Кремний карбиді керамикалық науа сорғышы Кремний карбиді керамикалық түтігі жоғары температуралы күйдіруді арнайы өңдеумен қамтамасыз етеді
Негізгі ерекшеліктері:
1. Кремний карбидінен жасалған керамикалық науа
- Жоғары қаттылық және тозуға төзімділік: қаттылығы гауһар тасқа жақын және пластина өңдеу кезінде механикалық тозуға ұзақ уақыт төтеп бере алады.
- Жоғары жылу өткізгіштік және төмен жылу кеңею коэффициенті: жылудың тез таралуы және өлшемдік тұрақтылық, жылу кернеуінен туындаған деформацияны болдырмайды.
- Жоғары тегістік және беткі өңдеу: беткі тегістік микрон деңгейіне дейін жетеді, бұл пластина мен дискінің толық жанасуын қамтамасыз етеді, ластану мен зақымдануды азайтады.
Химиялық тұрақтылық: коррозияға төзімділігі жоғары, жартылай өткізгіш өндірісінде ылғалды тазалау және ою процестеріне жарамды.
2. Кремний карбидті керамикалық түтік
- Жоғары температураға төзімділік: 1600°C жоғары температуралы ортада ұзақ уақыт жұмыс істей алады, жартылай өткізгіш жоғары температуралы процестерге жарамды.
Коррозияға төзімділігі жоғары: қышқылдарға, сілтілерге және әртүрлі химиялық еріткіштерге төзімді, қатал технологиялық орталарға жарамды.
- Жоғары қаттылық және тозуға төзімділік: бөлшектердің эрозиясына және механикалық тозуға қарсы тұрыңыз, қызмет ету мерзімін ұзартыңыз.
- Жоғары жылу өткізгіштік және жылу кеңеюінің төмен коэффициенті: жылудың жылдам өткізілуі және өлшемдік тұрақтылық, жылу кернеуінен туындаған деформацияны немесе жарықшақтануды азайтады.
Өнім параметрі:
Кремний карбидті керамикалық науа параметрі:
| (Материалдық мүлік) | (Бірлік) | (ssic) | |
| (SiC мазмұны) | (Салмақ)% | >99 | |
| (Орташа дән мөлшері) | микрон | 4-10 | |
| (Тығыздық) | кг/дм3 | >3.14 | |
| (Көрінетін кеуектілік) | Vo1% | <0,5 | |
| (Викерс қаттылығы) | HV 0.5 | GPA | 28 |
| *() Иілу күші* (үш ұпай) | 20ºC | МПа | 450 |
| (Сығымдау күші) | 20ºC | МПа | 3900 |
| (Серпімділік модулі) | 20ºC | GPA | 420 |
| (Сынықтарға төзімділік) | МПа/м'% | 3.5 | |
| (Жылу өткізгіштік) | 20°ºC | Вт/(м*К) | 160 |
| (Қарсыласу) | 20°ºC | Ом.см | 106-108 |
(Жылулық кеңею коэффициенті) | a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Ең жоғары жұмыс температурасы) | oºC | 1700 ж. | |
Кремний карбидінің керамикалық түтігінің параметрі:
| Заттар | Индекс |
| α-SIC | 99% мин |
| Көрінетін кеуектілік | Ең көбі 16% |
| Көлемдік тығыздық | 2,7 г/см3 мин |
| Жоғары температурадағы иілу беріктігі | 100 Мпа мин |
| Жылулық кеңею коэффициенті | K-1 4.7x10 -6 |
| Жылу өткізгіштік коэффициенті (1400ºC) | 24 Вт/мкм |
| Максималды жұмыс температурасы | 1650ºC |
Негізгі қолданылуы:
1. Кремний карбидті керамикалық пластина
- Пластинаны кесу және жылтырату: кесу және жылтырату кезінде жоғары дәлдік пен тұрақтылықты қамтамасыз ету үшін мойынтірек платформасы ретінде қызмет етеді.
- Литография процесі: Экспозиция кезінде жоғары дәлдікті орналастыруды қамтамасыз ету үшін пластина литография машинасына бекітіледі.
- Химиялық механикалық жылтырату (ХМЖ): жылтырату жастықшалары үшін тірек платформасы ретінде қызмет етеді, қысым мен жылудың біркелкі таралуын қамтамасыз етеді.
2. Кремний карбидті керамикалық түтік
- Жоғары температуралы пеш түтігі: жоғары температуралы өңдеуге арналған пластиналарды тасымалдау үшін диффузиялық пеш және тотығу пеші сияқты жоғары температуралы жабдықтарда қолданылады.
- CVD/PVD процесі: Реакция камерасындағы мойынтірек түтігі ретінде, жоғары температура мен коррозиялық газдарға төзімді.
- Жартылай өткізгіш жабдықтардың керек-жарақтары: жылу алмастырғыштарға, газ құбырларына және т.б. арналған, жабдықтардың жылу басқару тиімділігін арттыру үшін.
XKH кремний карбидті керамикалық науаларға, сорғыштарға және кремний карбидті керамикалық түтіктерге арналған толық қызмет көрсетуді ұсынады. XKH кремний карбидті керамикалық науалары мен сорғыштарын әртүрлі өлшемдегі, пішіндегі және бетінің кедір-бұдырлығы бойынша тұтынушының талаптарына сәйкес реттеуге болады және арнайы жабын өңдеуді қолдайды, тозуға төзімділікті және коррозияға төзімділікті арттырады; Кремний карбидті керамикалық түтіктер үшін XKH әртүрлі ішкі диаметрлерді, сыртқы диаметрлерді, ұзындықтарды және күрделі құрылымдарды (мысалы, пішінді түтік немесе кеуекті түтік) реттей алады және жылтырату, антиоксидантты жабындарды және басқа да беттік өңдеу процестерін қамтамасыз етеді. XKH тұтынушылардың жартылай өткізгіштер, жарықдиодтар және фотоэлектрлік шамдар сияқты жоғары деңгейлі өндіріс салаларының талап етілетін талаптарын қанағаттандыру үшін кремний карбидті керамикалық өнімдерінің өнімділік артықшылықтарын толық пайдалана алатынына кепілдік береді.
Егжей-тегжейлі диаграмма
