Монокристалды кремнийді өсіретін пештің монокристалды кремний құймаларын өсіру жүйесі жабдықтарының температурасы 2100 ℃ дейін

Монокристалды кремнийді өсіретін пештің монокристалды кремний құймаларын өсіру жүйесі жабдығының температурасы 2100 ℃ дейін Таңдаулы сурет

Қысқаша сипаттама:

Монокристалды кремний өсіру пеші жартылай өткізгіш және фотоэлектрлік өнеркәсіпте кеңінен қолданылатын жоғары тазалықтағы монокристалды кремний таяқшаларын өндіруге арналған негізгі жабдық болып табылады. Монокристалды кремний интегралдық схемаларды, күн батареяларын және басқа да электронды құрылғыларды өндірудегі негізгі материал болып табылады. Монокристалды кремний өсіретін пештер полисилиций шикізатын Czochralski (CZ) Czochralski немесе қалқымалы аймақ әдісі (FZ) сияқты әдістерді қолдану арқылы жоғары сапалы монокристалды кремний таяқшаларына айналдырады.

Негізгі функция: Полисилиций шикізатын балқытылған күйге дейін қыздыру, нақты кристалдық бағдары мен өлшемі бар монокристалды кремний таяқшаларын қалыптастыру үшін тұқым кристалдары арқылы кристалдардың өсуін бағыттау және бақылау.

Негізгі компоненттер:
Жылыту жүйесі: Әдетте графитті жылытқыштарды немесе жоғары жиілікті индукциялық қыздыруды қолданатын жоғары температура ортасын қамтамасыз етеді.

Тигель: әдетте кварцтан немесе графиттен жасалған балқытылған кремнийді ұстау үшін қолданылады.

Көтеру жүйесі: кристалдың біркелкі өсуін қамтамасыз ету үшін тұқымдық кристалдың айналу және көтеру жылдамдығын басқарыңыз.

Атмосфераны басқару жүйесі: балқыма аргон сияқты инертті газдармен ластанудан қорғалған.

Салқындату жүйесі: термиялық кернеуді азайту үшін кристалды салқындату жылдамдығын басқарыңыз.

Бізге электрондық поштаны жіберіңіз

Өнімнің егжей-тегжейі

Өнім тегтері

Монокристалды кремний өсіретін пештің негізгі сипаттамалары

(1) Жоғары дәлдікті басқару
Температураны бақылау: балқыма тұрақтылығын қамтамасыз ету үшін қыздыру температурасын дәл бақылаңыз (кремнийдің балқу температурасы шамамен 1414°C).
Көтеру жылдамдығын реттеу: тұқымдық кристалды көтеру жылдамдығы дәл қозғалтқышпен (әдетте 0,5-2 мм/мин) басқарылады, бұл кристалдың диаметрі мен сапасына әсер етеді.
Айналу жылдамдығын реттеу: кристалдың біркелкі өсуін қамтамасыз ету үшін тұқым мен тигельдің айналу жылдамдығын реттеңіз.

(2) жоғары сапалы кристалдардың өсуі
Төмен ақау тығыздығы: процесс параметрлерін оңтайландыру арқылы ақауы төмен және тазалығы жоғары монокристалды кремний таяқшасын өсіруге болады.
Үлкен кристалдар: жартылай өткізгіш өнеркәсібінің қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін диаметрі 12 дюймге (300 мм) дейінгі монокристалды кремний таяқшаларын өсіруге болады.

(3) Тиімді өндіріс
Автоматтандырылған жұмыс: қазіргі заманғы монокристалды кремний өсіретін пештер қолмен араласуды азайту және өндіріс тиімділігін арттыру үшін автоматтандырылған басқару жүйелерімен жабдықталған.
Энергияны үнемдейтін дизайн: энергияны тұтынуды азайту үшін тиімді жылыту және салқындату жүйелерін пайдаланыңыз.

(4) Жан-жақтылық
Әртүрлі процестерге қолайлы: қолдау CZ әдісі, FZ әдісі және басқа кристалды өсіру технологиясы.
Әртүрлі материалдармен үйлесімді: монокристалды кремнийден басқа, оны басқа жартылай өткізгіш материалдарды (германий, галлий арсениді сияқты) өсіру үшін де пайдалануға болады.

Монокристалды кремнийді өсіретін пештің негізгі қолданулары

(1) Жартылай өткізгіштер өнеркәсібі
Интегралды схема өндірісі: монокристалды кремний процессорды, жадты және басқа интегралды схемаларды өндіруге арналған негізгі материал болып табылады.
Қуат құрылғысы: MOSFET, IGBT және басқа қуатты жартылай өткізгіш құрылғыларды өндіру үшін қолданылады.

(2) Фотоэлектрлік өнеркәсіп
Күн батареялары: монокристалды кремний жоғары тиімді күн батареяларының негізгі материалы болып табылады және фотоэлектрлік электр энергиясын өндіруде кеңінен қолданылады.
Фотоэлектрлік модульдер: фотоэлектрлік түрлендіру тиімділігін арттыру үшін монокристалды кремний фотовольтаикалық модульдерін өндіру үшін қолданылады.

(3) Ғылыми зерттеулер
Материалдарды зерттеу: монокристалды кремнийдің физикалық және химиялық қасиеттерін зерттеу және жаңа жартылай өткізгіш материалдарды әзірлеу үшін қолданылады.
Процесті оңтайландыру: Кристаллды өсу үдерісінің инновациясын және оңтайландыруын қолдау.

(4) Басқа электрондық құрылғылар
Датчиктер: Қысым сенсорлары мен температура сенсорлары сияқты жоғары дәлдіктегі сенсорларды өндіру үшін қолданылады.
Оптоэлектронды құрылғылар: лазерлер мен фотодетекторларды өндіру үшін қолданылады.

XKH монокристалды кремний өсіретін пештердің жабдықтары мен қызметтерін ұсынады

XKH келесі қызметтерді ұсынатын монокристалды кремний өсіретін пештер жабдықтарын әзірлеуге және өндіруге бағытталған:

Таңдалған жабдық: XKH әртүрлі кристалдық өсу процестерін қолдау үшін тұтынушы талаптарына сәйкес әртүрлі спецификациялар мен конфигурациялардың монокристалды кремний өсіру пештерін қамтамасыз етеді.

Техникалық қолдау: XKH тұтынушыларға жабдықты орнатудан және процесті оңтайландырудан бастап кристалды өсірудің техникалық нұсқауларына дейін толық технологиялық қолдауды ұсынады.

Оқыту қызметтері: XKH жабдықтың тиімді жұмысын қамтамасыз ету үшін тұтынушыларды операциялық оқыту мен техникалық оқытуды қамтамасыз етеді.

Сатудан кейінгі қызмет көрсету: XKH тұтынушы өндірісінің үздіксіздігін қамтамасыз ету үшін сатудан кейінгі қызмет көрсету және жабдыққа қызмет көрсетуді қамтамасыз етеді.

Жаңарту қызметтері: XKH өндіріс тиімділігі мен кристалдық сапасын жақсарту үшін тұтынушы талаптарына сәйкес жабдықты жаңарту және түрлендіру қызметтерін ұсынады.

Монокристалды кремнийді өсіретін пештер жартылай өткізгіш және фотоэлектрлік өнеркәсіптердің негізгі жабдығы болып табылады, олар жоғары дәлдікпен басқаруды, жоғары сапалы кристалды өсіруді және тиімді өндіруді ұсынады. Ол интегралдық схемалар, күн батареялары, ғылыми зерттеулер және электронды құрылғылар салаларында кеңінен қолданылады. XKH монокристалды кремнийді өсіретін пештердің жетілдірілген жабдықтарын және тұтынушыларға жоғары сапалы монокристалды кремний штангасын өндіруге қол жеткізуге, байланысты салаларды дамытуға көмектесуге арналған қызметтердің толық спектрін ұсынады.