Керамикалық Чак науасы керамикалық сорғыштардың шыныаяқтарын дәл өңдеу

Sic Ceramic Chuck науасы керамикалық сорғыштардың шыныаяқтары Практикалық өңдеу

Қысқаша сипаттама:

Кремний карбиді керамикалық науаға сорғыш - бұл жоғары қаттылығына, жоғары термиялық өткізгіштiкке және химиялық тұрақтылыққа байланысты жартылай өткізгішті шығару үшін тамаша таңдау. Оның жоғары тегістігі мен беті қабаты вафли мен сорғыштың арасында толық тиюді қамтамасыз етеді, ластану мен зақымдануды азайту; Жоғары температура мен коррозияға төзімділік оны қатал процестер ортасына қолайлы етеді; Сонымен бірге жеңіл дизайн және ұзақ өмір сүру сипаттамалары өндіріс шығындарын азайтады және вафлидің кесілуі, жылтырату, литрография және басқа процестердегі маңызды емес компоненттер болып табылады.

Бізге электрондық хат жіберіңіз

Өнімнің бөлшегі

Өнім тегтері

Материалдық сипаттамасы:

1. Жағдай: Мохтар кремний карбидінің қаттылығы 9,2-9,5, тек гауһарға дейін, тек қана гауһарға төзімді.
2
3. Термиялық кеңейту коэффициенті: кремний карбидінің жылу кеңею коэффициенті төмен (4,0-4,5 × 10⁻⁶ / k), жоғары температурада өлшемді тұрақтылықты сақтай алады.
4. Химиялық тұрақтылық: кремний карбид қышқылы және сілтілі коррозияға төзімділігі, химиялық коррозиялық ортада пайдалануға жарамды.
5. Жоғары механикалық беріктік: кремний карбидінің жоғары иілу күші мен сығымдау күші бар және үлкен механикалық кернеуге төтеп бере алады.

Ерекше өзгешеліктері:

1. Жартылай өткізгіш өнеркәсіптің, өте жұқа вафлиді вакуумды сору тостағанға қою керек, вакуум сору вакуумды сору вафлиді жөндеу үшін пайдаланылады, ал вафоттарда балауыздық, жұқару, тазарту және кесу процесі орындалады.
2.Силикон карбид сорғышының жақсы жылу өткізгіштігі бар, балауызды және балауыздық уақытты тиімді қысқартуға, өндіріс тиімділігін арттыруға болады.
3.Силикон Карбид вакуумдық сорғыштың сонымен қатар қышқыл және сілтілі коррозияға төзімділігі бар.
4. Корунд корундымен тасымалдаушы тақтайшамен қапталған, жылыту және түсіру кезінде жылыту және түсіру уақытын қысқартады, жұмыс тиімділігін арттыру; Сонымен бірге, ол жоғарғы және төменгі табақтардың арасындағы тозуды азайтып, ұшақтың жақсы дәлдігін сақтайды және қызмет ету мерзімін шамамен 40% -ға дейін кеңейтеді.
5. Материалдың үлесі аз, жеңіл салмағы бар. Операторлар үшін паллеттер тасымалдайды, көліктің қиындықтарынан туындаған соқтығысу қаупін шамамен 20% -ға азайтады.
6.Сіздің максималды диаметрі 640 мм; Жаздық: 3UM немесе одан аз

Қолдану өрісі:

1. Жартылай өткізгіш өндірісі
● вафлиді өңдеу:
Photolithrafication, Docking, жұқа пленкалар мен басқа да процестерде вафли үшін, сонымен қатар, жоғары дәлдік пен процесстің сәйкестігін қамтамасыз ету. Оның жоғары температурасы мен коррозияға төзімділігі жартылай өткізгіштік орталар үшін жарамды.
● Эпитаксиалды өсу:
СИК немесе ГАН ЭПИЛАКИЛЛЫҢ ӨСІМІНДЕ, вафлиді қыздырып, бекітетін тасымалдаушы ретінде, жоғары температурада температураның біркелкілі және кристалдық сапасын қамтамасыз ету, құрылғының жұмысын жақсарту.
2. Фотоэлектрлік жабдық
● ЖШД өндірісі:
Sapphire немесе Sic Substrate-ті түзету үшін пайдаланылады, ал мысалы, эпитаксиальды өсудің біркелкілігін қамтамасыз ету, жарықдиодты жарықтандыру тиімділігі мен сапасын жақсарту үшін.
● Лазерлік диод:
Дәл дәлдік, бекіту және жылыту субстраты ретінде технологиялық температураның тұрақтылығын қамтамасыз ету үшін, лазерлік диодтың шығу қуаты мен сенімділігін арттырады.
3. Дәл өңдеу
● Оптикалық компоненттерді өңдеу:
Ол өңдеу кезінде жоғары дәлдік пен ластануды қамтамасыз ету үшін оптикалық линзалар мен сүзгілер сияқты дәл компоненттерді бекіту үшін қолданылады және жоғары қарқынды өңдеуге жарамды.
● керамикалық өңдеу:
Жоғары тұрақтылық арматурасы ретінде, ол жоғары температура мен коррозиялық ортаға сәйкес өңдеудің дәлдігі мен консистенциясын қамтамасыз ету үшін керамикалық материалдарды дәл өңдеуге жарайды.
4. Ғылыми тәжірибелер
● Жоғары температура эксперименті:
Жоғары температуралы ортада үлгіні бекіту құрылғысы ретінде, ол температураның біркелкілігін және үлгілік тұрақтылығын қамтамасыз ету үшін 1600 ° C-тан жоғары температура эксперименттерін қолдайды.
● Вакуумдық тест:
Вакуумдық ортадағы үлгіні және жылу тасымалдағышты, эксперименттің дәлдігі мен қайталануын қамтамасыз ету үшін, вакуумды жабуға және термиялық өңдеуге жарамды.

Техникалық сипаттамалары:

(Материалдық мүлік)		(Бірлік)	(SSIC)
(SIC мазмұны)		(Wt)%	> 99
(Орташа астық мөлшері)		микрон	4-10
(Тығыздық)		кг / дм3	> 3.14
(Айқын кеуекті)		Vo1%	<0,5
(Виккерлер қаттылығы)	HV 0.5	Gpa	28
* (Икемдік күш) * (үш нүкте)	20ºC	МПа	450
(Қысу күші)	20ºC	МПа	3900
(Серпімді модуль)	20ºC	Gpa	420
(Сынық қаттылығы)		MPA / M '%	3.5
(Жылу өткізгіштік)	20 ° కil 20 ° కºC	*W / (m k)**	160
(Төзімділік)	20 ° కil 20 ° కºC	Ohm.cm	106-108
(Жылу кеңейту коэффициенті)	A (RT ... 80ºC)**	*K-1 10-6**	4.3
(Максималды жұмыс температурасы)		oºC	1700

Техникалық жинақтау және өнеркәсіптің жылдарымен, XKH компанияның өлшемі, жылыту әдісі және тұтынушының нақты қажеттіліктеріне сәйкес, өнімнің нақты қажеттіліктеріне сәйкес, өнімнің нақты қажеттіліктеріне сәйкес, өнімнің нақты қажеттіліктеріне сәйкес негізгі параметрлерді бейімдеуге қабілетті. Sic кремний карбиді Керамикалық Чактар вафлиді өңдеуде, эпитаксиальды өсім және олардың керемет жылу өткізгіштігіне, жоғары температуралық тұрақтылық пен химиялық тұрақтылыққа байланысты басқа да негізгі процестер болды. Әсіресе, Әсіресе, SIC және GAN сияқты үшінші буынды жартылай өткізгіш материалдарды дайындауда, кремний карбидіне деген сұраныс артып келеді. Болашақта 5G, электромобильдер, жасанды интеллект және басқа да технологиялар, жартылай өткізгіш өнеркәсіпте кремний карбидінің керамикалық крактарының қолдану перспективалары кеңірек болады.