Жартылай өткізгішті және таза бөлмені автоматтандыруға арналған жоғары өнімді глиноземді керамикалық ұшты эффектор (шанышқы қол)

Жартылай өткізгішті және таза бөлмені автоматтандыруға арналған өнімділігі жоғары алюминий тотығының керамикалық соңы эффекторы (айыр иін) Таңдаулы кескін

Қысқаша сипаттама:

Alumina Ceramic End Effector, сондай-ақ керамикалық шанышқы қолы немесе роботты керамикалық қол деп те аталады, жартылай өткізгішті, фотоэлектрлік, панельдік дисплейдегі және жоғары тазалықтағы зертханалық ортадағы автоматтандырылған жүйелерге арналған жоғары дәлдіктегі өңдеу құрамдас бөлігі. Ол ерекше термиялық тұрақтылықты, механикалық қаттылықты және химиялық төзімділікті қамтамасыз ету үшін жасалған, кремний пластиналары, шыны астары және электронды микрокомпоненттер сияқты сезімтал материалдарды таза, сенімді және қауіпсіз тасымалдауды ұсынады.

Бізге электрондық поштаны жіберіңіз

Ерекше өзгешеліктері

Егжей-тегжейлі диаграмма

Өніммен таныстыру

Роботтық соңғы эффектордың бір түрі ретінде бұл керамикалық компонент автоматтандыру жүйесі мен дайындама арасындағы соңғы интерфейс болып табылады. Ол таза бөлмелер мен вакуумдық орталарда дәлдік беру, туралау, тиеу/түсіру және орналастыру тапсырмаларында маңызды рөл атқарады.

Жартылай өткізгіштердің пластинкасына арналған керамикалық тұтқа-G13

Жартылай өткізгіштердің пластинкасына арналған керамикалық тұтқа-G10

Жартылай өткізгіштердің пластинкасына арналған керамикалық тұтқа-G07

Материалға шолу – алюминий тотығы керамикалық (Al₂O₃)

Алюминий тотығы керамика – тамаша механикалық және электрлік қасиеттерімен танымал жоғары тұрақты және химиялық инертті техникалық керамикалық материал. Осы соңғы эффекторларда қолданылатын жоғары тазалықтағы (≥ 99,5%) алюминий тотығы мыналарды қамтамасыз етеді:

Жоғары қаттылық (Mohs 9): Алмаздан кейін екінші орында, глинозем тозуға төзімділікті қамтамасыз етеді.
Жоғары температура мүмкіндігі: 1600°C жоғары температурада құрылымдық тұтастықты сақтайды.
Химиялық инерттілік: Қышқылдарға, сілтілерге, еріткіштерге және плазмалық сырлау орталарына төзімді.
Электрлік оқшаулау: Жоғары диэлектрлік беріктігімен және төмен диэлектрлік шығынымен.
Төмен термиялық кеңею: Жылулық цикл орталарында өлшемдік тұрақтылықты қамтамасыз етеді.
Бөлшектердің аз генерациясы: Таза бөлменің үйлесімділігі үшін маңызды (10-сыныптан 1000-сыныпқа дейін).

Бұл мүмкіндіктер глинозем керамикасын ластануға сезімтал өнеркәсіптердегі маңызды операциялар үшін тамаша етеді.

Функционалды қолданбалар

Алюминий тотығы керамикалық соңғы эффекторы жоғары технологиялық өнеркәсіптік процестерде кеңінен қолданылады, әсіресе дәстүрлі металл немесе пластмасса материалдар термиялық кеңею, ластану немесе коррозия мәселелеріне байланысты жетіспейді. Негізгі қолданбалы өрістерге мыналар жатады:

Жартылай өткізгішті пластинаны тасымалдау
Фотолитографияның тиеу-түсіру жүйелері
OLED және СКД желілерінде шыны субстратты өңдеу
Күн батареяларын өндірудегі кристалды кремний пластинасы
Автоматтандырылған оптикалық немесе микроэлектрондық тексеру
Аналитикалық немесе биомедициналық зертханаларда үлгіні тасымалдау
Вакуумдық ортаны автоматтандыру жүйелері

Бөлшектерді немесе статикалық зарядты енгізбестен орындау қабілеті оны таза бөлмені автоматтандырудағы дәл роботтық операциялар үшін таптырмас етеді.

Дизайн мүмкіндіктері және теңшеу

Әрбір керамикалық соңғы эффектор белгілі бір роботтық тұтқаға немесе пластинаны өңдеу жүйесіне сәйкес келетін етіп жасалған. Біз мыналарға негізделген толық теңшеуді қолдаймыз:

Вафли өлшемінің үйлесімділігі: 2", 4", 6", 8", 12" және т.б
Слоттың геометриясы және аралығы: Шетінен ұстағышты, артқы жағындағы тіреуді немесе ойық пластинка конструкцияларын орналастырады
Сору порттары: Контактісіз өңдеуге арналған кіріктірілген вакуумдық тесіктер немесе арналар
Монтаждау конфигурациясы: Роботтың соңғы құрал фланеціне бейімделген тесіктер, жіптер, ойықтар
Беттік өңдеу: жылтыратылған, сырланған немесе ұсақ тегістелген (Ra < 0,2 мкм қол жетімді)
Жиектерді қорғау: Вафлиге зақым келтірмеу үшін дөңгелектелген бұрыштар немесе қию

Клиенттер ұсынған CAD сызбаларын немесе 3D үлгілерін пайдалану арқылы біздің инженерлер әрбір шанышқы иін салмағы, күші және тазалығы үшін оңтайландыра алады.

en_177_d780dae2bf2639e7dd5142ca3d29c41d_image

Керамикалық соңғы эффекторлардың артықшылықтары

Ерекшелік	Пайда
Жоғары механикалық қаттылық	Роботтық жүктеме күштері кезінде өлшемдік дәлдікті сақтайды
Тамаша термиялық өнімділік	Жоғары температурада немесе плазмалық ортада сенімді жұмыс істейді
Нөлдік металл ластануы	Критикалық жартылай өткізгіштерді өңдеу кезінде иондардың ластану қаупі жоқ
Төмен үйкеліс беті	Вафли немесе шыны негіздерде сызат алу қаупін азайтады
Антистатикалық және магниттік емес	Шаңды тартпайды немесе магнитке сезімтал компоненттерге әсер етпейді
Ұзақ қызмет ету мерзімі	Қайталанатын жоғары жылдамдықты автоматтандыру циклдерінде жоғары тозуға төзімділік
Өте таза үйлесімділік	ISO 14644 таза бөлмелер үшін жарамды (100 және одан төмен сынып)

Пластикалық немесе алюминий тұтқаларымен салыстырғанда, алюминий тотығы керамика минималды техникалық қызмет көрсету талаптарымен күрт жақсартылған химиялық және физикалық тұрақтылықты қамтамасыз етеді.

Меншік	Металл қол	Пластикалық қол	Алюминий тотығы керамикалық қол
Қаттылық	Орташа	Төмен	Өте жоғары (Mohs 9)
Термиялық тұрақтылық	≤ 500°C	≤ 150°C	≥ 1600°C
Химиялық төзімділік	Орташа	Кедей	Өте жақсы
Таза бөлменің жарамдылығы	Орташа	Төмен	Өте жоғары
Тозуға төзімділік	Орташа	Төмен	Керемет
Диэлектрлік күш	Төмен	Орташа	Жоғары
Арнайы өңдеу дәлдігі	Шектеулі	Орташа	Жоғары (±0,01 мм мүмкін)

Техникалық сипаттамалар

Параметр	Мән
Материал	Жоғары таза алюминий тотығы (≥ 99,5%)
Жұмыс температурасы	1600 ° C дейін
Бетінің кедір-бұдырлығы	Ra ≤ 0,2 мкм (міндетті емес)
Үйлесімді вафли өлшемдері	2-ден 12-ге дейін немесе реттелетін
Жазықтыққа төзімділік	±0,01 мм (қолданбаға байланысты)
Вакуумды сору қолдауы	Қосымша, теңшелетін арналар
Орнату опциялары	Болт, фланец, ойық тесіктер

Жиі қойылатын сұрақтар (ЖҚС)

1-сұрақ: Соңғы эффекторды бар роботтық жүйелерге біріктіруге болады ма?
A1:Иә. Біз сіздің роботтық интерфейсіңізге негізделген теңшеуді қолдаймыз. Дәл бейімделу үшін бізге CAD сызбасын немесе фланец өлшемдерін жібере аласыз.

2-сұрақ: Керамикалық қолдар пайдалану кезінде оңай сынады ма?
A2:Керамика табиғаты бойынша сынғыш болғанымен, біздің дизайнымызда кернеу концентрациясын азайту үшін оңтайландырылған геометрия қолданылады. Тиісті пайдалану жағдайында олар металға немесе пластикке қарағанда айтарлықтай ұзағырақ қызмет ету мерзімін қамтамасыз етеді.

3-сұрақ: Мұны ультра жоғары вакуумда немесе плазмалық өңдеу камераларында қолдануға бола ма?
A3:Иә. Алюминий тотығы керамика газ шығармайды, термиялық тұрақты және коррозияға төзімді — жоғары вакуумды, реактивті газ немесе плазмалық орталар үшін өте қолайлы.

4-сұрақ: Бұл компоненттер қалай тазаланады немесе күтіледі?
A4:Оларды DI суы, алкоголь немесе таза бөлмеге сәйкес келетін жуғыш заттар арқылы тазалауға болады. Олардың химиялық тұрақтылығы мен инертті бетінің арқасында арнайы күтім қажет емес.

Біз туралы

XKH арнайы оптикалық шыны мен жаңа кристалды материалдарды жоғары технологиялық әзірлеуге, өндіруге және сатуға маманданған. Біздің өнімдер оптикалық электроникаға, тұрмыстық электроникаға және әскерге қызмет етеді. Біз Sapphire оптикалық компоненттерін, ұялы телефон линзаларының қақпақтарын, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, кварц және жартылай өткізгіш кристалды пластиналарды ұсынамыз. Білікті тәжірибе мен озық жабдықтармен біз стандартты емес өнімді өңдеуде озық боламыз, оптоэлектрондық материалдардың жоғары технологиялық жетекші кәсіпорны болуға ұмтыламыз.