Жартылай өткізгішті, фотониканың оптикалық қолданбаларына арналған жоғары таза балқытылған кварцты пластиналар 2″4″6″8″12″

Жартылай өткізгіштерге, фотоникаға арналған оптикалық қолданбаларға арналған жоғары таза балқытылған кварц пластиналары 2″4″6″8″12″ Таңдаулы кескін

Қысқаша сипаттама:

Балқытылған кварц— деп те белгіліБалқытылған кремний диоксиді— кремний диоксидінің (SiO₂) кристалды емес (аморфты) түрі. Боросиликатты немесе басқа өнеркәсіптік шынылардан айырмашылығы, балқытылған кварц құрамында SiO₂ химиялық таза құрамын беретін қоспалар немесе қоспалар жоқ. Ол дәстүрлі шыны материалдардан асып түсетін ультракүлгін (УК) және инфрақызыл (ИК) спектрлері бойынша ерекше оптикалық берілісімен танымал.

Бізге электрондық поштаны жіберіңіз

Ерекше өзгешеліктері

Егжей-тегжейлі диаграмма

Балқытылған кремний диоксиді және оптикалық кварц шыны пластиналары-2

балқытылған_кварц_вафли_4_дюймдік_ерітілген_силика_вафли_

Кварц шынысына шолу

Кварц пластиналары бүгінгі цифрлық әлемді басқаратын сансыз заманауи құрылғылардың негізін құрайды. Смартфондағы навигациядан бастап 5G базалық станцияларының негізіне дейін кварц өнімділігі жоғары электроника мен фотоникада талап етілетін тұрақтылықты, тазалықты және дәлдікті тыныштандырады. Икемді схемаларды қолдау, MEMS сенсорларын қосу немесе кванттық есептеулер үшін негіз болу, кварцтың бірегей сипаттамалары оны барлық салаларда таптырмас етеді.

Кварцтың аморфты фазасы (SiO2) болып табылатын «балқытылған кремний диоксиді» немесе «балқытылған кварц». Боросиликатты шыныдан айырмашылығы, балқытылған кремнеземде қоспалар жоқ; сондықтан ол өзінің таза түрінде, SiO2 түрінде болады. Балқытылған кремний диоксиді кәдімгі шынымен салыстырғанда инфрақызыл және ультракүлгін спектрде жоғары өткізгіштікке ие. Балқытылған кремнезем өте таза SiO2-ні балқыту және қайта қатайту арқылы алынады. Синтетикалық балқытылған кремний диоксиді SiCl4 сияқты кремнийге бай химиялық прекурсорлардан жасалған, олар газдандырылған, содан кейін H2 + O2 атмосферасында тотыққан. Бұл жағдайда пайда болған SiO2 шаңы субстратта кремний диоксидімен біріктіріледі. Балқытылған кремний блоктары вафлилерге кесіледі, содан кейін пластиналар ақырында жылтыратылады.

Балқытылған кремний диоксиді және оптикалық кварц шыны пластиналары

Кварцты шыны вафлидің негізгі ерекшеліктері мен артықшылықтары

Өте жоғары тазалық (≥99,99% SiO2)
Материалдың ластануын азайту қажет өте таза жартылай өткізгіш және фотоникалық процестер үшін өте қолайлы.
Кең термиялық жұмыс диапазоны
Криогендік температурадан 1100°C-ден жоғары құрылымдық тұтастығын деградациясыз немесе деградациясыз сақтайды.
Ультракүлгін және инфрақызыл сәулелердің тамаша өтуі
Терең ультракүлгіннен (DUV) жақын инфрақызыл (NIR) арқылы тамаша оптикалық айқындықты қамтамасыз етеді, дәлдіктегі оптикалық қолданбаларды қолдайды.
Төмен термиялық кеңею коэффициенті
Температураның ауытқуы кезінде өлшем тұрақтылығын жақсартады, кернеуді азайтады және процестің сенімділігін арттырады.
Жоғары химиялық төзімділік
Көптеген қышқылдарға, сілтілерге және еріткіштерге инертті, бұл оны химиялық агрессивті орталарға өте қолайлы етеді.
Беттік әрлеу икемділігі
Фотоника және MEMS талаптарына сәйкес келетін ультра тегіс, бір жақты немесе екі жақты жылтыратылған әрлеумен қол жетімді.

Кварц шыны пластинасын өндіру процесі

Балқытылған кварц пластиналары басқарылатын және нақты қадамдар сериясы арқылы шығарылады:

Шикізатты таңдау
Жоғары таза табиғи кварцты немесе синтетикалық SiO₂ көздерін таңдау.
Балқу және балқыту
Кварц қосындылар мен көпіршіктерді жою үшін бақыланатын атмосферада электр пештерінде ~2000°C температурада балқытылады.
Блок қалыптастыру
Балқытылған кремний тотығы қатты блоктарға немесе құймаларға салқындатылады.
Вафельді кесу
Құймаларды вафли дайындамаларына кесу үшін дәл алмас немесе сым аралар қолданылады.
Тегістеу және жылтырату
Дәл оптикалық, қалыңдық және кедір-бұдырлық сипаттамаларға сай болу үшін екі бет те тегістеледі және жылтыратылады.
Тазалау және тексеру
Вафлилер ISO 100/1000 класы таза бөлмелерде тазаланады және ақаулар мен өлшемдердің сәйкестігі үшін қатаң тексеруден өтеді.

Кварц шыны пластинаның қасиеттері

спец	бірлік	4"	6"	8"	10"	12"
Диаметрі/өлшемі (немесе шаршы)	mm	100	150	200	250	300
Төзімділік (±)	mm	0.2	0.2	0.2	0.2	0.2
Қалыңдығы	mm	0,10 немесе одан да көп	0,30 немесе одан да көп	0,40 немесе одан да көп	0,50 немесе одан да көп	0,50 немесе одан да көп
Негізгі анықтамалық пәтер	mm	32.5	57.5	Жартылай ойық	Жартылай ойық	Жартылай ойық
LTV (5мм×5мм)	мкм	< 0,5	< 0,5	< 0,5	< 0,5	< 0,5
TTV	мкм	< 2	< 3	< 3	< 5	< 5
Садақ	мкм	±20	±30	±40	±40	±40
Соғыс	мкм	≤ 30	≤ 40	≤ 50	≤ 50	≤ 50
PLTV (5мм×5мм) <0,4мкм	%	≥95%	≥95%	≥95%	≥95%	≥95%
Жиектерді дөңгелектеу	mm	SEMI M1.2 стандартына сәйкес / IEC62276 қараңыз
Беттік түрі		Бір жақты жылтыратылған / Екі жақты жылтыратылған
Жылтыратылған жағы Ra	nm	≤1	≤1	≤1	≤1	≤1
Артқы жағы критерийлері	мкм	жалпы 0,2-0,7 немесе теңшелген

Кварц басқа мөлдір материалдарға қарсы

Меншік	Кварц шыны	Боросиликатты шыны	Сапфир	Стандартты шыны
Максималды жұмыс температурасы	~1100°C	~500°C	~2000°C	~200°C
УК таралу	Өте жақсы (JGS1)	Кедей	Жақсы	Өте кедей
Химиялық төзімділік	Өте жақсы	Орташа	Өте жақсы	Кедей
Тазалық	Өте жоғары	Төмен және орташа	Жоғары	Төмен
Термиялық кеңею	Өте төмен	Орташа	Төмен	Жоғары
Құны	Орташа және жоғары	Төмен	Жоғары	Өте төмен

Кварцты шыны вафли туралы жиі қойылатын сұрақтар

1-сұрақ: Балқытылған кварц пен балқытылған кремнеземнің айырмашылығы неде?
Екеуі де SiO₂ аморфты нысандары болғанымен, балқытылған кварц әдетте табиғи кварц көздерінен, ал балқытылған кремний диоксиді синтетикалық жолмен өндіріледі. Функционалды түрде олар ұқсас өнімділікті ұсынады, бірақ балқытылған кремний тотығы сәл жоғарырақ тазалық пен біртектілікке ие болуы мүмкін.

2-сұрақ: Балқытылған кварц пластинкаларын жоғары вакуумды ортада қолдануға бола ма?
Иә. Төмен газ шығару қасиеттеріне және жоғары термиялық төзімділікке байланысты балқытылған кварц пластиналары вакуумдық жүйелер мен аэроғарыштық қолданбалар үшін тамаша.

3-сұрақ: Бұл пластиналар терең ультракүлгін лазерді қолдану үшін жарамды ма?
Мүлдем. Балқытылған кварц ~185 нм-ге дейін жоғары өткізгіштікке ие, бұл оны DUV оптикасы, литографиялық маскалар және эксимерлі лазерлік жүйелер үшін өте қолайлы етеді.

4-сұрақ: Сіз таңдамалы вафли өндірісін қолдайсыз ба?
Иә. Диаметрін, қалыңдығын, бетінің сапасын, тегістіктерді/кестерді және лазерлік үлгіні қоса алғанда, қолданбаның нақты талаптары негізінде толық теңшеуді ұсынамыз.

Біз туралы

XKH арнайы оптикалық шыны мен жаңа кристалды материалдарды жоғары технологиялық әзірлеуге, өндіруге және сатуға маманданған. Біздің өнімдер оптикалық электроникаға, тұрмыстық электроникаға және әскерге қызмет етеді. Біз Sapphire оптикалық компоненттерін, ұялы телефон линзаларының қақпақтарын, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, кварц және жартылай өткізгіш кристалды пластиналарды ұсынамыз. Білікті тәжірибе мен озық жабдықтармен біз стандартты емес өнімді өңдеуде озық боламыз және оптоэлектрондық материалдардың жоғары технологиялық жетекші кәсіпорны болуға ұмтыламыз.

Өңдеуге арналған сапфир вафли бос жоғары тазалықтағы шикі сапфир субстраты 5