Кремний карбиді алмас сым кескіш машинасы 4/6/8/12 дюймдік SiC құймасын өңдеу

Қысқаша сипаттама:

Кремний карбиді гауһар сым кескіш машинасы - бұл жоғары дәлдіктегі, аз зақымдалған пластина дайындауға қол жеткізу үшін гауһар сым технологиясын қолдана отырып, жоғары жылдамдықты қозғалатын гауһар сым (диаметрі 0,1 ~ 0,3 мм) арқылы SiC құймасын көп сымды кесуге арналған кремний карбиді (SiC) кескішіне арналған жоғары дәлдікті өңдеу жабдықтарының бір түрі. Жабдық SiC қуатты жартылай өткізгіште (MOSFET/SBD), радиожиілік құрылғысында (GaN-on-SiC) және оптоэлектронды құрылғы субстратын өңдеуде кеңінен қолданылады, SiC салалық тізбегіндегі негізгі жабдық болып табылады.

Бізге электрондық пошта жіберіңіз

Ерекше өзгешеліктері

Жұмыс принципі:

1. Құйманы бекіту: SiC құймасы (4H/6H-SiC) орналасу дәлдігін (±0,02 мм) қамтамасыз ету үшін кесу платформасына бекіткіш арқылы бекітіледі.

2. Гауһар сызықтың қозғалысы: гауһар сызық (бетіндегі электродталған гауһар бөлшектері) жоғары жылдамдықты айналым үшін бағыттаушы дөңгелек жүйесімен басқарылады (сызық жылдамдығы 10~30м/с).

3. Кесу берілісі: құйма белгіленген бағыт бойынша беріледі, ал ромб сызығы бірнеше параллель сызықтармен (100 ~ 500 сызық) бір уақытта кесіліп, бірнеше пластиналар түзіледі.

4. Салқындату және жоңқаларды кетіру: Жылу зақымдануын азайту және жоңқаларды кетіру үшін кесу аймағына салқындатқыш сұйықтықты (деионизацияланған су + қоспалар) шашыңыз.

Негізгі параметрлер:

1. Кесу жылдамдығы: 0,2 ~ 1,0 мм/мин (кристалл бағытына және SiC қалыңдығына байланысты).

2. Сызықтың керілуі: 20~50Н (сызық тым жоғары, оңай үзіледі, тым төмен кесу дәлдігіне әсер етеді).

3. Вафлидің қалыңдығы: стандартты 350~500 мкм, вафли 100 мкм жетуі мүмкін.

Негізгі ерекшеліктері:

(1) Кесу дәлдігі
Қалыңдыққа төзімділік: ±5 мкм (@350 мкм пластина), кәдімгі ерітінді кесуден (±20 мкм) жақсы.

Беттік кедір-бұдырлық: Ra <0,5 мкм (кейінгі өңдеу мөлшерін азайту үшін қосымша ұнтақтау қажет емес).

Деформация: <10 мкм (кейіннен жылтырату қиындығын азайтады).

(2) Өңдеу тиімділігі
Көп сызықты кесу: бір уақытта 100-500 дана кесу, өндірістік қуатты 3-5 есе арттыру (бір сызықты кесумен салыстырғанда).

Желінің қызмет ету мерзімі: Алмаз желісі 100 ~ 300 км SiC кесе алады (құйма қаттылығына және процесті оңтайландыруға байланысты).

(3) Аз зиянды өңдеу
Жиек сынуы: <15 мкм (дәстүрлі кесу >50 мкм), пластина өнімділігін жақсартады.

Беткі қабаттың зақымдану қабаты: <5 мкм (жылтыратуды кетіруді азайтады).

(4) Қоршаған ортаны қорғау және экономика
Құрамында ерітіндінің ластануы жоқ: Құрамында ерітінді кесумен салыстырғанда қалдық сұйықтықты жою шығындары азаяды.

Материалды пайдалану: кесу шығыны <100 мкм/ кескіш, SiC шикізатын үнемдеу.

Кесу әсері:

1. Пластинаның сапасы: бетінде макроскопиялық жарықтар жоқ, микроскопиялық ақаулар аз (басқарылатын дислокацияның кеңеюі). Кедір-бұдыр жылтырату буынына тікелей еніп, процесс ағынын қысқарта алады.

2. Тұрақтылық: партиядағы пластинаның қалыңдығының ауытқуы <±3%, автоматтандырылған өндіріске жарамды.

3. Қолданылуы: Өткізгіш/жартылай оқшауланған түрімен үйлесімді 4H/6H-SiC құйма кесуді қолдайды.

Техникалық сипаттама:

Техникалық сипаттама	Мәліметтер
Өлшемдері (Ұзындығы × Ені × Биіктігі)	2500x2300x2500 немесе теңшеңіз
Өңдеу материалының өлшем диапазоны	4, 6, 8, 10, 12 дюймдік кремний карбиді
Беткі кедір-бұдырлық	Ra≤0.3u
Орташа кесу жылдамдығы	0,3 мм/мин
Салмақ	5,5 т
Кесу процесін орнату қадамдары	≤30 қадам
Жабдықтың шуы	≤80 дБ
Болат сымның керілуі	0~110N (0,25 сым кернеуі 45N)
Болат сымның жылдамдығы	0~30м/с
Жалпы қуат	50 кВт
Алмаз сымының диаметрі	≥0,18 мм
Аяқтың жазықтығы	≤0,05 мм
Кесу және сыну жылдамдығы	≤1% (адамдық себептерден, кремний материалынан, желіден, техникалық қызмет көрсетуден және басқа себептерден басқа)

XKH қызметтері:

XKH кремний карбиді алмас сым кескіш машинасының бүкіл технологиялық қызметін ұсынады, соның ішінде жабдықты таңдау (сым диаметрі/сым жылдамдығын сәйкестендіру), процесті әзірлеу (кесу параметрлерін оңтайландыру), шығын материалдарын жеткізу (гауһар сым, бағыттаушы дөңгелегі) және сатудан кейінгі қолдау (жабдыққа техникалық қызмет көрсету, кесу сапасын талдау), бұл тұтынушыларға жоғары өнімділікке (>95%), төмен бағамен SiC пластиналарын жаппай өндіруге қол жеткізуге көмектеседі. Сондай-ақ, ол 4-8 апталық мерзімде жекелендірілген жаңартуларды (мысалы, ультра жұқа кесу, автоматтандырылған тиеу және түсіру) ұсынады.