Жабдыққа арналған CVD SiC жабыны бар SiC керамикалық науа пластина графиті

Кремний карбидті керамика эпитаксия немесе MOCVD сияқты жұқа қабықшаны тұндыру сатысында немесе пластинаны өңдеуде ғана қолданылмайды, оның негізінде MOCVD үшін вафельді тасымалдаушы науалар алдымен тұндыру ортасына ұшырайды және сондықтан жоғары төзімді. жылу және коррозия.SiC жабыны бар тасымалдаушылар да жоғары жылу өткізгіштікке және тамаша жылу тарату қасиеттеріне ие.

Таза химиялық буларды тұндыру кремний карбиді (CVD SiC) жоғары температурада металлорганикалық химиялық буларды тұндыру (MOCVD) өңдеуге арналған пластиналар.

Таза CVD SiC пластинкалары осы процесте қолданылатын, графит болып табылатын және CVD SiC қабатымен қапталған кәдімгі пластинкалардан айтарлықтай жоғары. бұл қапталған графит негізіндегі тасымалдағыштар бүгінгі күнгі жоғары жарықтылықтағы көк және ақ диодтың GaN тұндыруына қажетті жоғары температураға (1100-ден 1200 градусқа дейін) төтеп бере алмайды. Жоғары температура жабындыда ұсақ тесіктердің пайда болуына әкеледі, олар арқылы химиялық заттар астындағы графитті эрозияға ұшыратады. Содан кейін графит бөлшектері қабыршақтанып, GaN ластайды, бұл қапталған пластинаны ауыстыруға әкеледі.

CVD SiC тазалығы 99,999% немесе одан жоғары және жоғары жылу өткізгіштікке және термиялық соққыға төзімділікке ие. Сондықтан ол жоғары жарықтықты жарықдиодты өндірістің жоғары температуралары мен қатал орталарына төтеп бере алады. Бұл теориялық тығыздыққа жететін, ең аз бөлшектерді шығаратын және коррозияға және эрозияға өте жоғары төзімділік көрсететін қатты монолитті материал. Материал металдық қоспаларды енгізбестен мөлдірлік пен өткізгіштікті өзгерте алады. Вафельді тасымалдаушылар әдетте диаметрі 17 дюймді құрайды және 40 2-4 дюймдік вафлиді ұстай алады.