Диаметрі 300x1.0 ммт Қалыңдығы Сапфир пластинасы C-бұрышты SSP/DSP
Вафли қорабын таныстыру
| Кристалдық материалдар | 99,999% Al2O3, жоғары тазалық, монокристалды, Al2O3 | |||
| Кристалл сапасы | Қосулар, блок белгілері, егіздер, түс, микрокөпіршіктер және шашыраңқы орталықтар жоқ. | |||
| Диаметрі | 2 дюйм | 3 дюйм | 4 дюйм | 6 дюйм ~ 12 дюйм |
| 50,8± 0,1 мм | 76,2±0,2 мм | 100±0,3 мм | Стандартты өндіріс ережелеріне сәйкес | |
| Қалыңдығы | 430±15µm | 550±15µm | 650±20µm | Тұтынушының қалауы бойынша реттелуі мүмкін |
| Бағыт | C-жазықтығынан (0001) M-жаздыққа (1-100) немесе A-жаздыққа (1 1-2 0) 0,2±0,1° /0,3±0,1°, R-жаздыққа (1-1 0 2), A-жаздыққа (1 1-2 0), M-жаздыққа (1-1 0 0), Кез келген бағдар, Кез келген бұрыш | |||
| Бастапқы жазық ұзындық | 16,0±1мм | 22,0±1,0 мм | 32,5±1,5 мм | Стандартты өндіріс ережелеріне сәйкес |
| Бастапқы жазық бағдар | А-жазықтық (1 1-2 0 ) ± 0,2° | |||
| TTV | ≤10 мкм | ≤15 мкм | ≤20 мкм | ≤30 мкм |
| LTV | ≤10 мкм | ≤15 мкм | ≤20 мкм | ≤30 мкм |
| TIR | ≤10 мкм | ≤15 мкм | ≤20 мкм | ≤30 мкм |
| САДА | ≤10 мкм | ≤15 мкм | ≤20 мкм | ≤30 мкм |
| Верб | ≤10 мкм | ≤15 мкм | ≤20 мкм | ≤30 мкм |
| Алдыңғы беті | Эпи-жылтыратылған (Ra < 0.2 нм) | |||
*Бұрыш: Еркін, қысылмаған пластинаның медианалық бетінің центрлік нүктесінің тірек жазықтығынан ауытқуы, мұндағы тірек жазықтығы тең бүйірлі үшбұрыштың үш бұрышымен анықталады.
*Деформация: Жоғарыда анықталған тірек жазықтығынан бос, қысылмаған пластинаның медиан бетінің максималды және минималды қашықтықтары арасындағы айырмашылық.
Келесі буын жартылай өткізгіш құрылғылары мен эпитаксиалды өсуге арналған жоғары сапалы өнімдер мен қызметтер:
Жоғары деңгейдегі жалпақтық (бақыланатын TTV, садақ, варп және т.б.)
Жоғары сапалы тазалау (бөлшектердің ластануы төмен, металлдың ластануы төмен)
Негізді бұрғылау, ойық ою, кесу және артқы жағын жылтырату
Тазалық және негіздің пішіні сияқты деректерді қосу (міндетті емес)
Егер сізге сапфир субстраттары қажет болса, хабарласыңыз:
пошта:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
Біз сізге мүмкіндігінше тезірек ораламыз!
Егжей-тегжейлі диаграмма





