Кремний карбиді керамикалық шанышқы қол/қол
Егжей-тегжейлі диаграмма
Кремний карбиді керамикалық шанышқы қолын/қолын енгізу
TheКремний карбиді керамикалық шанышқы қол/қолжоғары дәлдікті автоматтандыру жүйелеріне, әсіресе жартылай өткізгіштер мен оптикалық өнеркәсіптерге арналған жетілдірілген өңдеу компоненті болып табылады. Бұл құрамдас пластинаны өңдеу үшін оңтайландырылған ерекше U-пішінді дизайнымен ерекшеленеді, бұл қоршаған ортаның төтенше жағдайларында механикалық беріктік пен өлшем дәлдігін қамтамасыз етеді. Жоғары таза кремний карбид керамикасынан жасалғаншанышқы қол/қолерекше қаттылықты, термиялық тұрақтылықты және химиялық төзімділікті қамтамасыз етеді.
Жартылай өткізгіш құрылғылар жұқа геометрияларға және қатаң төзімділікке қарай дамып келе жатқанда, ластанбаған және термиялық тұрақты компоненттерге сұраныс өте маңызды болады. TheКремний карбиді керамикалық шанышқы қол/қолаз бөлшектер генерациясын, ультра тегіс беттерді және берік құрылымдық тұтастықты ұсына отырып, бұл қиындыққа жауап береді. Вафельді тасымалдауда, субстратты орналастыруда немесе роботты құрал бастарында болсын, бұл компонент сенімділік пен ұзақ қызмет ету үшін жасалған.
Мұны таңдаудың негізгі себептеріКремний карбиді керамикалық шанышқы қол/қолмыналарды қамтиды:
-
Өлшемдік дәлдік үшін минималды термиялық кеңею
-
Ұзақ қызмет ету мерзімі үшін жоғары қаттылық
-
Қышқылдарға, сілтілерге және реактивті газдарға төзімділік
-
ISO 1 класс таза бөлме орталарымен үйлесімділік
Кремний карбиді керамикалық шанышқы қолын/қолын өндіру принципі
TheКремний карбиді керамикалық шанышқы қол/қолжоғары бақыланатын керамикалық өңдеу жұмыс процесі арқылы жоғары материал қасиеттері мен өлшемдік консистенцияны қамтамасыз ету үшін жасалған.
1. Ұнтақты дайындау
Процесс ультра жұқа кремний карбиді ұнтақтарын таңдаудан басталады. Бұл ұнтақтар тығыздау мен тығыздауды жеңілдету үшін байланыстырғыш заттармен және агломерациялық көмекшілермен араласады. Бұл үшіншанышқы қол/қол, β-SiC немесе α-SiC ұнтақтары қаттылықты да, қаттылықты да қамтамасыз ету үшін қолданылады.
2. Пішімдеу және алдын ала қалыптастыру
Күрделілігіне байланыстышанышқы қол/қолконструкциясы бойынша бөлік изостатикалық престеу, инъекциялық қалыптау немесе сырғанақ құю арқылы пішінделеді. Бұл күрделі геометриялар мен жұқа қабырғалы құрылымдарға мүмкіндік береді, бұл материалдың жеңіл табиғаты үшін маңызды.Кремний карбиді керамикалық шанышқы қол/қол.
3. Жоғары температурадағы агломерация
Агломерация 2000°С жоғары температурада вакуумда немесе аргон атмосферасында орындалады. Бұл кезең жасыл денені толығымен тығыздалған керамикалық компонентке айналдырады. Агломерленгеншанышқы қол/қолтамаша механикалық және термиялық қасиеттерді қамтамасыз ете отырып, теорияға жақын тығыздыққа қол жеткізеді.
4. Дәл өңдеу
Агломерациядан кейінгі,Кремний карбиді керамикалық шанышқы қол/қолалмазды тегістеуден және CNC өңдеуден өтеді. Бұл ±0,01 мм шегінде тегістікті қамтамасыз етеді және автоматтандырылған жүйелерге орнату үшін маңызды монтаждау тесіктері мен орналастыру мүмкіндіктерін қосуға мүмкіндік береді.
5. Беттік өңдеу
Жылтырату беттің кедір-бұдырлығын азайтады (Ra < 0,02 мкм), бөлшектердің пайда болуын азайту үшін өте маңызды. Қосымша CVD жабындарын плазмаға төзімділікті жақсарту немесе антистатикалық әрекет сияқты функцияларды қосу үшін қолдануға болады.
Бұл процесс барысында кепілдік беру үшін сапаны бақылау хаттамалары қолданыладыКремний карбиді керамикалық шанышқы қол/қолең сезімтал қолданбаларда сенімді жұмыс істейді.
Кремний карбиді керамикалық шанышқы қолының/қолының параметрлері
| CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары | ||
| SiC-CVD қасиеттері | ||
| Кристалл құрылымы | FCC β фазасы | |
| Тығыздығы | г/см³ | 3.21 |
| Қаттылық | Викерс қаттылығы | 2500 |
| Астық мөлшері | мкм | 2~10 |
| Химиялық тазалық | % | 99,99995 |
| Жылу сыйымдылығы | Дж·кг-1 ·К-1 | 640 |
| Сублимация температурасы | ℃ | 2700 |
| Фелексальды күш | МПа (RT 4-нүкте) | 415 |
| Жас модулі | Gpa (4pt иілу, 1300℃) | 430 |
| Термиялық кеңею (CTE) | 10-6К-1 | 4.5 |
| Жылу өткізгіштік | (Вт/мК) | 300 |
Кремний карбиді керамикалық шанышқы қолын/қолын қолдану
TheКремний карбиді керамикалық шанышқы қол/қолжоғары тазалық, тұрақтылық және механикалық дәлдік маңызды болып табылатын салаларда кеңінен қолданылады. Оларға мыналар жатады:
1. Жартылай өткізгіштерді өндіру
Жартылай өткізгіштерді өндірудеКремний карбиді керамикалық шанышқы қол/қолкремний пластинкаларын өңдеу камералары, тұндыру жүйелері және тексеру жабдығы сияқты технологиялық құралдардың ішінде тасымалдау үшін қолданылады. Оның термиялық кедергісі және өлшемдік дәлдігі оны пластинаның сәйкессіздігі мен ластануын азайту үшін өте қолайлы етеді.
2. Дисплей панелін өндіру
OLED және СКД дисплей өндірісіндешанышқы қол/қолсынғыш шыны негіздерді өңдейтін таңдау және орналастыру жүйелерінде қолданылады. Оның төмен массасы мен жоғары қаттылығы дірілсіз немесе ауытқусыз жылдам және тұрақты қозғалысқа мүмкіндік береді.
3. Оптикалық және фотонды жүйелер
Линзаларды, айналарды немесе фотонды чиптерді туралау және орналастыру үшінКремний карбиді керамикалық шанышқы қол/қоллазерлік өңдеу және дәл метрология қолданбаларында маңызды дірілсіз қолдауды ұсынады.
4. Аэроғарыштық және вакуумдық жүйелер
Аэроғарыштық оптикалық жүйелерде және вакуумдық аспаптарда бұл компоненттің магниттік емес, коррозияға төзімді құрылымы ұзақ мерзімді тұрақтылықты қамтамасыз етеді. Theшанышқы қол/қолсонымен қатар ультра жоғары вакуумда (UHV) газсыз жұмыс істей алады.
Барлық осы салалардаКремний карбиді керамикалық шанышқы қол/қолсенімділік, тазалық және қызмет ету мерзімі бойынша дәстүрлі металл немесе полимер баламаларынан асып түседі.
Кремний карбиді керамикалық шанышқы қолы/қолы туралы жиі қойылатын сұрақтар
1-сұрақ: Кремний карбиді керамикалық шанышқы қолы/қолы қандай пластинаның өлшемдерін қолдайды?
Theшанышқы қол/қол150 мм, 200 мм және 300 мм пластиналарды қолдау үшін теңшеуге болады. Шанышқылардың аралығы, қол ені және тесік үлгілері сіздің арнайы автоматтандыру платформаңызға сәйкес келуі үшін бейімделуі мүмкін.
2-сұрақ: Кремний карбиді керамикалық шанышқы қолы/қолы вакуумдық жүйелермен үйлесімді ме?
Иә. Theшанышқы қол/қолтөмен вакуумды және өте жоғары вакуумды жүйелер үшін қолайлы. Оның газды шығару жылдамдығы төмен және бөлшектерді шығармайды, бұл оны таза бөлме және вакуумдық орталар үшін өте қолайлы етеді.
3-сұрақ: Шанышқы қолына/қолына жабындарды немесе беттік модификацияларды қосуға болады ма?
Әрине. TheКремний карбиді керамикалық шанышқы қол/қолоның плазмалық төзімділігін, антистатикалық қасиеттерін немесе бетінің қаттылығын арттыру үшін CVD-SiC, көміртек немесе оксид қабаттарымен қапталуы мүмкін.
4-сұрақ: Шанышқы қолының/қолдың сапасы қалай тексеріледі?
ӘрбірКремний карбиді керамикалық шанышқы қол/қолCMM және лазерлік метрология құралдарын пайдаланып өлшемді тексеруден өтеді. Беттің сапасы ISO және SEMI стандарттарына сай болу үшін SEM және контактсыз профилометрия арқылы бағаланады.
5-сұрақ: Шанышқы қолына/қолға тапсырыс беру уақыты қандай?
Жеткізу уақыты күрделілік пен мөлшерге байланысты әдетте 3-тен 5 аптаға дейін созылады. Шұғыл сұраныстар үшін жылдам прототиптеу қол жетімді.
Бұл ЖҚС инженерлер мен сатып алу топтарына таңдау кезінде қолжетімді мүмкіндіктер мен опцияларды түсінуге көмектесуге бағытталғанКремний карбиді керамикалық шанышқы қол/қол.
Біз туралы
XKH арнайы оптикалық шыны мен жаңа кристалды материалдарды жоғары технологиялық әзірлеуге, өндіруге және сатуға маманданған. Біздің өнімдер оптикалық электроникаға, тұрмыстық электроникаға және әскерге қызмет етеді. Біз Sapphire оптикалық компоненттерін, ұялы телефон линзаларының қақпақтарын, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, кварц және жартылай өткізгіш кристалды пластиналарды ұсынамыз. Білікті тәжірибе мен озық жабдықтармен біз стандартты емес өнімді өңдеуде озық боламыз және оптоэлектрондық материалдардың жоғары технологиялық жетекші кәсіпорны болуға ұмтыламыз.
