Вафлиді тасымалдауға арналған SiC керамикалық эффекторының беріліс иіні

Қысқаша сипаттама:

LiNbO₃ пластиналары интеграцияланған фотоника мен дәл акустикадағы алтын стандарт болып табылады, заманауи оптоэлектрондық жүйелерде теңдесі жоқ өнімділікті қамтамасыз етеді. Жетекші өндіруші ретінде біз бұл инженерлік субстраттарды бу тасымалдауды теңестірудің озық әдістері арқылы өндіру өнерін жетілдірдік, ақау тығыздығы 50/см²-ден төмен салалық жетекші кристалдық мінсіздікке қол жеткіздік.

XKH өндірістік мүмкіндіктері диаметрі 75 мм-ден 150 мм-ге дейін, дәл бағдарлауды басқарумен (X/Y/Z кесу ±0,3°) және сирек кездесетін жер элементтерін қоса алғанда, мамандандырылған легирлеу опцияларымен ерекшеленеді. LiNbO₃ пластиналарындағы қасиеттердің бірегей үйлесімі – соның ішінде олардың керемет r₃₃ коэффициенті (32±2 pm/V) және жақын ультракүлгін сәулелерден орташа инфрақызыл сәулелерге дейінгі кең мөлдірлігі – оларды келесі буын фотондық тізбектер мен жоғары жиілікті акустикалық құрылғылар үшін өте қажет етеді.

Бізге электрондық пошта жіберіңіз

Ерекше өзгешеліктері

SiC керамикалық эффекторының аннотациясы

SiC (кремний карбиді) керамикалық соңғы эффекторы жартылай өткізгіш өндірісінде және озық микрофабрикация орталарында қолданылатын жоғары дәлдіктегі пластиналарды өңдеу жүйелеріндегі маңызды компонент болып табылады. Өте таза, жоғары температуралы және өте тұрақты орталардың талапшыл талаптарын қанағаттандыру үшін жасалған бұл мамандандырылған соңғы эффектор литография, ою және тұндыру сияқты негізгі өндіріс кезеңдерінде пластиналарды сенімді және ластанбаған тасымалдауды қамтамасыз етеді.

Кремний карбидінің жоғары жылу өткізгіштігі, аса қаттылығы, тамаша химиялық инерттілігі және минималды термиялық кеңеюі сияқты жоғары материалдық қасиеттерін пайдалана отырып, SiC керамикалық соңғы эффекторы жылдам термиялық цикл кезінде немесе коррозиялық процесс камераларында да теңдесі жоқ механикалық қаттылық пен өлшемдік тұрақтылықты ұсынады. Оның төмен бөлшектердің пайда болуы және плазмалық кедергі сипаттамалары оны пластина бетінің тұтастығын сақтау және бөлшектердің ластануын азайту өте маңызды болатын таза бөлме және вакуумдық өңдеу қолданбалары үшін ерекше қолайлы етеді.

SiC керамикалық эффекторын қолдану

1. Жартылай өткізгішті пластиналарды өңдеу

SiC керамикалық эффекторлары жартылай өткізгіш өнеркәсібінде автоматтандырылған өндіріс кезінде кремний пластиналарын өңдеу үшін кеңінен қолданылады. Бұл эффекторлар әдетте роботтық қолдарға немесе вакуумдық тасымалдау жүйелеріне орнатылады және 200 мм және 300 мм сияқты әртүрлі өлшемдегі пластиналарды орналастыруға арналған. Олар химиялық буды тұндыру (CVD), физикалық буды тұндыру (PVD), ою және диффузия сияқты процестерде маңызды, мұнда жоғары температура, вакуум жағдайлары және коррозиялық газдар жиі кездеседі. SiC-тің ерекше термиялық төзімділігі мен химиялық тұрақтылығы оны мұндай қатал орталарға ыдырамай төтеп беруге тамаша материал етеді.

2. Таза бөлме мен шаңсорғыштың үйлесімділігі

Таза бөлмеде және вакуумдық ортада бөлшектердің ластануын азайту қажет болған жағдайда, SiC керамикасы айтарлықтай артықшылықтар береді. Материалдың тығыз, тегіс беті бөлшектердің пайда болуына төзімді, бұл тасымалдау кезінде пластинаның тұтастығын сақтауға көмектеседі. Бұл SiC соңғы эффекторларын тазалық өте маңызды болып табылатын экстремалды ультракүлгін литография (EUV) және атомдық қабаттың тұндыру (ALD) сияқты маңызды процестерге өте қолайлы етеді. Сонымен қатар, SiC-тің төмен газдануы және жоғары плазмалық кедергісі вакуумдық камераларда сенімді жұмыс істеуді қамтамасыз етеді, құралдардың қызмет ету мерзімін ұзартады және техникалық қызмет көрсету жиілігін азайтады.

3. Жоғары дәлдіктегі позициялау жүйелері

Дәлдік пен тұрақтылық озық пластиналарды өңдеу жүйелерінде, әсіресе метрологияда, тексеруде және туралау жабдықтарында өте маңызды. SiC керамикасы өте төмен жылу кеңею коэффициентіне және жоғары қаттылыққа ие, бұл соңғы эффекторға жылу циклі немесе механикалық жүктеме кезінде де құрылымдық дәлдігін сақтауға мүмкіндік береді. Бұл пластиналардың тасымалдау кезінде дәл туралануын қамтамасыз етеді, микросызаттар, туралаудың бұзылуы немесе өлшеу қателіктерінің қаупін азайтады - бұл факторлар 5 нм-ден төмен процесс түйіндерінде барған сайын маңызды болып келеді.

SiC керамикалық соңғы эффекторының қасиеттері

1. Жоғары механикалық беріктік және қаттылық

SiC керамикасы ерекше механикалық беріктікке ие, иілу беріктігі көбінесе 400 МПа-дан асады, ал Виккерс қаттылық мәндері 2000 HV-тан жоғары. Бұл оларды ұзақ уақыт пайдаланғаннан кейін де механикалық кернеуге, соққыға және тозуға өте төзімді етеді. SiC-дің жоғары қаттылығы сонымен қатар жоғары жылдамдықты пластиналарды тасымалдау кезінде ауытқуды азайтады, дәл және қайталанатын орналастыруды қамтамасыз етеді.

2. Тамаша термиялық тұрақтылық

SiC керамикасының ең құнды қасиеттерінің бірі - механикалық тұтастығын жоғалтпай, өте жоғары температураға - көбінесе инертті атмосферада 1600°C дейін - төтеп беру қабілеті. Олардың термиялық кеңею коэффициентінің төмендігі (~4,0 x 10⁻⁶ /K) термиялық цикл кезінде өлшемдік тұрақтылықты қамтамасыз етеді, бұл оларды CVD, PVD және жоғары температурада күйдіру сияқты қолданбалар үшін өте қолайлы етеді.

SiC керамикалық эффекторының сұрақтары мен жауаптары

С: Вафли эффекторында қандай материал қолданылады?

A:Пластиналы эффекторлар әдетте жоғары беріктікке, термиялық тұрақтылыққа және бөлшектердің төмен түзілуіне ие материалдардан жасалады. Олардың ішінде кремний карбиді (SiC) керамикасы ең озық және артықшылықты материалдардың бірі болып табылады. SiC керамикасы өте қатты, термиялық тұрақты, химиялық инертті және тозуға төзімді, бұл оларды таза бөлмеде және вакуумдық ортада нәзік кремний пластиналарын өңдеуге өте ыңғайлы етеді. Кварц немесе қапталған металдармен салыстырғанда, SiC жоғары температурада жоғары өлшемді тұрақтылықты қамтамасыз етеді және бөлшектерді шығармайды, бұл ластанудың алдын алуға көмектеседі.