SiC керамикалық шанышқы тұтқасы/соңы эффекторы – жартылай өткізгіш өндірісіне арналған озық дәлдікпен өңдеу

SiC керамикалық шанышқы тұтқасы / ұшының эффекторы – жартылай өткізгіш өндірісіне арналған озық дәлдікпен өңдеу Ұсынылған сурет

Қысқаша сипаттама:

SiC керамикалық шанышқы иін, көбінесе керамикалық ұштық эффекторы деп аталады, жоғары технологиялық салаларда, әсіресе жартылай өткізгіш және фотоэлектрлік өндірісте пластиналарды тасымалдау, туралау және орналастыру үшін арнайы жасалған жоғары өнімді дәлдікті өңдеу компоненті болып табылады. Жоғары тазалықтағы кремний карбидті керамикасын пайдаланып жасалған бұл компонент ерекше механикалық беріктікті, өте төмен термиялық кеңеюді және термиялық соққы мен коррозияға жоғары төзімділікті біріктіреді.

Бізге электрондық пошта жіберіңіз

Ерекше өзгешеліктері

Егжей-тегжейлі диаграмма

Өнімге шолу

Алюминийден, тот баспайтын болаттан немесе тіпті кварцтан жасалған дәстүрлі соңғы эффекторлардан айырмашылығы, SiC керамикалық соңғы эффекторлары вакуумдық камераларда, таза бөлмелерде және қатал өңдеу орталарында теңдесі жоқ өнімділік ұсынады, бұл оларды келесі буын пластиналарды өңдеу роботтарының маңызды бөлігіне айналдырады. Ластанусыз өндіріске сұраныстың артуымен және чип жасаудағы төзімділіктің жоғарылауымен керамикалық соңғы эффекторларды пайдалану салалық стандартқа тез айналуда.

Өндіріс принципі

ЖасалғанSiC керамикалық ұштық эффекторларыӨнімділікті де, беріктікті де қамтамасыз ететін бірқатар жоғары дәлдіктегі, жоғары тазалықтағы процестерді қамтиды. Әдетте екі негізгі процесс қолданылады:

Реакциямен байланысқан кремний карбиді (RB-SiC)

Бұл процесте кремний карбиді ұнтағы мен байланыстырғыштан жасалған преформа жоғары температурада (~1500°C) балқытылған кремниймен инфильтрацияланады, ол қалдық көміртекпен әрекеттесіп, тығыз, қатты SiC-Si композитін түзеді. Бұл әдіс тамаша өлшемді басқаруды қамтамасыз етеді және ірі көлемді өндіріс үшін тиімді.

Қысымсыз күйдірілген кремний карбиді (SSiC)

SSiC қоспаларды немесе байланыстырушы фазаны пайдаланбай, өте жоғары температурада (>2000°C) ультра жұқа, жоғары тазалықтағы SiC ұнтағын күйдіру арқылы жасалады. Нәтижесінде SiC материалдары арасында ең жоғары механикалық және термиялық қасиеттерге ие және тығыздығы шамамен 100% болатын өнім алынады. Ол ультра маңызды пластиналарды өңдеу үшін өте қолайлы.

Өңдеуден кейінгі

Дәл CNC өңдеу: Жоғары жазықтық пен параллелизмге қол жеткізеді.
Беткі өңдеуАлмазды жылтырату бетінің кедір-бұдырлығын <0,02 мкм дейін төмендетеді.
ТексеруӘрбір бөлшекті тексеру үшін оптикалық интерферометрия, CMM және бұзбайтын сынақтар қолданылады.

Бұл қадамдар кепілдік бередіSiC соңындағы эффекторпластиналарды орналастырудың тұрақты дәлдігін, тамаша жазықтықты және бөлшектердің минималды түзілуін қамтамасыз етеді.

Негізгі мүмкіндіктер мен артықшылықтар

Функция	Сипаттама
Өте жоғары қаттылық	Виккерс қаттылығы > 2500 HV, тозуға және сынуға төзімді.
Төмен жылулық кеңею	CTE ~4.5×10⁻⁶/K, термиялық циклде өлшемдік тұрақтылықты қамтамасыз етеді.
Химиялық инерттілік	HF, HCl, плазма газдары және басқа да коррозиялық агенттерге төзімді.
Термиялық соққыға төзімділігі өте жақсы	Вакуумдық және пеш жүйелерінде жылдам қыздыру/салқындату үшін жарамды.
Жоғары қаттылық және беріктік	Ұзын консольді шанышқы иіндерін ауытқусыз қолдайды.
Газдың аз бөлінуі	Ультра жоғары вакуумдық (UHV) орталар үшін өте қолайлы.
ISO 1 класты таза бөлмеге дайын	Бөлшексіз жұмыс пластинаның тұтастығын қамтамасыз етеді.

Қолданбалар

SiC керамикалық шанышқы тұтқасы/соңы эффекторы аса дәлдікті, тазалықты және химиялық төзімділікті қажет ететін салаларда кеңінен қолданылады. Негізгі қолдану сценарийлеріне мыналар жатады:

Жартылай өткізгіштер өндірісі

Шөгінділерде пластиналарды тиеу/түсіру (CVD, PVD), ою (RIE, DRIE) және тазалау жүйелері.
FOUP, кассеталар және өңдеу құралдары арасында роботтық пластина тасымалдау.
Термиялық өңдеу немесе күйдіру кезінде жоғары температурада өңдеу.

Фотоэлектрлік ұяшықтарды өндіру

Автоматтандырылған желілерде нәзік кремний пластиналарын немесе күн негіздерін нәзік тасымалдау.

Жалпақ панельді дисплей (FPD) өнеркәсібі

OLED/LCD өндіріс орталарында үлкен шыны панельдерді немесе негіздерді жылжыту.

Құрама жартылай өткізгіш / MEMS

Ластануды бақылау және позициялау дәлдігі өте маңызды болатын GaN, SiC және MEMS өндіріс желілерінде қолданылады.

Оның соңғы эффекторлық рөлі сезімтал операциялар кезінде ақаусыз және тұрақты өңдеуді қамтамасыз етуде ерекше маңызды.

Теңшеу мүмкіндіктері

Біз әртүрлі жабдықтар мен процестердің талаптарын қанағаттандыру үшін кең ауқымды теңшеу қызметтерін ұсынамыз:

Шанышқы дизайныЕкі тізбекті, көп саусақты немесе бөлінген деңгейлі орналасулар.
Вафли өлшемінің үйлесімділігі: 2 дюймнен 12 дюймге дейінгі пластиналар.
Орнату интерфейстері: OEM роботтық қолдарымен үйлесімді.
Қалыңдық және беттік төзімділікМикрон деңгейіндегі тегістік және жиектерді дөңгелектеу қолжетімді.
Тайғанауға қарсы мүмкіндіктерПластинаны сенімді ұстау үшін қосымша беттік текстуралар немесе жабындар.

Әрқайсысыкерамикалық соңғы эффекторқұралдарды минималды өзгертумен дәл сәйкестендіруді қамтамасыз ету үшін клиенттермен бірлесіп жасалған.

Жиі қойылатын сұрақтар (ЖҚС)

1-сұрақ: SiC соңғы эффекторлық қолдану үшін кварцқа қарағанда қалай жақсы?
A1:Кварц тазалығы үшін жиі қолданылғанымен, оның механикалық беріктігі жоқ және жүктеме немесе температура соққысы кезінде сынуға бейім. SiC жоғары беріктікке, тозуға төзімділікке және термиялық тұрақтылыққа ие, бұл жұмыс уақытының тоқтап қалуы мен пластинаның зақымдану қаупін айтарлықтай азайтады.

2-сұрақ: Бұл керамикалық шанышқы тұтқасы барлық роботтық пластина өңдегіштерімен үйлесімді ме?
A2:Иә, біздің керамикалық эффекторларымыз көптеген негізгі пластиналарды өңдеу жүйелерімен үйлесімді және дәл инженерлік сызбалармен сіздің нақты роботтық модельдеріңізге бейімделуі мүмкін.

С3: Ол 300 мм пластиналарды майыспай өңдей ала ма?
A3:Әрине. SiC жоғары қаттылығы тіпті жұқа, ұзын шанышқы иіндерге де 300 мм пластиналарды қозғалыс кезінде салбырамай немесе ауытқымай сенімді ұстауға мүмкіндік береді.

4-сұрақ: SiC керамикалық эффекторының әдеттегі қызмет ету мерзімі қандай?
A4:Дұрыс пайдаланған кезде SiC соңғы эффекторы жылулық және механикалық кернеулерге тамаша төзімділігінің арқасында дәстүрлі кварц немесе алюминий модельдеріне қарағанда 5-10 есе ұзақ қызмет ете алады.

5-сұрақ: Сіз ауыстыру немесе жылдам прототиптеу қызметтерін ұсынасыз ба?
A5:Иә, біз жылдам үлгі өндірісін қолдаймыз және CAD сызбаларына немесе бар жабдықтан алынған кері жобаланған бөлшектерге негізделген ауыстыру қызметтерін ұсынамыз.

Біз туралы

XKH арнайы оптикалық шыны мен жаңа кристалды материалдарды жоғары технологиялық әзірлеуге, өндіруге және сатуға маманданған. Біздің өнімдеріміз оптикалық электроникаға, тұтынушылық электроникаға және әскери салаға қызмет көрсетеді. Біз сапфир оптикалық компоненттерін, ұялы телефон линзаларының қақпақтарын, керамиканы, LT, кремний карбиді SIC, кварц және жартылай өткізгіш кристалды пластиналарды ұсынамыз. Білікті тәжірибеміз бен заманауи жабдықтарымызбен біз стандартты емес өнімді өңдеуде табысқа жетеміз, жетекші оптоэлектронды материалдардың жоғары технологиялық кәсіпорыны болуға ұмтыламыз.