N-типті SiC композиттік негіздері, диаметрі 6 дюйм, жоғары сапалы монокристаллдық және төмен сапалы негіз
N-типті SiC композиттік субстраттарының жалпы параметрлер кестесі
| 项目Заттар | 指标Техникалық сипаттама | 项目Заттар | 指标Техникалық сипаттама |
| 直径Диаметрі | 150±0,2 мм | 正 面 (硅面 ) 粗 糙 度 Алдыңғы (Si-бет) кедір-бұдырлығы | Ra≤0.2 нм (5 мкм*5 мкм) |
| 晶型Көптүрлі | 4H | Жиек сынығы, сызат, жарықшақ (көзбен тексеру) | Жоқ |
| 电阻率Қарсылық | 0,015-0,025 Ом ·см | 总厚度变化TTV | ≤3 мкм |
| Тасымалдау қабатының қалыңдығы | ≥0,4 мкм | 翘曲度Верб | ≤35 мкм |
| 空洞Бос | ≤5ea/пластина (2мм>D>0,5мм) | 总厚度Қалыңдығы | 350±25μm |
«N-типті» белгілеуі SiC материалдарында қолданылатын легирлеу түрін білдіреді. Жартылай өткізгіштер физикасында легирлеу жартылай өткізгіштің электрлік қасиеттерін өзгерту үшін оған қоспаларды әдейі енгізуді қамтиды. N-типті легирлеу материалға теріс заряд тасымалдаушы концентрациясын беретін бос электрондардың артық мөлшерін қамтамасыз ететін элементтерді енгізеді.
N-типті SiC композиттік негіздерінің артықшылықтарына мыналар жатады:
1. Жоғары температуралық өнімділік: SiC жоғары жылу өткізгіштікке ие және жоғары температурада жұмыс істей алады, бұл оны жоғары қуатты және жоғары жиілікті электронды қолданбаларға жарамды етеді.
2. Жоғары тежелу кернеуі: SiC материалдары жоғары тежелу кернеуіне ие, бұл оларға электрлік тежелусіз жоғары электр өрістеріне төтеп беруге мүмкіндік береді.
3. Химиялық және қоршаған ортаға төзімділік: SiC химиялық төзімді және қатал қоршаған орта жағдайларына төтеп бере алады, бұл оны күрделі қолданбаларда қолдануға жарамды етеді.
4. Қуат шығынын азайту: Дәстүрлі кремний негізіндегі материалдармен салыстырғанда, SiC негіздері қуатты тиімдірек түрлендіруге мүмкіндік береді және электрондық құрылғылардағы қуат шығынын азайтады.
5. Кең өткізу жолағы: SiC кең өткізу жолағына ие, бұл жоғары температурада және жоғары қуат тығыздығында жұмыс істей алатын электрондық құрылғыларды әзірлеуге мүмкіндік береді.
Жалпы алғанда, N-типті SiC композиттік негіздері жоғары өнімді электрондық құрылғыларды әзірлеу үшін, әсіресе жоғары температуралық жұмыс, жоғары қуат тығыздығы және тиімді қуат түрлендіруі маңызды болатын қолданбаларда айтарлықтай артықшылықтар ұсынады.