Сапфир монокристалды Al2O3 өсу пеші KY әдісі Киропулос жоғары сапалы сапфир кристалын өндіру

Қысқаша сипаттама:

KY процесінің сапфир кристалды пеші - бұл үлкен өлшемді және жоғары сапалы сапфир монокристалын өсіру үшін арнайы қолданылатын жабдықтың бір түрі. Жабдық су, электр және газды озық дизайнмен және күрделі құрылыммен біріктіреді. Ол негізінен кристалды өсу камерасынан, тұқымдық кристалды көтеру және айналдыру жүйесінен, вакуумдық жүйеден, газ жолы жүйесінен, салқындатқыш су жүйесінен, энергиямен қамтамасыз ету және басқару жүйесінен, жақтаудан және басқа да қосалқы жабдықтардан тұрады.


Өнімнің егжей-тегжейі

Өнім тегтері

Өніммен таныстыру

Киропулос әдісі - бұл жоғары сапалы сапфир кристалдарын өсіру әдісі, оның негізі температура өрісін және кристалдардың өсу жағдайларын дәл бақылау арқылы сапфир кристалдарының біркелкі өсуіне қол жеткізу болып табылады. Төменде KY көбіктену әдісінің сапфир құймасына ерекше әсері берілген:

1. Жоғары сапалы кристалдық өсу:

Төмен ақау тығыздығы: KY көпіршікті өсіру әдісі баяу салқындату және температураны дәл бақылау арқылы кристалдың ішіндегі дислокация мен ақауларды азайтады және жоғары сапалы сапфир құймасын өсіреді.

Жоғары біркелкілік: Біркелкі жылу өрісі мен өсу жылдамдығы кристалдардың тұрақты химиялық құрамы мен физикалық қасиеттерін қамтамасыз етеді.

2. Үлкен өлшемді кристалды өндіру:

Үлкен диаметрлі құйма: KY көпіршікті өсіру әдісі өнеркәсіптің үлкен өлшемді субстраттарға қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін диаметрі 200 мм-ден 300 мм-ге дейінгі үлкен өлшемді сапфир құймасын өсіруге жарамды.

Кристалл құймасы: Өсу процесін оңтайландыру арқылы материалды пайдалану жылдамдығын жақсарту үшін ұзағырақ кристалды құйманы өсіруге болады.

3. Жоғары оптикалық өнімділік:

Жоғары жарық өткізгіштігі: KY өсетін сапфир кристалды құймасы тамаша оптикалық қасиеттерге ие, жоғары жарық өткізгіштікке ие, оптикалық және оптоэлектрондық қолданбаларға жарамды.

Төмен сіңіру жылдамдығы: кристалдағы жарықтың жұтылу жоғалуын азайтыңыз, оптикалық құрылғылардың тиімділігін жақсартыңыз.

4. Өте жақсы жылу және механикалық қасиеттер:

Жоғары жылу өткізгіштік: сапфир құймасының жоғары жылу өткізгіштігі жоғары қуатты құрылғылардың жылуды тарату талаптарына сәйкес келеді.

Жоғары қаттылық пен тозуға төзімділік: Сапфирдің Mohs қаттылығы 9, тозуға төзімді бөлшектерді өндіруге жарамды алмаздан кейін екінші орында.

Киропулос әдісі - бұл жоғары сапалы сапфир кристалдарын өсіру әдісі, оның негізі температура өрісін және кристалдардың өсу жағдайларын дәл бақылау арқылы сапфир кристалдарының біркелкі өсуіне қол жеткізу болып табылады. Төменде KY көбіктену әдісінің сапфир құймасына ерекше әсері берілген:

1. Жоғары сапалы кристалдық өсу:

Төмен ақау тығыздығы: KY көпіршікті өсіру әдісі баяу салқындату және температураны дәл бақылау арқылы кристалдың ішіндегі дислокация мен ақауларды азайтады және жоғары сапалы сапфир құймасын өсіреді.

Жоғары біркелкілік: Біркелкі жылу өрісі мен өсу жылдамдығы кристалдардың тұрақты химиялық құрамы мен физикалық қасиеттерін қамтамасыз етеді.

2. Үлкен өлшемді кристалды өндіру:

Үлкен диаметрлі құйма: KY көпіршікті өсіру әдісі өнеркәсіптің үлкен өлшемді субстраттарға қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін диаметрі 200 мм-ден 300 мм-ге дейінгі үлкен өлшемді сапфир құймасын өсіруге жарамды.

Кристалл құймасы: Өсу процесін оңтайландыру арқылы материалды пайдалану жылдамдығын жақсарту үшін ұзағырақ кристалды құйманы өсіруге болады.

3. Жоғары оптикалық өнімділік:

Жоғары жарық өткізгіштігі: KY өсетін сапфир кристалды құймасы тамаша оптикалық қасиеттерге ие, жоғары жарық өткізгіштікке ие, оптикалық және оптоэлектрондық қолданбаларға жарамды.

Төмен сіңіру жылдамдығы: кристалдағы жарықтың жұтылу жоғалуын азайтыңыз, оптикалық құрылғылардың тиімділігін жақсартыңыз.

4. Өте жақсы жылу және механикалық қасиеттер:

Жоғары жылу өткізгіштік: сапфир құймасының жоғары жылу өткізгіштігі жоғары қуатты құрылғылардың жылуды тарату талаптарына сәйкес келеді.

Жоғары қаттылық пен тозуға төзімділік: Сапфирдің Mohs қаттылығы 9, тозуға төзімді бөлшектерді өндіруге жарамды алмаздан кейін екінші орында.

Техникалық параметрлер

Аты Деректер Әсер
Өсу мөлшері Диаметрі 200-300 мм Үлкен өлшемді субстраттың қажеттіліктерін қанағаттандыру, өндіріс тиімділігін арттыру үшін үлкен өлшемді сапфир кристалын қамтамасыз етіңіз.
Температура диапазоны Максималды температура 2100°C, Дәлдігі ±0,5°C Жоғары температура ортасы кристалдардың өсуін қамтамасыз етеді, температураны дәл бақылау кристалдың сапасын қамтамасыз етеді және ақауларды азайтады.
Өсу жылдамдығы 0,5мм/сағ - 2мм/сағ Кристаллдың өсу қарқынын бақылаңыз, кристал сапасы мен өндіріс тиімділігін оңтайландырыңыз.
Жылыту әдісі Вольфрам немесе молибден жылытқышы Кристаллдың өсуі кезінде температураның консистенциясын қамтамасыз ету және кристалдардың біркелкілігін жақсарту үшін біркелкі жылу өрісін қамтамасыз етеді.
Салқындату жүйесі Тиімді су немесе ауа салқындату жүйелері Жабдықтың тұрақты жұмысын қамтамасыз ету, қызып кетуді болдырмау және жабдықтың қызмет ету мерзімін ұзарту.
Басқару жүйесі PLC немесе компьютерді басқару жүйесі Өндірістің дәлдігі мен тиімділігін арттыру үшін автоматтандырылған жұмыс пен нақты уақыттағы мониторингке қол жеткізіңіз.
Вакуумдық орта Жоғары вакуумдық немесе инертті газдан қорғау Кристаллдың тазалығы мен сапасын қамтамасыз ету үшін кристалдардың тотығуын болдырмаңыз.

 

Жұмыс принципі

KY әдісі сапфир кристалды пешінің жұмыс принципі KY әдісі (көпіршікті өсіру әдісі) кристалды өсіру технологиясына негізделген. Негізгі қағидасы:

1. Шикізатты балқыту: Вольфрам тигельіне толтырылған Al2O3 шикізаты балқытылған сорпаны қалыптастыру үшін қыздырғыш арқылы балқу температурасына дейін қызады.

2.Тұқым кристалының контактісі: Балқытылған сұйықтықтың сұйық деңгейі тұрақтанғаннан кейін тұқым кристалы балқыған сұйықтықтың температурасына батып, оның температурасы балқытылған сұйықтықтың үстінен қатаң бақыланады, ал тұқым кристалы мен балқытылған сұйықтық қатты-сұйықтық интерфейсіндегі тұқым кристалы сияқты кристалдық құрылымымен бірдей кристалдар өсе бастайды.

3. Кристалл мойынының қалыптасуы: Тұқымдық кристал жоғары қарай өте баяу жылдамдықпен айналады және кристалдық мойын қалыптастыру үшін біраз уақыт бойы тартылады.

4. Кристаллдың өсуі: Сұйықтық пен тұқымдық кристалдың арасындағы интерфейстің қату жылдамдығы тұрақты болғаннан кейін, тұқымдық кристал бұдан былай тартылмайды және айналмайды және тек салқындату жылдамдығын бақылайды, бұл кристалды бірте-бірте жоғарыдан төмен қатайтады және соңында толық сапфир монокристалын өсіреді.

Өсіруден кейін сапфир кристалының құймасын пайдалану

1. Жарықдиодты субстрат:

Жарықтығы жоғары жарық диоды: сапфир құймасы субстратқа кесілгеннен кейін ол жарықтандыру, дисплей және артқы жарық өрістерінде кеңінен қолданылатын GAN негізіндегі жарықдиодты өндіру үшін пайдаланылады.

Шағын/Микро жарық диоды: сапфирді негіздің жоғары тегістігі және төмен ақау тығыздығы ажыратымдылығы жоғары Mini/Micro LED дисплейлерін өндіруге жарамды.

2. Лазерлік диод (LD):

Көк лазерлер: Сапфир субстраттары деректерді сақтауға, медициналық және өнеркәсіптік өңдеуге арналған көк лазерлік диодтарды өндіру үшін қолданылады.

Ультракүлгін лазер: Сапфирдің жоғары жарық өткізгіштігі және термиялық тұрақтылығы ультракүлгін лазерлерді өндіруге жарамды.

3. Оптикалық терезе:

Жоғары жарық өткізетін терезе: Сапфир құймасы лазерлерге, инфрақызыл құрылғыларға және жоғары сапалы камераларға арналған оптикалық терезелерді өндіру үшін қолданылады.

Тозуға төзімділік терезесі: Сапфирдің жоғары қаттылығы мен тозуға төзімділігі оны қатал ортада қолдануға жарамды етеді.

4. Жартылай өткізгішті эпитаксиалды субстрат:

GaN эпитаксиалды өсуі: Сапфир субстраттары GaN эпитаксиалды қабаттарын өсіру үшін жоғары электронды қозғалмалы транзисторларды (HEMTs) және RF құрылғыларын өндіру үшін пайдаланылады.

AlN эпитаксиалды өсу: терең ультракүлгін жарықдиодтар мен лазерлерді өндіру үшін қолданылады.

5. Тұрмыстық электроника:

Смартфон камерасының қақпағы: Сапфир құймасы қаттылығы жоғары және сызатқа төзімді камера қақпағы тақтасын жасау үшін қолданылады.

Смарт сағат айнасы: Сапфирдің жоғары тозуға төзімділігі оны жоғары сапалы смарт сағат айнасын жасауға қолайлы етеді.

6. Өнеркәсіптік қолданбалар:

Тозатын бөлшектер: Сапфир құймасы мойынтіректер мен саптамалар сияқты өнеркәсіптік жабдықтың тозу бөліктерін өндіру үшін қолданылады.

Жоғары температура сенсорлары: сапфирдің химиялық тұрақтылығы мен жоғары температуралық қасиеттері жоғары температура сенсорларын жасау үшін жарамды.

7. Аэроғарыш:

Жоғары температуралы терезелер: Сапфир құймасы жоғары температуралы терезелерді және аэроғарыштық жабдыққа арналған сенсорларды өндіру үшін қолданылады.

Коррозияға төзімді бөлшектер: сапфирдің химиялық тұрақтылығы оны коррозияға төзімді бөлшектерді өндіруге жарамды етеді.

8. Медициналық жабдық:

Жоғары дәлдіктегі құралдар: Сапфир құймасы скальпельдер мен эндоскоптар сияқты жоғары дәлдіктегі медициналық құралдарды жасау үшін қолданылады.

Биосенсорлар: сапфирдің биоүйлесімділігі оны биосенсорларды өндіруге жарамды етеді.

XKH тұтынушыларға пайдалану процесінде жан-жақты, уақтылы және тиімді қолдау алуын қамтамасыз ету үшін тұтынушыларға бір реттік KY технологиялық сапфир пеші жабдықтары қызметтерінің толық спектрін ұсына алады.

1.Жабдықтарды сату: тұтынушылардың өндірістік қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін әртүрлі модельдерді, жабдықты таңдау ерекшеліктерін қоса, KY әдісімен сапфир пеші жабдықтарын сату қызметтерін ұсыныңыз.

2.Техникалық қолдау көрсету: жабдықтың қалыпты жұмыс істеуін және ең жақсы өндірістік нәтижелерге қол жеткізуін қамтамасыз ету үшін тұтынушыларға жабдықты орнату, іске қосу, пайдалану және техникалық қолдаудың басқа аспектілерімен қамтамасыз ету.

3.Тренинг қызметтері: Тұтынушыларға жабдықты пайдалану, техникалық қызмет көрсету және оқыту қызметтерінің басқа аспектілерімен қамтамасыз ету, тұтынушыларға жабдықты пайдалану процесімен танысуға көмектесу, жабдықты пайдалану тиімділігін арттыру.

4. Таңдалған қызметтер: Тұтынушылардың арнайы қажеттіліктеріне сәйкес жабдықты жобалау, өндіру, орнату және жеке шешімдердің басқа аспектілерін қоса, теңшелген жабдық қызметтерін ұсыныңыз.

Егжей-тегжейлі диаграмма

Сафир пеші KY әдісі 4
Сапфир пеші KY әдісі 5
Сапфир пеші KY әдісі 6
Жұмыс принципі

  • Алдыңғы:
  • Келесі:

  • Хабарламаңызды осы жерге жазып, бізге жіберіңіз