SiC керамикалық шанышқы тұтқасы/соңғы эффекторы – жартылай өткізгіштерді өндіруге арналған жетілдірілген дәлдікпен өңдеу

SiC керамикалық шанышқы тұтқасы/соңғы эффекторы – жартылай өткізгіштерді өндіруге арналған кеңейтілген дәлдікпен өңдеу Таңдаулы кескін

Қысқаша сипаттама:

SiC керамикалық шанышқы қолы, көбінесе керамикалық соңы эффекторы деп аталады, вафельді тасымалдау, туралау және жоғары технологиялық салаларда, әсіресе жартылай өткізгіштер мен фотоэлектрлік өндірісте позициялау үшін арнайы әзірленген өнімділігі жоғары дәлдікпен өңдеу компоненті. Жоғары таза кремний карбиді керамика арқылы жасалған бұл компонент ерекше механикалық беріктікті, өте төмен термиялық кеңеюді және термиялық соққыға және коррозияға жоғары төзімділікті біріктіреді.

Бізге электрондық поштаны жіберіңіз

Ерекше өзгешеліктері

Егжей-тегжейлі диаграмма

Өнімге шолу

Алюминийден, тот баспайтын болаттан немесе тіпті кварцтан жасалған дәстүрлі соңғы эффекторлардан айырмашылығы, SiC керамикалық соңғы эффекторлары вакуумдық камераларда, таза бөлмелерде және қатал өңдеу орталарында теңдесі жоқ өнімділікті ұсынады, бұл оларды вафельді өңдеу роботтарының келесі буынының негізгі бөлігі етеді. Ластанусыз өндіріске сұраныстың артуымен және чип жасаудағы қатаң төзімділікпен керамикалық соңғы эффекторларды қолдану салалық стандартқа тез айналуда.

Өндірістік принцип

ЖасалуыSiC керамикалық соңғы эффекторларөнімділігі мен ұзақ мерзімділігін қамтамасыз ететін жоғары дәлдіктегі, жоғары тазалықтағы процестер сериясын қамтиды. Әдетте екі негізгі процесс қолданылады:

Реакциямен байланысқан кремний карбиді (RB-SiC)

Бұл процесте кремний карбиді ұнтағы мен байланыстырғыштан жасалған дайындама жоғары температурада (~1500°C) балқытылған кремниймен инфильтрацияланады, ол тығыз, қатты SiC-Si композитін қалыптастыру үшін қалдық көміртекпен әрекеттеседі. Бұл әдіс тамаша өлшемді бақылауды ұсынады және ауқымды өндіріс үшін үнемді.

Қысымсыз агломерленген кремний карбиді (SSiC)

SSiC өте жоғары температурада (>2000°C) ультра жұқа, жоғары таза SiC ұнтағын қоспаларды немесе байланыстыру фазасын қолданбастан агломерациялау арқылы жасалады. Бұл 100% дерлік тығыздығы және SiC материалдары арасында қол жетімді ең жоғары механикалық және жылулық қасиеттері бар өнімге әкеледі. Ол өте маңызды вафельді өңдеу қолданбалары үшін өте қолайлы.

Пост-өңдеу

Дәлдік CNC өңдеу: Жоғары тегістік пен параллельділікке қол жеткізеді.
Беттік өңдеу: Алмазды жылтырату беттің кедір-бұдырлығын <0,02 мкм дейін азайтады.
Тексеру: Әрбір бөлікті тексеру үшін оптикалық интерферометрия, CMM және бұзылмайтын сынақ қолданылады.

Бұл қадамдар кепілдік бередіSiC соңғы эффекторывафельді орналастырудың дәйекті дәлдігін, тамаша жазықтықты және бөлшектердің минималды генерациясын қамтамасыз етеді.

Негізгі мүмкіндіктер мен артықшылықтар

Ерекшелік	Сипаттама
Өте жоғары қаттылық	Vickers қаттылығы > 2500 HV, тозуға және сынуға төзімді.
Төмен термиялық кеңею	CTE ~4,5×10⁻⁶/K, термиялық циклде өлшемдік тұрақтылықты қамтамасыз етеді.
Химиялық инерттілік	HF, HCl, плазмалық газдар және басқа коррозиялық агенттерге төзімді.
Тамаша термиялық соққыға төзімділік	Вакуумдық және пештік жүйелерде жылдам қыздыру/салқындату үшін қолайлы.
Жоғары қаттылық пен беріктік	Ұзын консольді шанышқыларды иілусіз қолдайды.
Төмен газ шығару	Өте жоғары вакуумды (UHV) орталар үшін өте қолайлы.
ISO 1 класы таза бөлме дайын	Бөлшексіз жұмыс пластинаның тұтастығын қамтамасыз етеді.

Қолданбалар

SiC керамикалық шанышқы қолы/соңы эффекторы өте дәлдікті, тазалықты және химиялық төзімділікті қажет ететін салаларда кеңінен қолданылады. Қолданбаның негізгі сценарийлеріне мыналар кіреді:

Жартылай өткізгіштерді өндіру

Вафлиді тұндыру (CVD, PVD), ою (RIE, DRIE) және тазалау жүйелерінде тиеу/түсіру.
FOUP, кассеталар және технологиялық құралдар арасындағы роботты пластинаны тасымалдау.
Термиялық өңдеу немесе күйдіру кезінде жоғары температурада өңдеу.

Фотоэлектрлік жасушалар өндірісі

Автоматтандырылған желілерде нәзік кремний пластинкаларын немесе күн субстраттарын нәзік тасымалдау.

Тегіс панельді дисплей (FPD) өнеркәсібі

OLED/LCD өндіріс орталарында үлкен шыны панельдерді немесе субстратты жылжыту.

Құрама жартылай өткізгіш / MEMS

Ластануды бақылау және позициялау дәлдігі маңызды болып табылатын GaN, SiC және MEMS өндіріс желілерінде қолданылады.

Оның соңғы эффекторлық рөлі әсіресе сезімтал операциялар кезінде ақаусыз, тұрақты өңдеуді қамтамасыз етуде маңызды.

Теңшеу мүмкіндіктері

Біз әртүрлі жабдық пен технологиялық талаптарды қанағаттандыру үшін ауқымды теңшеуді ұсынамыз:

Шанышқы дизайны: Екі жақты, көп саусақты немесе бөлінген деңгейлі орналасулар.
Вафель өлшемінің үйлесімділігі: 2-ден 12-ге дейін пластиналар.
Монтаждау интерфейстері: OEM робот қолдарымен үйлесімді.
Қалыңдық және беттік төзімділік: Микрон деңгейіндегі тегістік және жиектерді дөңгелектеу қол жетімді.
Сырғымауға қарсы мүмкіндіктер: Вафлиді сенімді ұстауға арналған қосымша беттік құрылымдар немесе жабындар.

Әрбіркерамикалық соңғы эффекторҚұралдың минималды өзгерістерімен дәл орнатуды қамтамасыз ету үшін клиенттермен бірлесіп әзірленген.

Жиі қойылатын сұрақтар (ЖҚС)

1-сұрақ: SiC соңғы эффекторды қолдану үшін кварцқа қарағанда қалай жақсы?
A1:Кварц әдетте тазалығы үшін пайдаланылғанымен, оның механикалық беріктігі жоқ және жүктеме немесе температура соққысы кезінде сынуға бейім. SiC жоғары беріктік, тозуға төзімділік және термиялық тұрақтылықты ұсынады, бұл тоқтау және пластинаның зақымдану қаупін айтарлықтай төмендетеді.

2-сұрақ: Бұл керамикалық шанышқы қолы барлық роботты вафли өңдеушілерімен үйлесімді ме?
A2:Иә, біздің керамикалық соңғы эффекторлар вафельді өңдеудің көптеген негізгі жүйелерімен үйлесімді және нақты инженерлік сызбалары бар арнайы роботтық үлгілеріңізге бейімделуі мүмкін.

3-сұрақ: Ол 300 мм пластиналарды деформациясыз өңдей ала ма?
A3:Мүлдем. SiC жоғары қаттылығы тіпті жұқа, ұзын шанышқылар 300 мм пластиналарды қозғалыс кезінде салбырап немесе ауытқусыз сенімді ұстауға мүмкіндік береді.

4-сұрақ: SiC керамикалық соңғы эффекторының әдеттегі қызмет ету мерзімі қандай?
A4:Дұрыс пайдалану кезінде SiC соңғы эффекторы термиялық және механикалық кернеулерге тамаша төзімділігінің арқасында дәстүрлі кварц немесе алюминий үлгілерінен 5-10 есе ұзағырақ қызмет ете алады.

5-сұрақ: Сіз ауыстыру немесе жылдам прототиптеу қызметтерін ұсынасыз ба?
A5:Иә, біз жылдам үлгі өндірісін қолдаймыз және CAD сызбаларына немесе бар жабдықтың кері өңделген бөліктеріне негізделген ауыстыру қызметтерін ұсынамыз.

Біз туралы

XKH арнайы оптикалық шыны мен жаңа кристалды материалдарды жоғары технологиялық әзірлеуге, өндіруге және сатуға маманданған. Біздің өнімдер оптикалық электроникаға, тұрмыстық электроникаға және әскерге қызмет етеді. Біз Sapphire оптикалық компоненттерін, ұялы телефон линзаларының қақпақтарын, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, кварц және жартылай өткізгіш кристалды пластиналарды ұсынамыз. Білікті тәжірибе мен озық жабдықтармен біз стандартты емес өнімді өңдеуде озық боламыз және оптоэлектрондық материалдардың жоғары технологиялық жетекші кәсіпорны болуға ұмтыламыз.