SiC субстрат 3 дюйм 350 мм қалыңдығы HPSI типті Prime Grade Жалғамды сорт
Қасиеттер
Параметр | Өндіріс дәрежесі | Зерттеу дәрежесі | Жалған баға | Бірлік |
Баға | Өндіріс дәрежесі | Зерттеу дәрежесі | Жалған баға | |
Диаметрі | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | mm |
Қалыңдығы | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 | мкм |
Вафельді бағдарлау | Ось бойынша: <0001> ± 0,5° | Ось бойынша: <0001> ± 2,0° | Ось бойынша: <0001> ± 2,0° | дәрежесі |
Микроқұбырдың тығыздығы (MPD) | ≤ 1 | ≤ 5 | ≤ 10 | см−2^-2−2 |
Электр кедергісі | ≥ 1E10 | ≥ 1E5 | ≥ 1E5 | Ω·см |
Допант | Қоспасыз | Қоспасыз | Қоспасыз | |
Бастапқы тегіс бағдарлау | {1-100} ± 5,0° | {1-100} ± 5,0° | {1-100} ± 5,0° | дәрежесі |
Негізгі жазық ұзындық | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | mm |
Қосымша жазық ұзындық | 18,0 ± 2,0 | 18,0 ± 2,0 | 18,0 ± 2,0 | mm |
Қосымша жазық бағдарлау | Негізгі пәтерден 90° CW ± 5,0° | Негізгі пәтерден 90° CW ± 5,0° | Негізгі пәтерден 90° CW ± 5,0° | дәрежесі |
Жиекті алып тастау | 3 | 3 | 3 | mm |
LTV/TTV/Садақ/Бүйірлік | 3/10/±30/40 | 3/10/±30/40 | 5 / 15 / ±40 / 45 | мкм |
Бетінің кедір-бұдырлығы | Si-бет: CMP, C-бет: жылтыратылған | Si-бет: CMP, C-бет: жылтыратылған | Si-бет: CMP, C-бет: жылтыратылған | |
Жарықтар (жоғары қарқынды жарық) | Жоқ | Жоқ | Жоқ | |
Алты қырлы тақталар (интенсивтілігі жоғары жарық) | Жоқ | Жоқ | Жиынтық ауданы 10% | % |
Политипті аймақтар (қарқындылығы жоғары жарық) | Жиынтық ауданы 5% | Жиынтық ауданы 20% | Жиынтық ауданы 30% | % |
Сызаттар (жоғары интенсивті жарық) | ≤ 5 сызат, жиынтық ұзындығы ≤ 150 | ≤ 10 сызаттар, жиынтық ұзындығы ≤ 200 | ≤ 10 сызаттар, жиынтық ұзындығы ≤ 200 | mm |
Жиектерді чиптеу | Ешбірі ≥ 0,5 мм ені/тереңдігі | 2 рұқсат етілген ≤ 1 мм ені/тереңдігі | 5 рұқсат етілген ≤ 5 мм ені/тереңдігі | mm |
Беттік ластану | Жоқ | Жоқ | Жоқ |
Қолданбалар
1. Жоғары қуатты электроника
SiC пластинкаларының жоғары жылу өткізгіштігі мен кең диапазоны оларды жоғары қуатты, жоғары жиілікті құрылғылар үшін өте қолайлы етеді:
●Қуатты түрлендіруге арналған MOSFET және IGBT.
●Инверторлар мен зарядтағыштарды қоса алғанда, жетілдірілген электр көліктерінің қуат жүйелері.
●Ақылды желі инфрақұрылымы және жаңартылатын энергия жүйелері.
2. РЖ және микротолқынды жүйелер
SiC субстраттары сигналды аз жоғалтумен жоғары жиілікті RF және микротолқынды қолданбаларды іске қосады:
●Телекоммуникация және спутниктік жүйелер.
●Аэроғарыштық радиолокациялық жүйелер.
●Жетілдірілген 5G желі құрамдастары.
3. Оптоэлектроника және сенсорлар
SiC бірегей қасиеттері әртүрлі оптоэлектрондық қолданбаларды қолдайды:
●Қоршаған ортаны бақылау және өндірістік зондтау үшін ультракүлгін детекторлар.
●Қатты күйдегі жарықтандыруға және дәлме-дәл аспаптарға арналған жарық диодты және лазерлік субстраттар.
●Аэроғарыш және автомобиль өнеркәсібі үшін жоғары температура сенсорлары.
4. Зерттеулер және әзірлемелер
Бағалардың әртүрлілігі (Өндіріс, Зерттеу, Манекет) академиялық және өнеркәсіпте алдыңғы қатарлы эксперименттер мен құрылғылардың прототипін жасауға мүмкіндік береді.
Артықшылықтары
●Сенімділік:Сыныптар бойынша тамаша қарсылық пен тұрақтылық.
●Реттеу:Әртүрлі қажеттіліктерге сай бейімделген бағдарлар мен қалыңдықтар.
●Жоғары тазалық:Қоспаланбаған композиция қоспаларға байланысты ең аз өзгерістерді қамтамасыз етеді.
●Масштабтау:Жаппай өндірістің де, эксперименттік зерттеулердің де талаптарына жауап береді.
3 дюймдік жоғары таза SiC пластиналары - бұл жоғары өнімді құрылғылар мен инновациялық технологиялық жетістіктерге арналған шлюз. Сұраулар мен егжей-тегжейлі сипаттамалар үшін бүгін бізге хабарласыңыз.
Түйіндеме
3 дюймдік жоғары таза кремний карбиді (SiC) пластиналары, өндіріс, зерттеу және күңгірт сорттарда қолжетімді, жоғары қуатты электроникаға, RF/микротолқынды жүйелерге, оптоэлектроникаға және озық ғылыми-зерттеу жұмыстарына арналған премиум субстраттар болып табылады. Бұл пластиналар тамаша кедергісі (≥1E10 Ω·см өндіріс дәрежесі үшін), төмен микроқұбыр тығыздығы (≤1 см−2^-2−2) және ерекше бет сапасы бар қоспаланбаған, жартылай оқшаулағыш қасиеттерге ие. Олар қуатты түрлендіру, телекоммуникациялар, ультракүлгін сәулелерді сезіну және жарықдиодты технологияларды қоса алғанда, өнімділігі жоғары қолданбалар үшін оңтайландырылған. Реттелетін бағдарлары, жоғары жылу өткізгіштігі және берік механикалық қасиеттері бар бұл SiC пластиналары құрылғыларды тиімді, сенімді жасауға және барлық салаларда жаңашыл инновацияларды енгізуге мүмкіндік береді.