Кремний карбиді керамикалық шанышқы тұтқасы/қол

Кремний карбиді керамикалық шанышқысы/қолының таңдаулы суреті

Қысқаша сипаттама:

TheКремний карбиді керамикалық шанышқы тұтқасы/қолжартылай өткізгіш өндірісі, аэроғарыштық жүйелер және озық робототехника сияқты күрделі орталарда қолдануға арналған жоғары дәлдіктегі, жоғары беріктіктегі компонент. Қос рөлі баршанышқы тәрізді тірек құрылымыжәне ретіндероботтық қол тәрізді эффектор—бұл компонент нәзік немесе құнды бөлшектерді өңдеуде, қолдауда немесе тасымалдауда теңдессіз әмбебаптықты ұсынады.

Керамикалық өңдеудің озық әдістерін қолдана отырып жасалған SiC шанышқы тұтқасы/қолының ерекше үйлесімін қамтамасыз етедімеханикалық қаттылық, термиялық тұрақтылықжәнехимиялық төзімділік, бұл оны кернеу кезінде және экстремалды жағдайларда ұзақ мерзімді жұмыс істеуді қажет ететін жүйелерде дәстүрлі металл немесе полимерлі иіндерді тамаша алмастырады.

Бізге электрондық пошта жіберіңіз

Ерекше өзгешеліктері

Егжей-тегжейлі диаграмма

Кремний карбидінің керамикалық шанышқысының қолын/қолын таныстыру

TheКремний карбиді керамикалық шанышқы тұтқасы/қолжоғары дәлдіктегі автоматтандыру жүйелері, әсіресе жартылай өткізгіш және оптикалық салаларда әзірленген озық өңдеу компоненті. Бұл компонент пластиналарды өңдеуге оңтайландырылған ерекше U-тәрізді дизайнға ие, бұл экстремалды қоршаған орта жағдайларында механикалық беріктікті де, өлшемдік дәлдікті де қамтамасыз етеді. Жоғары тазалықтағы кремний карбидті керамикадан жасалған.шанышқы қол/қолерекше қаттылықты, термиялық тұрақтылықты және химиялық төзімділікті қамтамасыз етеді.

Жартылай өткізгіш құрылғылар геометриялары мен төзімділігінің төмендеуіне қарай дамып келе жатқандықтан, ластанудан таза және термиялық тұрақты компоненттерге деген сұраныс өте маңызды болып келеді.Кремний карбиді керамикалық шанышқы тұтқасы/қолбөлшектердің төмен түзілуін, өте тегіс беттерді және берік құрылымдық тұтастықты ұсыну арқылы бұл қиындықты шешеді. Пластинаны тасымалдауда, негізді орналастыруда немесе роботталған құрал бастарында болсын, бұл компонент сенімділік пен ұзақ мерзімділік үшін жасалған.

Мұны таңдаудың негізгі себептеріКремний карбиді керамикалық шанышқы тұтқасы/қолмыналарды қамтиды:

Өлшемдік дәлдік үшін минималды термиялық кеңею
Ұзақ қызмет ету мерзімі үшін жоғары қаттылық
Қышқылдарға, сілтілерге және реактивті газдарға төзімділік
ISO 1 класындағы таза бөлме орталарымен үйлесімділік

Кремний карбидінің керамикалық шанышқысының/қолының өндіріс принципі

TheКремний карбиді керамикалық шанышқы тұтқасы/қолматериалдың жоғары қасиеттері мен өлшемдік консистенциясын қамтамасыз етуге арналған жоғары бақыланатын керамикалық өңдеу жұмыс процесі арқылы өндіріледі.

1. Ұнтақты дайындау

Процесс аса ұсақ кремний карбиді ұнтақтарын таңдаудан басталады. Бұл ұнтақтар тығыздау мен тығыздауды жеңілдету үшін байланыстырғыш заттармен және күйдіру құралдарымен араластырылады. Ол үшіншанышқы қол/қол, β-SiC немесе α-SiC ұнтақтары қаттылық пен беріктікті қамтамасыз ету үшін қолданылады.

2. Пішіндеу және алдын ала пішіндеу

Күрделілігіне байланыстышанышқы қол/қолдизайнында бөлшек изостатикалық престеу, инжекциялық қалыптау немесе сырғанау құю арқылы пішінделеді. Бұл күрделі геометриялар мен жұқа қабырғалы құрылымдарға мүмкіндік береді, бұл оның жеңіл табиғаты үшін өте маңызды.Кремний карбиді керамикалық шанышқы тұтқасы/қол.

3. Жоғары температуралы күйдіру

Пісіру вакуумда немесе аргон атмосферасында 2000°C жоғары температурада жүзеге асырылады. Бұл кезең жасыл денені толығымен тығыздалған керамикалық компонентке айналдырады. Пісірілгеншанышқы қол/қолтеориялық тығыздыққа жақын, бұл керемет механикалық және жылулық қасиеттерді қамтамасыз етеді.

4. Дәл өңдеу

Пісіруден кейінгі күйдіру,Кремний карбиді керамикалық шанышқы тұтқасы/қолалмасты тегістеу және CNC өңдеуден өтеді. Бұл ±0,01 мм шегінде тегістікті қамтамасыз етеді және оны автоматтандырылған жүйелерге орнату үшін маңызды бекіту тесіктері мен орналасу ерекшеліктерін қосуға мүмкіндік береді.

5. Беткі өңдеу

Жылтырату беткі кедір-бұдырлықты азайтады (Ra < 0,02 мкм), бұл бөлшектердің пайда болуын азайту үшін өте маңызды. Плазмалық кедергіні жақсарту немесе антистатикалық әрекет сияқты функцияларды қосу үшін қосымша CVD жабындарын қолдануға болады.

Бұл процесс барысында сапаны бақылау хаттамалары қолданылады, бұл кепілдік бередіКремний карбиді керамикалық шанышқы тұтқасы/қолең сезімтал қолданбаларда сенімді жұмыс істейді.

Кремний карбидінің керамикалық шанышқысының/қолының параметрлері

CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары
SiC-CVD қасиеттері
Кристалдық құрылым	FCC β фазасы
Тығыздық	г/см³	3.21
Қаттылық	Виккерс қаттылығы	2500
Дән мөлшері	мкм	2~10
Химиялық тазалық	%	99.99995
Жылу сыйымдылығы	J·kg-1 ·K-1	640
Сублимация температурасы	℃	2700
Фексуральды күш	МПа (RT 4-нүктелік)	415
Янг модулі	Gpa (4pt иілу, 1300℃)	430
Жылулық кеңею (ТКК)	10-6K-1	4.5
Жылу өткізгіштігі	(Вт/мК)	300

Кремний карбидінің керамикалық шанышқысының/қолының қолданылуы

TheКремний карбиді керамикалық шанышқы тұтқасы/қолжоғары тазалық, тұрақтылық және механикалық дәлдік маңызды салаларда кеңінен қолданылады. Оларға мыналар жатады:

1. Жартылай өткізгіштер өндірісі

Жартылай өткізгіштер өндірісінде,Кремний карбиді керамикалық шанышқы тұтқасы/қолкремний пластиналарын өңдеу құралдары, мысалы, ою камералары, тұндыру жүйелері және тексеру жабдықтары ішінде тасымалдау үшін қолданылады. Оның термиялық төзімділігі мен өлшемдік дәлдігі пластиналардың сәйкессіздігі мен ластануын азайту үшін өте қолайлы етеді.

2. Дисплей панелін өндіру

OLED және LCD дисплейлер өндірісінде,шанышқы қол/қолсынғыш шыны негіздерді өңдейтін «алып қою және орналастыру» жүйелерінде қолданылады. Оның төмен массасы және жоғары қаттылығы дірілсіз немесе ауытқусыз жылдам және тұрақты қозғалысты қамтамасыз етеді.

3. Оптикалық және фотондық жүйелер

Линзаларды, айналарды немесе фотондық чиптерді туралау және орналастыру үшін,Кремний карбиді керамикалық шанышқы тұтқасы/қоллазерлік өңдеу және дәлдік метрологиясы қолданбаларында маңызды болып табылатын дірілсіз қолдауды ұсынады.

4. Аэроғарыштық және вакуумдық жүйелер

Аэроғарыштық оптикалық жүйелерде және вакуумдық аспаптарда бұл компоненттің магниттік емес, коррозияға төзімді құрылымы ұзақ мерзімді тұрақтылықты қамтамасыз етеді.шанышқы қол/қолсонымен қатар ультра жоғары вакуумда (UHV) газсыз жұмыс істей алады.

Осы салалардың барлығында,Кремний карбиді керамикалық шанышқы тұтқасы/қолсенімділігі, тазалығы және қызмет ету мерзімі бойынша дәстүрлі металл немесе полимер баламаларынан асып түседі.

en_177_d780dae2bf2639e7dd5142ca3d29c41d_image

Кремний карбидінің керамикалық шанышқысы/қолына қатысты жиі қойылатын сұрақтар

1-сұрақ: Кремний карбидті керамикалық шанышқы тұтқасы/тұтқасы қандай пластина өлшемдерін қолдайды?

Theшанышқы қол/қол150 мм, 200 мм және 300 мм пластиналарды қолдау үшін теңшеуге болады. Шанышқы аралығы, иін ені және тесік үлгілері сіздің нақты автоматтандыру платформаңызға сәйкес келуі мүмкін.

2-сұрақ: Кремний карбидінің керамикалық шанышқысының тұтқасы/қолшатыры вакуумдық жүйелермен үйлесімді ме?

Иә.шанышқы қол/қолтөмен вакуумды және аса жоғары вакуумды жүйелерге жарамды. Оның газ шығару жылдамдығы төмен және бөлшектер шығармайды, бұл оны таза бөлме және вакуумдық орта үшін өте қолайлы етеді.

С3: Шанышқы тұтқасына/тұтқасына жабындар немесе беткі өзгерістер қоса аламын ба?

Әрине.Кремний карбиді керамикалық шанышқы тұтқасы/қолплазмалық кедергісін, антистатикалық қасиеттерін немесе бетінің қаттылығын арттыру үшін CVD-SiC, көміртек немесе оксид қабаттарымен қапталуы мүмкін.

4-сұрақ: Шанышқы тұтқасының/қолдың сапасы қалай тексеріледі?

ӘрқайсысыКремний карбиді керамикалық шанышқы тұтқасы/қолCMM және лазерлік метрология құралдарын пайдаланып өлшемдік тексеруден өтеді. Беткі сапасы ISO және SEMI стандарттарына сәйкес келу үшін SEM және байланыссыз профилометрия арқылы бағаланады.

5-сұрақ: Шанышқымен/қолмен тапсырыс берудің жеткізу уақыты қандай?

Жеткізу мерзімі әдетте күрделілігі мен санына байланысты 3-тен 5 аптаға дейін созылады. Шұғыл сұраныстар үшін жылдам прототиптеу қолжетімді.

Бұл жиі қойылатын сұрақтар инженерлер мен сатып алу топтарына таңдау кезінде қолжетімді мүмкіндіктер мен нұсқаларды түсінуге көмектесуге бағытталған.Кремний карбиді керамикалық шанышқы тұтқасы/қол.

Біз туралы

XKH арнайы оптикалық шыны мен жаңа кристалды материалдарды жоғары технологиялық әзірлеуге, өндіруге және сатуға маманданған. Біздің өнімдеріміз оптикалық электроникаға, тұтынушылық электроникаға және әскери салаға қызмет көрсетеді. Біз сапфир оптикалық компоненттерін, ұялы телефон линзаларының қақпақтарын, керамиканы, LT, кремний карбиді SIC, кварц және жартылай өткізгіш кристалды пластиналарды ұсынамыз. Білікті тәжірибеміз бен заманауи жабдықтарымызбен біз стандартты емес өнімді өңдеуде табысқа жетеміз, жетекші оптоэлектронды материалдардың жоғары технологиялық кәсіпорыны болуға ұмтыламыз.