Кремний карбиді керамикалық науа сорғыш Кремний карбиді керамикалық түтікпен қамтамасыз ету жоғары температурада агломерациялау тапсырыс бойынша өңдеу

Қысқаша сипаттама:

Кремний карбиді керамикалық науа және кремний карбидті керамикалық түтіктер жартылай өткізгіш өндірісінде таптырмайтын жоғары өнімді материалдар болып табылады. Кремний карбиді керамикалық науа негізінен жоғары дәлдіктегі процестің тұрақтылығын қамтамасыз ету үшін бекітілген және мойынтіректерді өңдеуде қолданылады; Кремний карбидті керамикалық түтіктер жоғары температуралы пеш түтіктерінде, диффузиялық пеш түтіктерінде және басқа сценарийлерде төтенше орталарға төтеп беру және тиімді жылуды басқаруды қолдау үшін кеңінен қолданылады. Екеуі де негізгі материал ретінде кремний карбидіне негізделген, ол тамаша физикалық және химиялық қасиеттерінің арқасында жартылай өткізгіштер өнеркәсібінің негізгі құрамдас бөлігі болды.

Бізге электрондық поштаны жіберіңіз

Өнімнің егжей-тегжейі

Өнім тегтері

Негізгі ерекшеліктері:

1. Кремний карбиді керамикалық науа
- Жоғары қаттылық пен тозуға төзімділік: қаттылық гауһарға жақын және пластинаны өңдеу кезінде механикалық тозуға ұзақ уақыт бойы төтеп бере алады.
- Жоғары жылу өткізгіштік және төмен жылу кеңею коэффициенті: жылдам жылуды тарату және өлшемдік тұрақтылық, жылу кернеуінен туындаған деформацияны болдырмайды.
- Жоғары тегістік және бетті әрлеу: бетінің тегістігі микрон деңгейіне дейін, пластиналар мен дискілердің толық жанасуын қамтамасыз етеді, ластану мен зақымдануды азайтады.
Химиялық тұрақтылық: күшті коррозияға төзімділік, жартылай өткізгіштер өндірісіндегі ылғалды тазалау және өңдеу процестеріне жарамды.
2. Кремний карбидті керамикалық түтік
- Жоғары температураға төзімділік: 1600 ° C жоғары температурада ұзақ уақыт жұмыс істей алады, жартылай өткізгіш жоғары температура процесіне жарамды.
Тамаша коррозияға төзімділік: қышқылдарға, сілтілерге және әртүрлі химиялық еріткіштерге төзімді, қатал технологиялық орталарға жарамды.
- Жоғары қаттылық пен тозуға төзімділік: бөлшектердің эрозиясына және механикалық тозуға қарсы тұру, қызмет ету мерзімін ұзарту.
- Жоғары жылу өткізгіштік және жылу кеңеюінің төмен коэффициенті: жылуды жылдам өткізу және өлшемдік тұрақтылық, термиялық кернеуден туындаған деформацияны немесе крекингті азайту.

Өнім параметрі:

Кремний карбиді керамикалық науа параметрі:

(материалдық қасиет)		(бірлік)	(ssic)
(SiC мазмұны)		(Мас)%	>99
(Астықтың орташа мөлшері)		микрон	4-10
(тығыздық)		кг/дм3	>3.14
(Көрінетін кеуектілік)		Vo1%	<0,5
(Виккерс қаттылығы)	HV 0,5	GPa	28
() Иілу күші (үш ұпай)	20ºC	МПа	450
(сығымдау күші)	20ºC	МПа	3900
(серпімді модуль)	20ºC	GPa	420
(Сыну беріктігі)		МПа/м'%	3.5
(жылу өткізгіштік)	20°ºC	В/(м*К)	160
(қарсылық)	20°ºC	Ом.см	106-108
(жылулық кеңею коэффициенті)	a(RT**...80ºC)	К-1*10-6	4.3
(Ең жоғары жұмыс температурасы)		oºC	1700

Кремний карбиді керамикалық түтік параметрі:

Элементтер	Индекс
α-SIC	99% мин
Көрінетін кеуектілік	16% макс
Көлемді тығыздық	2,7 г/см3 мин
Жоғары температурадағы иілу күші	100 Мпа мин
Жылулық кеңею коэффициенті	К-1 4,7х10 -6
Жылу өткізгіштік коэффициенті (1400ºC)	24 Вт/мк
Макс. Жұмыс температурасы	1650ºC

Негізгі қолданбалар:

1. Кремний карбиді керамикалық пластина
- Вафельді кесу және жылтырату: кесу және жылтырату кезінде жоғары дәлдік пен тұрақтылықты қамтамасыз ету үшін тірек платформасы ретінде қызмет етеді.
- Литография процесі: экспозиция кезінде жоғары дәлдікті орналастыруды қамтамасыз ету үшін пластинка литография машинасына бекітілген.
- Химиялық механикалық жылтырату (CMP): біркелкі қысым мен жылуды бөлуді қамтамасыз ететін жылтырату төсемдеріне арналған тірек платформасы ретінде әрекет етеді.
2. Кремний карбидті керамикалық түтік
- Жоғары температуралы пеш түтігі: диффузиялық пеш және тотығу пеші сияқты жоғары температуралық жабдық үшін, жоғары температура процесін өңдеуге арналған пластиналарды тасымалдау үшін қолданылады.
- CVD/PVD процесі: реакция камерасындағы мойынтірек түтігі ретінде, жоғары температура мен коррозиялық газдарға төзімді.
- Жартылай өткізгішті жабдықтың керек-жарақтары: жылу алмастырғыштарға, газ құбырларына және т.б., жабдықтың жылуды басқару тиімділігін арттыру үшін.
XKH кремний карбиді керамикалық науалар, сорғыштар және кремний карбиді керамикалық түтіктерге арналған тапсырыс бойынша қызметтердің толық спектрін ұсынады. Кремний карбидті керамикалық науалар мен сорғыштар, XKH әртүрлі өлшемдегі, пішіндегі және бетінің кедір-бұдырлылығының тұтынушылардың талаптарына сәйкес реттелуі мүмкін және арнайы жабын өңдеуін қолдайды, тозуға төзімділік пен коррозияға төзімділікті арттырады; Кремний карбидті керамикалық түтіктер үшін XKH әртүрлі ішкі диаметрді, сыртқы диаметрді, ұзындықты және күрделі құрылымды (пішінді түтік немесе кеуекті түтік сияқты) теңшей алады және жылтырату, тотығуға қарсы жабын және басқа бетті өңдеу процестерін қамтамасыз етеді. XKH тұтынушылардың жартылай өткізгіштер, жарықдиодтар және фотоэлектрлік құрылғылар сияқты жоғары деңгейлі өндіріс өрістерінің талап етілетін талаптарын қанағаттандыру үшін кремний карбидті керамикалық өнімдердің өнімділік артықшылықтарын толық пайдалана алатындығына кепілдік береді.