Кремний карбидінен жасалған консольді қалақша (SiC консольді қалақша)

Қысқаша сипаттама:

Бізге электрондық пошта жіберіңіз

Ерекше өзгешеліктері

Егжей-тегжейлі диаграмма

Өнімге шолу

Жоғары өнімді реакциямен байланысқан кремний карбидінен (RBSiC) жасалған кремний карбидінің консольдік қалағы жартылай өткізгіш және фотоэлектрлік қолданбаларға арналған пластиналарды тиеу және өңдеу жүйелерінде қолданылатын маңызды компонент болып табылады.
Дәстүрлі кварц немесе графит қалақшаларымен салыстырғанда, SiC консольді қалақшалары жоғары механикалық беріктікке, жоғары қаттылыққа, төмен термиялық кеңеюге және тамаша коррозияға төзімділікке ие. Олар жоғары температурада тамаша құрылымдық тұрақтылықты сақтайды, үлкен пластина өлшемдерінің, ұзақ қызмет ету мерзімінің және өте төмен ластанудың қатаң талаптарына сай келеді.

Жартылай өткізгіш процестердің үлкенірек пластина диаметрлеріне, жоғары өткізу қабілетіне және таза өңдеу орталарына қарай үздіксіз дамуымен SiC консольді қалақшалары біртіндеп дәстүрлі материалдарды алмастырып, диффузиялық пештер, LPCVD және онымен байланысты жоғары температуралы жабдықтар үшін таңдаулы таңдауға айналды.

Өнімнің ерекшеліктері

Жоғары температурадағы тамаша тұрақтылық
- 1000–1300℃ температурада деформациясыз сенімді жұмыс істейді.
- Ең жоғары қызмет көрсету температурасы 1380℃ дейін.
Жоғары жүк көтергіштік қабілеті
- Иілу беріктігі 250–280 МПа дейін, кварц қалақшаларына қарағанда әлдеқайда жоғары.
- Үлкен диаметрлі пластиналарды (300 мм және одан жоғары) өңдеуге қабілетті.
Ұзартылған қызмет ету мерзімі және аз күтім
- Төмен жылу кеңею коэффициенті (4,5 × 10⁻⁶ K⁻¹), LPCVD жабын материалдарымен жақсы үйлеседі.
- Стресстен туындаған жарықтар мен қабыршақтануды азайтады, тазалау және техникалық қызмет көрсету циклдарын айтарлықтай ұзартады.
Коррозияға төзімділік және тазалық
- Қышқылдар мен сілтілерге тамаша төзімділік.
- Ашық кеуектілігі <0,1% болатын тығыз микроқұрылым, бөлшектердің пайда болуын және қоспалардың бөлінуін азайтады.
Автоматтандыруға үйлесімді дизайн
- Жоғары өлшемді дәлдікпен тұрақты көлденең қима геометриясы.
- Роботталған пластиналарды тиеу және түсіру жүйелерімен үздіксіз интеграцияланады, бұл толықтай автоматтандырылған өндірісті қамтамасыз етеді.

Физикалық және химиялық қасиеттер

Тауар	Бірлік	Деректер
Максималды қызмет көрсету температурасы	℃	1380 ж.
Тығыздық	г/см³	3.04 – 3.08
Ашық кеуектілік	%	< 0.1
Иілу күші	МПа	250 (20℃), 280 (1200℃)
Серпімділік модулі	GPA	330 (20℃), 300 (1200℃)
Жылу өткізгіштігі	Вт/м·К	45 (1200℃)
Жылулық кеңею коэффициенті	K⁻¹×10⁻⁶	4.5
Виккерс қаттылығы	HV2	≥ 2100
Қышқылға/сілтілікке төзімділік	-	Тамаша

Стандартты ұзындықтар:2378 мм, 2550 мм, 2660 мм
Сұраныс бойынша қолжетімді теңшелетін өлшемдер

Қолданбалар

Жартылай өткізгіштер өнеркәсібі
- LPCVD (Төмен қысымды химиялық бу тұндыру)
- Диффузиялық процестер (фосфор, бор және т.б.)
- Термиялық тотығу
Фотоэлектрлік өнеркәсіп
- Поликремний және монокристалды пластиналардың диффузиясы және жабыны
- Жоғары температурада күйдіру және пассивтеу
Басқа өрістер
- Жоғары температуралы коррозиялық орталар
- Ұзақ қызмет ету мерзімін және төмен ластануды қажет ететін дәл пластиналарды өңдеу жүйелері

Тұтынушыға берілетін жеңілдіктер

Пайдалану шығындарының төмендеуі– Кварц қалақшаларымен салыстырғанда қызмет ету мерзімі ұзағырақ, тоқтап қалу уақытын және ауыстыру жиілігін азайтады.
Жоғары өнімділік– Ластанудың өте төмен деңгейі пластина бетінің тазалығын қамтамасыз етеді және ақаулар санын азайтады.
Болашаққа сенімді– Үлкен пластина өлшемдерімен және келесі буын жартылай өткізгіш процестерімен үйлесімді.
Өнімділіктің жоғарылауы– Роботталған автоматтандыру жүйелерімен толық үйлесімді, жоғары көлемді өндірісті қолдайды.

Жиі қойылатын сұрақтар – Кремний карбидті консольді қалақша

1-сұрақ: Кремний карбидінен жасалған консольді қалақша дегеніміз не?
A: Бұл реакциямен байланысқан кремний карбидінен (RBSiC) жасалған пластинаны тіреу және өңдеу компоненті. Ол диффузиялық пештерде, LPCVD және басқа да жоғары температуралы жартылай өткізгіштер мен фотоэлектрлік процестерде кеңінен қолданылады.

2-сұрақ: Неліктен кварц қалақшаларының орнына SiC таңдау керек?
A: Кварц қалақшаларымен салыстырғанда, SiC қалақшалары келесі мүмкіндіктерді ұсынады:

Жоғары механикалық беріктік және жүк көтергіштік
1380℃ дейінгі температурада жақсы термиялық тұрақтылық
Қызмет ету мерзімі әлдеқайда ұзақ және техникалық қызмет көрсету циклдары қысқартылған
Бөлшектердің пайда болуының және ластану қаупінің төмендеуі
Үлкенірек пластина өлшемдерімен (300 мм және одан жоғары) үйлесімділік

С3: SiC консольді қалақшасы қандай пластина өлшемдерін көтере алады?
A: 2378 мм, 2550 мм және 2660 мм пеш жүйелері үшін стандартты қалақшалар қолжетімді. 300 мм және одан жоғары пластиналарды ұстап тұру үшін арнайы өлшемдер қолжетімді.

Біз туралы

XKH арнайы оптикалық шыны мен жаңа кристалды материалдарды жоғары технологиялық әзірлеуге, өндіруге және сатуға маманданған. Біздің өнімдеріміз оптикалық электроникаға, тұтынушылық электроникаға және әскери салаға қызмет көрсетеді. Біз сапфир оптикалық компоненттерін, ұялы телефон линзаларының қақпақтарын, керамиканы, LT, кремний карбиді SIC, кварц және жартылай өткізгіш кристалды пластиналарды ұсынамыз. Білікті тәжірибеміз бен заманауи жабдықтарымызбен біз стандартты емес өнімді өңдеуде табысқа жетеміз, жетекші оптоэлектронды материалдардың жоғары технологиялық кәсіпорыны болуға ұмтыламыз.