Вафельді тасымалдауға арналған SiC керамикалық түпкі эффекторлы тұтқа

Вафельді тасымалдауға арналған SiC керамикалық соңғы эффектордың қолы Таңдаулы сурет

Қысқаша сипаттама:

LiNbO₃ Вафли заманауи оптоэлектрондық жүйелерде теңдесі жоқ өнімділікті қамтамасыз ететін интеграцияланған фотоника мен дәлдік акустикадағы алтын стандартты білдіреді. Жетекші өндіруші ретінде біз 50/см² кем ақаулардың тығыздығы бар салада жетекші кристалдық кемелділікке қол жеткізе отырып, озық бу тасымалдау теңестіру әдістері арқылы осы инженерлік негіздерді өндіру өнерін жетілдірдік.

XKH өндірістік мүмкіндіктері диаметрі 75 мм-ден 150 мм-ге дейін, бағдарлауды дәл бақылау (X/Y/Z-кесу ±0,3°) және сирек кездесетін элементтерді қоса, арнайы қоспалау опциялары бар. LiNbO₃ Вафлидегі қасиеттердің бірегей комбинациясы, соның ішінде олардың керемет r₃₃ коэффициенті (32±2 pm/V) және жақын ультракүлгін сәулелерден орта ИК-ке дейінгі кең мөлдірлік – оларды келесі ұрпақ фотонды тізбектер мен жоғары жиілікті акустикалық құрылғылар үшін таптырмас етеді.

Бізге электрондық поштаны жіберіңіз

Ерекше өзгешеліктері

SiC керамикалық соңғы эффектор Аннотация

SiC (Кремний карбиді) керамикалық соңғы эффектор жартылай өткізгішті өндіруде және озық микрофабрикалық орталарда қолданылатын жоғары дәлдіктегі пластинаны өңдеу жүйелерінің маңызды құрамдас бөлігі болып табылады. Өте таза, жоғары температура және жоғары тұрақты орталардың талап етілетін талаптарын қанағаттандыру үшін әзірленген бұл мамандандырылған соңғы эффектор литография, ою және тұндыру сияқты негізгі өндіріс кезеңдері кезінде пластиналарды сенімді және ластанбай тасымалдауды қамтамасыз етеді.

Кремний карбидінің жоғары жылу өткізгіштік, шектен тыс қаттылық, тамаша химиялық инерттілік және минималды термиялық кеңею сияқты жоғары материалдық қасиеттерін пайдалана отырып, SiC керамикалық соңғы эффекторы тіпті жылдам термиялық цикл кезінде немесе коррозиялық процесс камераларында теңдесі жоқ механикалық қаттылық пен өлшемдік тұрақтылықты ұсынады. Оның төмен бөлшектердің генерациясы және плазмаға төзімділік сипаттамалары оны әсіресе таза бөлмеде және вакуумда өңдеу қолданбалары үшін қолайлы етеді, мұнда пластинаның бетінің тұтастығын сақтау және бөлшектердің ластануын азайту өте маңызды.

SiC керамикалық соңғы эффекторы Қолданылуы

1. Жартылай өткізгіш пластинаны өңдеу

SiC керамикалық соңғы эффекторлары жартылай өткізгіш өнеркәсібінде автоматтандырылған өндіріс кезінде кремний пластинкаларын өңдеу үшін кеңінен қолданылады. Бұл соңғы эффекторлар әдетте роботтық қолдарға немесе вакуумды тасымалдау жүйелеріне орнатылады және 200 мм және 300 мм сияқты әртүрлі өлшемдегі пластиналарды орналастыруға арналған. Олар жоғары температуралар, вакуум жағдайлары және коррозиялық газдар жиі кездесетін химиялық буларды тұндыру (CVD), физикалық буларды тұндыру (PVD), сырлау және диффузия сияқты процестерде өте маңызды. SiC-тің ерекше термиялық төзімділігі мен химиялық тұрақтылығы оны мұндай қатал орталарға деградациясыз төтеп беруге тамаша материал етеді.

2. Таза бөлме және вакуум үйлесімділігі

Бөлшектердің ластануын азайту қажет таза бөлмеде және вакуумда, SiC керамика маңызды артықшылықтар береді. Материалдың тығыз, тегіс беті бөлшектердің пайда болуына қарсы тұрады, бұл тасымалдау кезінде пластинаның тұтастығын сақтауға көмектеседі. Бұл SiC соңғы эффекторларын әсіресе тазалық маңызды болып табылатын экстремалды ультракүлгін литография (EUV) және атомдық қабаттың тұндыру (ALD) сияқты маңызды процестер үшін өте қолайлы етеді. Сонымен қатар, SiC төмен газ шығару және жоғары плазмалық төзімділік вакуумдық камераларда сенімді өнімділікті қамтамасыз етеді, құралдардың қызмет ету мерзімін ұзартады және техникалық қызмет көрсету жиілігін азайтады.

3. Жоғары дәлдіктегі позициялау жүйелері

Дәлдік пен тұрақтылық пластинаны өңдеудің озық жүйелерінде, әсіресе метрологияда, тексеруде және теңестіру жабдықтарында өте маңызды. SiC керамикасының термиялық кеңеюдің өте төмен коэффициенті және жоғары қаттылығы бар, бұл соңғы эффекторға тіпті жылу циклі немесе механикалық жүктеме кезінде құрылымдық дәлдігін сақтауға мүмкіндік береді. Бұл микро сызаттар, тураланбау немесе өлшеу қателерінің пайда болу қаупін азайта отырып, тасымалдау кезінде пластинаның дәл тураланғанын қамтамасыз етеді - 5 нм-ден төмен технологиялық түйіндер үшін маңызды болып табылатын факторлар.

SiC керамикалық соңғы эффектордың қасиеттері

1. Жоғары механикалық беріктік пен қаттылық

SiC керамикасының иілу күші жиі 400 МПа-дан асатын және 2000 ВВ жоғары Викерс қаттылығы мәндері бар ерекше механикалық беріктігі бар. Бұл оларды ұзақ жұмыс істегеннен кейін де механикалық кернеуге, соққыға және тозуға жоғары төзімді етеді. SiC жоғары қаттылығы сонымен қатар дәл және қайталанатын орналасуды қамтамасыз ете отырып, жоғары жылдамдықты пластинаны тасымалдау кезінде ауытқуды азайтады.

2. Тамаша термиялық тұрақтылық

SiC керамикасының ең құнды қасиеттерінің бірі - олардың механикалық тұтастығын жоғалтпай, өте жоғары температураға (көбінесе инертті атмосферада 1600 ° C-қа дейін) төтеп беру қабілеті. Олардың жылу кеңеюінің төмен коэффициенті (~4,0 x 10⁻⁶ /K) термиялық цикл кезінде өлшемдік тұрақтылықты қамтамасыз етеді, бұл оларды CVD, PVD және жоғары температурада жасыту сияқты қолданбалар үшін тамаша етеді.

SiC керамикалық соңғы эффектор Сұрақ-жауап

С: Вафлидің соңғы эффекторында қандай материал қолданылады?

A:Вафельді соңғы эффекторлар әдетте жоғары беріктік, термиялық тұрақтылық және аз бөлшектердің пайда болуын ұсынатын материалдардан жасалады. Олардың ішінде кремний карбиді (SiC) керамикалық ең озық және таңдаулы материалдардың бірі болып табылады. SiC керамикалары өте қатты, термиялық тұрақты, химиялық инертті және тозуға төзімді, бұл оларды таза бөлмеде және вакуумдық ортада нәзік кремний пластинкаларын өңдеуге өте ыңғайлы етеді. Кварцпен немесе қапталған металдармен салыстырғанда, SiC жоғары температурада жоғары өлшемді тұрақтылықты ұсынады және ластануды болдырмауға көмектесетін бөлшектерді тастамайды.