Кремний карбиді алмаз сым кескіш машина 4/6/8/12 дюймдік SiC құймасын өңдеу

Қысқаша сипаттама:

Кремний карбиді Diamond Wire кескіш станок - бұл Diamond Wire Saw технологиясын қолдана отырып, кремний карбиді (SiC) құйма тіліміне арналған жоғары дәлдіктегі өңдеу жабдығының бір түрі, жоғары жылдамдықты қозғалатын алмас сым арқылы (сызық диаметрі 0,1 ~ 0,3 мм) SiC құймасын көп сымды кесуге дейін жоғары дәлдікке қол жеткізу үшін, төмен дамбалды дайындау. Жабдық SiC қуатты жартылай өткізгішінде (MOSFET/SBD), радиожиілік құрылғысында (GaN-on-SiC) және оптоэлектрондық құрылғы субстратын өңдеуде кеңінен қолданылады, SiC өнеркәсіп тізбегіндегі негізгі жабдық болып табылады.

Бізге электрондық поштаны жіберіңіз

Өнімнің егжей-тегжейі

Өнім тегтері

Жұмыс принципі:

1. Құйманы бекіту: SiC құймасы (4H/6H-SiC) позицияның дәлдігін (±0,02 мм) қамтамасыз ету үшін бекіткіш арқылы кесу платформасына бекітіледі.

2. Алмаз сызығының қозғалысы: гауһар сызығы (бетіндегі электропладталған алмаз бөлшектері) жоғары жылдамдықтағы айналымға арналған бағыттаушы доңғалақ жүйесімен қозғалады (желдің жылдамдығы 10 ~ 30 м/с).

3. Кесу беруі: құйма белгіленген бағыт бойымен беріледі, ал алмас сызығы бірнеше параллель сызықтармен (100~500 жол) бір уақытта кесіліп, бірнеше пластиналар жасалады.

4. Салқындату және чиптерді кетіру: Ыстық зақымдануды азайту және жоңқаларды кетіру үшін кесу аймағына салқындатқыш сұйықтықты (деиондандырылған су + қоспаларды) шашыратыңыз.

Негізгі параметрлер:

1. Кесу жылдамдығы: 0,2~1,0мм/мин (кристалл бағыты мен SiC қалыңдығына байланысты).

2. Сызық кернеуі: 20~50N (сызықты бұзу өте жоғары, кесу дәлдігіне тым төмен әсер етеді).

3.Вафельдің қалыңдығы: стандартты 350~500мкм, вафли 100мкм жетуі мүмкін.

Негізгі ерекшеліктері:

(1) Кесу дәлдігі
Қалыңдыққа төзімділік: ±5μm (@350μm пластинка), әдеттегі ерітіндіні кесуге қарағанда жақсырақ (±20μm).

Бетінің кедір-бұдырлығы: Ra<0,5μm (кейінгі өңдеу көлемін азайту үшін қосымша ұнтақтау қажет емес).

Warpage: <10μm (келесі жылтыратудың қиындығын азайтады).

(2) Өңдеу тиімділігі
Көп сызықты кесу: бір уақытта 100 ~ 500 дана кесу, өндірістік қуаттылықты 3 ~ 5 есе арттыру (Бір сызықты кесуге қарсы).

Желінің қызмет ету мерзімі: Алмаз желісі 100 ~ 300 км SiC кесуі мүмкін (құйма қаттылығына және процесті оңтайландыруға байланысты).

(3) Төмен зақымдануды өңдеу
Жиектердің сынуы: <15μm (дәстүрлі кесу >50μm), пластинаның шығуын жақсартады.

Жер асты зақымдану қабаты: <5μm (жылтыратуды кетіруді азайтыңыз).

(4) Қоршаған ортаны қорғау және экономика
Ерітінділердің ластануы жоқ: ерітіндіні кесумен салыстырғанда қалдық сұйықтықты жою шығындары төмендетілді.

Материалды пайдалану: Кесу шығыны <100μm/ кескіш, SiC шикізатын үнемдеу.

Кесу әсері:

1. Вафельдің сапасы: бетінде макроскопиялық жарықтар жоқ, аз микроскопиялық ақаулар (бақыланатын дислокацияның кеңеюі). Дөрекі жылтырату сілтемесіне тікелей кіре алады, процесс ағынын қысқартады.

2. Консистенциясы: партиядағы пластинаның қалыңдығының ауытқуы <±3%, автоматтандырылған өндіріске жарамды.

3. Қолданылуы: Өткізгіш/жартылай оқшауланған түрімен үйлесімді 4H/6H-SiC құймасын кесуді қолдау.

Техникалық сипаттамасы:

Техникалық сипаттама	Мәліметтер
Өлшемдері (L × W × H)	2500x2300x2500 немесе теңшеңіз
Өңдеу материалының өлшем диапазоны	4, 6, 8, 10, 12 дюймдік кремний карбиді
Бетінің кедір-бұдырлығы	Ra≤0,3u
Орташа кесу жылдамдығы	0,3 мм/мин
Салмағы	5,5 т
Кесу процесін орнату қадамдары	≤30 қадам
Жабдықтың шуы	≤80 дБ
Болат сымның керілуі	0~110Н(0,25 сымның кернеуі 45Н)
Болат сымның жылдамдығы	0~30м/с
Жалпы қуат	50кВт
Алмаз сымның диаметрі	≥0,18 мм
Тегістігін аяқтау	≤0,05мм
Кесу және үзу жылдамдығы	≤1% (адамдық себептерден, кремний материалынан, желіден, техникалық қызмет көрсетуден және басқа себептерден басқа)

XKH қызметтері:

XKH кремний карбидті алмас сым кесу машинасының бүкіл технологиялық қызметін қамтамасыз етеді, соның ішінде жабдықты таңдау (сым диаметрі/сым жылдамдығын сәйкестендіру), процесті әзірлеу (кесу параметрін оңтайландыру), шығын материалдарын жеткізу (алмас сым, бағыттаушы дөңгелек) және сатылымнан кейінгі қолдау (жабдыққа техникалық қызмет көрсету, кесу сапасын талдау), тұтынушыларға жоғары өнімділікке (> 95%), арзан SiC вафферін өндіруге көмектеседі. Ол сондай-ақ 4-8 апталық жеткізу уақытымен теңшелген жаңартуларды (мысалы, ультра жұқа кесу, автоматтандырылған тиеу және түсіру) ұсынады.