Кремний карбидті керамикалық сорғыш Сорғыш Карбид Карбид Карбидті керамикалық түтікпен қамтамасыз ету Жоғары температура

Кремний карбид керамикалық науа Сорғыш Сорғыш Карбид

Қысқаша сипаттама:

Кремсон Карбидті керамикалық науа және кремний карбиді керамикалық түтіктер жартылай өткізгіш өндірісінде жоғары өнімді материалдар болып табылады. Кремний карбидті керамикалық науа негізінен жоғары дәлдіктегі процестің тұрақтылығын қамтамасыз ету үшін вафлиді және подшипникте қолданылады; Кремний карбидті керамикалық түтіктер жоғары температуралы пештің түтіктері, диффузиялық пештің түтіктері, диффузиялық пештің түтіктері және басқа сценарийлерде кеңінен қолданылады, бұл экстремалды ортаға төтеп береді және термиялық басқаруды қолдау үшін басқа сценарийлерде кеңінен қолданылады. Екеуі де кремний карбидіне негізделген, ол негізгі физикалық және химиялық қасиеттеріне байланысты жартылай өткізгіш өнеркәсібіндегі негізгі компонентке айналды.

Бізге электрондық хат жіберіңіз

Өнімнің бөлшегі

Өнім тегтері

Негізгі ерекшеліктері:

1. Кремний карбиді керамикалық науа
- Жоғары қаттылық пен тозу кедергісі: қаттылық гауһарға жақын, және вафлиді ұзақ уақыт бойы қолдануға кедергі келтіруі мүмкін.
- Жоғары жылу өткізгіштік және жылу кеңею коэффициенті: Жылдам жылуды тарату және өлшемді тұрақтылық, термиялық стресстен туындаған даформациядан аулақ болу.
- Жоғары тегістік және беті әрлеуі: Беттің тұяқтығы микрон деңгейіне дейін, мигрь деңгейіне дейін, вафли мен диск арасында толық жанасуды қамтамасыз етеді, ластану мен зақымдануды азайтады.
Химиялық тұрақтылық: дымқыл тазалауға жарамды, жартылай өткізгіш өндірісіндегі процестерді өткізуге жарамды коррозияға қарсы тұрақтылық.
2. Кремний карбиді керамикалық түтік
- Жоғары температураға төзімділік: ол ұзақ уақытқа жоғары температуралы ортада жұмыс істей алады, ұзақ уақыт бойы, жартылай өткізгішке жоғары температура процесінде қолайлы.
Тамаша коррозияға төзімділік: қышқылдарға, сілтілерге және әр түрлі химиялық еріткіштерге төзімді, олар қатал процесс орталарына жарамды.
- Жоғары қаттылық пен тозуға төзімділік: бөлшектердің эрозиясына және механикалық тозуға қарсы тұру, қызмет көрсету мерзімін ұзартыңыз.
- Жоғары жылу өткізгіштік және жылу кеңеюінің төмен коэффициенті: жылу және өлшемді тұрақтылықты жылдам өткізу, термиялық стресстен туындаған деформацияны немесе крекингті азайту.

Өнім параметрі:

Кремсон Карбидті керамикалық науа параметрі:

(Материалдық мүлік)		(Бірлік)	(SSIC)
(SIC мазмұны)		(Wt)%	> 99
(Орташа астық мөлшері)		микрон	4-10
(Тығыздық)		кг / дм3	> 3.14
(Айқын кеуекті)		Vo1%	<0,5
(Виккерлер қаттылығы)	HV 0.5	Gpa	28
* () Иілгіш күш * (үш нүкте)	20ºC	МПа	450
(Қысу күші)	20ºC	МПа	3900
(Серпімді модуль)	20ºC	Gpa	420
(Сынық қаттылығы)		MPA / M '%	3.5
(Жылу өткізгіштік)	20 ° కil 20 ° కºC	W / (m * k)	160
(Төзімділік)	20 ° కil 20 ° కºC	Ohm.cm	106-108
(Жылу кеңейту коэффициенті)	A (RT ** ... 80ºC)	K-1 * 10-6	4.3
(Максималды жұмыс температурасы)		oºC	1700

Карбидті карбид керамикалық түтік параметрі:

Заттар	Көрсеткіш
α-sic	99% мин
Айқын кеуектілік	16% макс
Жаппай тығыздық	2.7g / см3 мин
Жоғары температурада иілу күші	100 MPA мин
Жылу кеңеюінің коэффициенті	K-1 4.7x10 -6
Жылу өткізгіштік коэффициенті (1400ºC)	24 Вт / мк
Макс. Жұмыс температурасы	1650ºC

Негізгі қосымшалар:

1. Кремний карбиді керамикалық табақ
- вафлиді кесу және жылтырату: кесу және жылтырату кезіндегі жоғары дәлдік пен тұрақтылықты қамтамасыз ету үшін подвал ретінде қызмет етеді.
- Литография процесі: әсер ету кезінде жоғары дәлдікті қамтамасыз ету үшін вафли литрография машинасында бекітілген.
- Химиялық механикалық жылтырату (CMP): біркелкі қысым мен жылу бөлуді қамтамасыз ететін жылтыратқыш жастықшаларға арналған тірек платформасы ретінде әрекет етеді.
2. Кремний карбиді керамикалық түтік
- Жоғары температуралы пеш түтігі: жоғары температуралы пеш және тотығу пештері сияқты жоғары температуралы жабдық үшін қолданылады, мысалы, диффузиялық пеш және тотығу пештері, сондай-ақ жоғары температуралы процесті емдеу үшін вафли.
- CVD / PVD процесі: реакция камерасындағы подшипниктік түтік ретінде, жоғары температура мен коррозиялық газдарға төзімді.
- Жартылай өткізгіш жабдықтарға арналған керек-жарақтар: жылу алмастырғыштар, газ құбырлары және т.б. үшін, жабдықтың жылулық басқару тиімділігін арттыру.
XCH кремний карбидті керамикалық науалар, сору шыныаяқтары және кремний карбидтер керамикалық каналдары үшін арнайы қызметтердің толық спектрін ұсынады. Кремний карбидті керамикалық науалар мен сорғыштардың кубогы, ал XKH тұтынушыларға әр түрлі өлшемдер, пішіндер мен беттің кедір-бұдырлығы, арнайы жабын емдеу, тозуға төзімділігі мен коррозияға төзімділігін арттырады; Силикон Карбидтік керамикалық түтіктер үшін XKH диаметрі, сыртқы диаметрі, ұзындық диаметрі, ұзындығы және күрделі құрылымын (мысалы, пішінді түтік немесе кеуекті түтік), жылтыратылған, тотығу жабыны және басқа да емдеу процестерін ұсынады. XKH клиенттер кремний карбидінің керамикалық өнімдерінің артықшылықтарын, жартылай өткізгіштер, жарықдиодтар, жарықдиодтар және фотоэлектрлік сияқты жоғары деңгейлі өндірістік кен орындарының талаптарына сай болуын қамтамасыз етеді.