беттік бағдарлау	°	<11-20>4±0,5	<11-20>4±0,5	<11-20>4±0,5
2:Электрлік параметр
2.1	допант	--	n-типті азот	n-типті азот	n-типті азот
2.2	қарсылық	ом ·см	0,015~0,025	0,01~0,03	NA
3: Механикалық параметр
3.1	диаметрі	mm	200±0,2	200±0,2	200±0,2
3.2	қалыңдығы	мкм	500±25	500±25	500±25
3.3	Кетіктік бағдар	°	[1- 100]±5	[1- 100]±5	[1- 100]±5
3.4	Кетік тереңдігі	mm	1~1,5	1~1,5	1~1,5
3.5	LTV	мкм	≤5(10мм*10мм)	≤5(10мм*10мм)	≤10(10мм*10мм)
3.6	TTV	мкм	≤10	≤10	≤15
3.7	Садақ	мкм	-25~25	-45~45	-65~65
3.8	Бұрыш	мкм	≤30	≤50	≤70
3.9	AFM	nm	Ra≤0,2	Ra≤0,2	Ra≤0,2
4: Құрылымы
4.1	микроқұбырдың тығыздығы	е/см2	≤2	≤10	≤50
4.2	металл құрамы	атом/см2	≤1E11	≤1E11	NA
4.3	TSD	е/см2	≤500	≤1000	NA
4.4	BPD	е/см2	≤2000	≤5000	NA
4.5	TED	е/см2	≤7000	≤10000	NA
5. Алдыңғы сапа
5.1	алдыңғы	--	Si	Si	Si
5.2	бетін әрлеу	--	Si-face CMP	Si-face CMP	Si-face CMP
5.3	бөлшек	ea/вафли	≤100(өлшем≥0,3мкм)	NA	NA
5.4	сызат	ea/вафли	≤5,Жалпы ұзындығы≤200мм	NA	NA
5.5	Жиек чиптер/шегістер/жарықтар/дақтар/ластану	--	Жоқ	Жоқ	NA
5.6	Политипті аймақтар	--	Жоқ	Аудан ≤10%	Аудан ≤30%
5.7	алдыңғы таңбалау	--	Жоқ	Жоқ	Жоқ
6: Артқы сапасы
6.1	артқы аяқтау	--	C-беттегі депутат	C-беттегі депутат	C-беттегі депутат
6.2	сызат	mm	NA	NA	NA
6.3	Артқы ақаулардың шеті чиптер/шегістер	--	Жоқ	Жоқ	NA
6.4	Артқы кедір-бұдыр	nm	Ra≤5	Ra≤5	Ra≤5
6.5	Артқы белгі	--	Ойық	Ойық	Ойық
7: жиегі
7.1	жиегі	--	Фака	Фака	Фака
8: Пакет
8.1	орау	--	Вакууммен эпи-дайын орау	Вакууммен эпи-дайын орау	Вакууммен эпи-дайын орау
8.2	орау	--	Көп вафельді кассеталық қаптама	Көп вафельді кассеталық қаптама	Көп вафельді кассеталық қаптама