English

Өсірілген сапфир буль құймасының кристалды ky әдісі

Өсірілген сапфир бульонының құйма кристалы ky әдісі Таңдаулы сурет
  • Өсірілген сапфир буль құймасының кристалды ky әдісі
  • Өсірілген сапфир буль құймасының кристалды ky әдісі
  • Өсірілген сапфир буль құймасының кристалды ky әдісі
  • Өсірілген сапфир буль құймасының кристалды ky әдісі

Қысқаша сипаттама:

An өсірілген сапфир буле- өсіру пешінен тікелей өндірілетін және бағдарлау, кесу немесе жылтырату сияқты екінші реттік өңдеуден бұрын жеткізілетін монокристалды сапфир құймасы. Ол ерекше қаттылықты, химиялық инерттілікті, жоғары термиялық тұрақтылықты және ультракүлгін сәулелерден инфрақызыл сәулелерге дейінгі кең оптикалық мөлдірлікті ұсынады. Бұл қасиеттер оны терезелерге, пластиналарға/негіздерге, линзаларға және қорғаныс қақпақтарына кейінгі өндіріс үшін тамаша бастапқы материал етеді. Әдеттегі соңғы қолданыстарға жарықдиодты және лазерлік компоненттер, инфрақызыл/көрінетін терезелер, тозуға төзімді сағат және аспап беттері, сондай-ақ РФ, сенсор және басқа да электрондық құрылғыларға арналған негіздері жатады. Булдар әдетте кристалдардың бағдары, диаметрі/ұзындығы, дислокациясы немесе ақау тығыздығы, түс біркелкілігі және қосындылары бойынша сұрыпталады, ал тұтынушының талаптарына сәйкес бағдарлау және кесу бойынша қосымша қызметтер қолжетімді.


  • :
  • :

    • Ерекше өзгешеліктері

    Құйма сапасы

    құйма өлшемі

    Құйма фотосуреті

    Егжей-тегжейлі диаграмма

    сапфир құймасы11
    сапфир құймасы08
    өсірілген сапфир құймасы ретінде01

    Шолу

    A сапфир бульсапфир пластиналары, оптикалық терезелер, тозуға төзімді бөлшектер және асыл тастарды кесу үшін бастапқы шикізат ретінде қызмет ететін алюминий оксидінің (Al₂O₃) үлкен, өсіп келе жатқан монокристалы.Мохс 9 қаттылығы, тамаша термиялық тұрақтылық(балқу температурасы ~2050 °C), жәнекеңжолақты ашықтықУК-ден орташа инфрақызылға дейін сапфир - беріктік, тазалық және оптикалық сапа қатар жүруі керек эталондық материал.

    Біз салалық дәлелденген өсіру әдістерімен өндірілген, оңтайландырылған түссіз және легирленген сапфир бульондарын жеткіземізGaN/AlGaN эпитаксиясы, дәлдік оптикасыжәнежоғары сенімділіктегі өнеркәсіптік компоненттер.

    Неліктен бізден Sapphire Boule

    • Кристалл сапасы бірінші орында:ішкі кернеудің төмендігі, көпіршіктердің/стриалардың төмен мөлшері, төменгі ағыстағы кесу және эпитаксия үшін бағдарлауды қатаң бақылау.

    • Процестің икемділігі:Қолдануыңыздың өлшемін, кернеуін және құнын теңестіру үшін KY/HEM/CZ/Verneuil өсіру нұсқалары.

    • Масштабталатын геометрия:цилиндрлік, сәбіз тәрізді немесе блок тәрізді, арнайы жалпақ, тұқым/соңғы өңдеу және тірек жазықтықтары бар бульдер.

    • Бақыланатын және қайталанатын:сіздің спецификацияңызға сәйкес келетін партиялық жазбалар, метрология есептері және қабылдау критерийлері.

    Өсу технологиялары

    • KY (Киропулос):Үлкен диаметрлі, кернеуі төмен бульдер; қос сынудың біркелкілігі маңызды болатын эпи-дәрежелі пластиналар мен оптика үшін қолайлы.

    • HEM (Жылу алмастырғыш әдісі):Тамаша жылу градиенттері және кернеуді бақылау; қалың оптика және премиум EPI шикізаты үшін тартымды.

    • CZ (Чохральский):Бағыттау мен қайталануды күшті бақылау; тұрақты, жоғары өнімді кесу үшін жақсы таңдау.

    • Верней (Жалын-Термоз):Үнемді, жоғары өткізу қабілеті; жалпы оптика, механикалық бөлшектер және асыл тастарды алдын ала өңдеуге жарамды.

    Кристаллдың бағдары, геометриясы және өлшемі

    • Стандартты бағыттар: c-жазықтық (0001), ұшақ (11-20), r-жазықтық (1-102), м-жазықтық (10-10); арнайы жасалған ұшақтар қолжетімді.

    • Бағыттау дәлдігі:Laue/XRD бойынша ≤ ±0,1° (сұраныс бойынша тығызырақ).

    • Пішіндер:цилиндрлік немесе сәбіз тәрізді бульдер, шаршы/тікбұрышты блоктар және шыбықтар.

    • Қаптаманың типтік өлшемі: Ø30–220 мм, ұзындығы 50–400 мм(үлкенірек/кішірек тапсырыс бойынша жасалады).

    • Соңғы/анықтамалық мүмкіндіктер:егу/соңғы бетті өңдеу, тірек жазықтықтар/ойықтар және төменгі ағынды туралауға арналған бекіткіштер.

    Материалдық және оптикалық қасиеттер

    • Құрамы:Монокристаллды Al₂O₃, шикізат тазалығы ≥ 99,99%.

    • Тығыздық:~3,98 г/см³

    • Қаттылық:Мохс 9

    • Сыну көрсеткіші (589 нм): nₒ≈ 1,768,nₑ≈ 1.760 (теріс бір осьті; Δn ≈ 0.008)

    • Трансмиссия терезесі: УК ~5 мкм дейін(қалыңдығы мен қоспасына байланысты)

    • Жылу өткізгіштік (300 К):~25 Вт·м⁻¹·К⁻¹

    • CTE (20–300 °C):~5–8 × 10⁻⁶ /K (бағдарға тәуелді)

    • Янг модулі:~345 ГПа

    • Электрлік:Жоғары оқшаулағыш (көлемдік кедергі әдетте ≥ 10¹⁴ Ω·см)

    Бағалар мен опциялар

    • Эпитаксия дәрежесі:Жоғары өнімді GaN/AlGaN MOCVD пластиналары үшін (2–8 дюйм және одан жоғары төменгі ағыс) өте төмен көпіршіктер/стриа және минималды кернеу қос сынуы.

    • Оптикалық дәреже:Терезелер, линзалар және инфрақызыл көру терезелері үшін жоғары ішкі өткізгіштік және біртектілік.

    • Жалпы/Механикалық дәреже:Сағат кристалдарына, түймелерге, тозуға төзімді бөлшектерге және корпустарға арналған берік, құны оңтайландырылған шикізат.

    • Допинг/Түс:

      • Түссіз(стандартты)
        Cr:Al₂O₃(лағыл),Ti:Al₂O₃(Ti:сапфир) преформалары
        Сұраныс бойынша басқа хромофорлар (Fe/Ti)

    Қолданбалар

    Жартылай өткізгіш: GaN жарықдиодтарына, микро жарықдиодтарға, қуатты HEMT-лерге, РФ құрылғыларына (сапфир пластинасынан жасалған шикізат) арналған негіздер.

    Оптика және фотоника: жоғары температура/қысым терезелері, инфрақызыл шолу терезелері, лазерлік қуыс терезелері, детектор қақпақтары.

    Тұтынушыларға арналған және киілетін құрылғылар: сағат кристалдары, камера линзаларының қақпақтары, саусақ ізі сенсорының қақпақтары, премиум сыртқы бөлшектер.

    Өнеркәсіптік және аэроғарыштық: саптамалар, клапан орындықтары, тығыздағыш сақиналар, қорғаныс терезелері және бақылау порттары.

    Лазер/кристалды өсу: Ti: легирленген булдардан алынған сапфир және лағыл хосттар.

    Бір шолудағы деректер (әдеттегідей, анықтама үшін)

    Параметр Мән (әдеттегі)
    Құрамы Монокристаллды Al₂O₃ (≥ 99,99% тазалық)
    Бағыт c / a / r / m (сұраныс бойынша тапсырыс бойынша)
    Индекс @ 589 нм nₒ≈ 1,768,nₑ≈ 1.760
    Беріліс диапазоны ~0,2–5 мкм (қалыңдығына байланысты)
    Жылу өткізгіштігі ~25 Вт·м⁻¹·К⁻¹ (300 К)
    CTE (20–300 °C) ~5–8 × 10⁻⁶/K
    Янг модулі ~345 ГПа
    Тығыздық ~3,98 г/см³
    Қаттылық Мохс 9
    Электрлік Оқшаулағыш; көлемдік кедергі ≥ 10¹⁴ Ω·см

     

    Сапфир пластинасын өндіру процесі

    1. Кристаллдың өсуі
      Жоғары тазалықтағы алюминий оксиді (Al₂O₃) балқытылып, бір сапфир кристалды құймасына айналдырылады.Киропулос (KY) or Чохральски (Чехия)әдіс.

    2. Құйма өңдеу
      Құйма стандартты пішінге келтіріліп өңделеді — кесу, диаметрді пішіндеу және бетін өңдеу.

    3. Кесу
      Сапфир құймасы жұқа пластиналарға кесіледіалмас сымнан жасалған ара.

    4. Екі жақты тегістеу
      Ара іздерін кетіру және біркелкі қалыңдыққа қол жеткізу үшін пластинаның екі жағы да тегістеледі.

    5. Күйдіру
      Вафлилер термиялық өңдеуден өтедіішкі стрессті босатужәне кристалдардың сапасы мен мөлдірлігін жақсарту.

    6. Жиектерді тегістеу
      Әрі қарай өңдеу кезінде сызаттардың пайда болуына және жарылуына жол бермеу үшін пластинаның шеттері қиғашталған.

    7. Орнату
      Дәл жылтырату және тексеру үшін пластиналар тасымалдаушыларға немесе ұстағыштарға орнатылады.

    8. DMP (Екі жақты механикалық жылтырату)
      Беткі қабаттың тегістігін жақсарту үшін пластина беттері механикалық жылтыратылған.

    9. CMP (Химиялық механикалық жылтырату)
      Химиялық және механикалық әрекеттерді біріктіретін нәзік жылтырату қадамыайна тәрізді бет.

    10. Визуалды тексеру
      Операторлар немесе автоматтандырылған жүйелер көрінетін беткі ақауларды тексереді.

    11. Жазықтықты тексеру
      Өлшемдік дәлдікті қамтамасыз ету үшін жазықтық пен қалыңдықтың біркелкілігі өлшенеді.

    12. RCA тазалау
      Стандартты химиялық тазалау органикалық, металл және бөлшектерден тұратын ластаушы заттарды кетіреді.

    13. Скрабпен тазалау
      Механикалық тазалау қалған микроскопиялық бөлшектерді кетіреді.

    14. Беттік ақауларды тексеру
      Автоматтандырылған оптикалық тексеру сызаттар, шұңқырлар немесе ластану сияқты микроақауларды анықтайды.

     

    1. Кристаллдың өсуі
      Жоғары тазалықтағы алюминий оксиді (Al₂O₃) балқытылып, бір сапфир кристалды құймасына айналдырылады.Киропулос (KY) or Чохральски (Чехия)әдіс.

    2. Құйма өңдеу
      Құйма стандартты пішінге келтіріліп өңделеді — кесу, диаметрді пішіндеу және бетін өңдеу.

    3. Кесу
      Сапфир құймасы жұқа пластиналарға кесіледіалмас сымнан жасалған ара.

    4. Екі жақты тегістеу
      Ара іздерін кетіру және біркелкі қалыңдыққа қол жеткізу үшін пластинаның екі жағы да тегістеледі.

    5. Күйдіру
      Вафлилер термиялық өңдеуден өтедіішкі стрессті босатужәне кристалдардың сапасы мен мөлдірлігін жақсарту.

    6. Жиектерді тегістеу
      Әрі қарай өңдеу кезінде сызаттардың пайда болуына және жарылуына жол бермеу үшін пластинаның шеттері қиғашталған.

    7. Орнату
      Дәл жылтырату және тексеру үшін пластиналар тасымалдаушыларға немесе ұстағыштарға орнатылады.

    8. DMP (Екі жақты механикалық жылтырату)
      Беткі қабаттың тегістігін жақсарту үшін пластина беттері механикалық жылтыратылған.

    9. CMP (Химиялық механикалық жылтырату)
      Химиялық және механикалық әрекеттерді біріктіретін нәзік жылтырату қадамыайна тәрізді бет.

    10. Визуалды тексеру
      Операторлар немесе автоматтандырылған жүйелер көрінетін беткі ақауларды тексереді.

    11. Жазықтықты тексеру
      Өлшемдік дәлдікті қамтамасыз ету үшін жазықтық пен қалыңдықтың біркелкілігі өлшенеді.

    12. RCA тазалау
      Стандартты химиялық тазалау органикалық, металл және бөлшектерден тұратын ластаушы заттарды кетіреді.

    13. Скрабпен тазалау
      Механикалық тазалау қалған микроскопиялық бөлшектерді кетіреді.

    14. Беттік ақауларды тексеру
      Автоматтандырылған оптикалық тексеру сызаттар, шұңқырлар немесе ластану сияқты микроақауларды анықтайды.

    Сапфир бульоны (бір кристалды Al₂O₃) — Жиі қойылатын сұрақтар

    1-сұрақ: Сапфир буль дегеніміз не?
    A: Алюминий оксидінің (Al₂O₃) өсіп келе жатқан монокристалы. Бұл сапфир пластиналарын, оптикалық терезелерді және тозуға төзімді компоненттерді жасау үшін қолданылатын жоғарғы «құйма».

    2-сұрақ: Буль пластиналармен немесе терезелермен қалай байланысты?
    A: Буль эпиградты пластиналарды немесе оптикалық/механикалық бөлшектерді алу үшін бағытталған → кесілген → тегістелген → жылтыратылған. Бастапқы бульдің біркелкілігі ағынның төменгі бөлігіндегі өнімділікке қатты әсер етеді.

    3-сұрақ: Қандай өсу әдістері бар және олар қалай ерекшеленеді?
    A: KY (Киропулос)жәнеHEMөнімділігі жоғары,төмен стресстібульдер — эпитаксия және жоғары деңгейлі оптика үшін қолайлы.CZ (Чохральский)тамаша ұсынадыбағдарды басқаружәне лоттан лотқа сәйкестік.Верней (жалынмен балқыту) is үнемдіжалпы оптика және асыл тастардың алдын ала пішіндері үшін.

    4-сұрақ: Сіз қандай бағдарларды ұсынасыз? Қандай дәлдік тән?
    A: c-жазықтық (0001), a-жазықтық (11-20), r-жазықтық (1-102), m-жазықтық (10-10)және кедендік бағдарлау. Әдетте бағдарлау дәлдігі≤ ±0,1°Laue/XRD арқылы расталған (сұраныс бойынша қатаңырақ).

  • Алдыңғы:
  • Келесі:

    • Жауапты ішкі қалдықтарды басқаруы бар оптикалық класты кристалдар

    Біздің барлық сапфир шарлары өндіріледіоптикалық дәреже, оптика мен электроника үшін жоғары өткізгіштікті, тығыз біртектілікті және төмен қосу/көпіршік және дислокация тығыздығын қамтамасыз етеді. Біз кристалдың бағдарын және қос сынуын тұқымнан спиральға дейін басқарамыз, партияның толық бақылануы мен тізбектер бойынша бірізділігін қамтамасыз етеміз. Өлшемдерін, бағдарын (c-, a-, r-жазықтығы) және төзімділіктерді сіздің төменгі кесу/жылтырату қажеттіліктеріңізге бейімдеуге болады.
    Ең бастысы, сипаттамаға сәйкес келмейтін кез келген материалтолығымен өзімізде өңделгентұйық циклді жұмыс процесі арқылы — сұрыпталады, қайта өңделеді және жауапкершілікпен жойылады — сондықтан сіз өңдеу немесе сәйкестік ауыртпалығынсыз сенімді сапаға қол жеткізесіз. Бұл тәсіл тәуекелді азайтады, жеткізу мерзімін қысқартады және сіздің тұрақтылық мақсаттарыңызды қолдайды.

    Құйма салмақ белдігі (кг) 2 дюйм 4 дюйм 6 дюйм 8 дюйм 12 дюйм Ескертпелер
    10–30 Жарамды Жарамды Шектеулі/мүмкін Әдеттегідей емес Пайдаланылмаған Шағын форматты кесу; 6 дюйм пайдалануға болатын диаметрге/ұзындыққа байланысты.
    30–80 Жарамды Жарамды Жарамды Шектеулі/мүмкін Әдеттегідей емес Кең утилита; кейде 8 дюймдік пилоттық учаскелер.
    80–150 Жарамды Жарамды Жарамды Жарамды Әдеттегідей емес 6-8 дюймдік өндіріс үшін жақсы тепе-теңдік.
    150–250 Жарамды Жарамды Жарамды Жарамды шектеулі серіктестік/ҒЗТКЖ Бастапқы 12 дюймдік сынақтарды нақты сипаттамалармен қолдайды.
    250–300 Жарамды Жарамды Жарамды Жарамды Шектеулі/нақты көрсетілген Жоғары көлемді 8 дюйм; таңдамалы 12 дюймдік жүгірістер.
    >300 Жарамды Жарамды Жарамды Жарамды Жарамды Шекаралық масштаб; 12 дюйм, қатаң біркелкілік/шығымдылық бақылауымен мүмкін.

     

    құйма

    Ұқсас өнімдер

    Хабарламаңызды осында жазып, бізге жіберіңіз
    Іздеу үшін Enter пернесін немесе жабу үшін ESC пернесін басыңыз