Маңызды өңдеу жүйелеріне арналған кремний карбиді SiC керамикалық шанышқы тұтқасы/тұтқасы

Қысқаша сипаттама:

TheКремний карбиді керамикалық шанышқы тұтқасы/қолозық өнеркәсіптік автоматтандыру, жартылай өткізгіштерді өңдеу және аса таза орталар үшін жасалған озық компонент. Оның ерекше айыр тәрізді архитектурасы және аса жалпақ керамикалық беті оны кремний пластиналарын, шыны панельдерді және оптикалық құрылғыларды қоса алғанда, нәзік негіздерді өңдеуге өте ыңғайлы етеді. Дәлдікпен жасалған және аса таза кремний карбидінен жасалған,Кремний карбиді керамикалық шанышқы тұтқасы/қолтеңдесі жоқ механикалық беріктікті, термиялық сенімділікті және ластануды бақылауды ұсынады.

Бізге электрондық пошта жіберіңіз

Ерекше өзгешеліктері

Егжей-тегжейлі диаграмма

Кремний карбидінің керамикалық шанышқысының қолын/қолын таныстыру

Кәдімгі металл немесе пластик қолдардан айырмашылығы,Кремний карбиді керамикалық шанышқы тұтқасы/қолэкстремалды термиялық, химиялық және вакуумдық жағдайларда тұрақты жұмыс істеуді қамтамасыз етеді. 1-сыныпты таза бөлмеде немесе жоғары вакуумды плазмалық камерада жұмыс істесеңіз де, бұл компонент құнды бөлшектердің қауіпсіз, тиімді және қалдықсыз тасымалдануын қамтамасыз етеді.

Роботталған қолдарға, пластиналарды өңдегіштерге және автоматтандырылған тасымалдау құралдарына арналған құрылыммен,Кремний карбиді керамикалық шанышқы тұтқасы/қолкез келген жоғары дәлдіктегі жүйе үшін ақылды жаңарту болып табылады.

Кремний карбидінен жасалған керамикалық шанышқы тұтқасын/қолын өндіру процесі

Жоғары өнімділікті жасауКремний карбиді керамикалық шанышқы тұтқасы/қолқайталанымдылықты, сенімділікті және ақаулардың өте төмен деңгейін қамтамасыз ететін қатаң бақыланатын керамикалық инженерия жұмыс процесін қамтиды.

1. Материалдық инженерия

Өндірісте тек аса жоғары тазалықтағы кремний карбиді ұнтағы қолданыладыКремний карбиді керамикалық шанышқы тұтқасы/қол, төмен иондық ластануды және жоғары көлемдік беріктікті қамтамасыз етеді. Оңтайлы тығыздауға қол жеткізу үшін ұнтақтар күйдіру қоспаларымен және байланыстырғыш заттармен дәл араластырылады.

2. Негізгі құрылымды қалыптастыру

Негізгі геометрияшанышқы қол/қолсуық изостатикалық престеу немесе инъекциялық қалыптау арқылы қалыптастырылады, бұл жоғары жасыл тығыздықты және біркелкі кернеу таралуын қамтамасыз етеді. U-тәрізді конфигурация қаттылық-салмақ қатынасы және динамикалық жауап үшін оңтайландырылған.

3. Күйдіру процесі

Жасыл денесіКремний карбиді керамикалық шанышқы тұтқасы/қолжоғары температуралы, инертті газ пешінде 2000°C-тан жоғары температурада күйдіріледі. Бұл қадам теориялық тығыздыққа жақын, нақты жылулық жүктемелер кезінде жарықшақтануға, майысу мен өлшемдік ауытқуларға төзімді компонентті шығарады.

4. Дәл тегістеу және өңдеу

Соңғы өлшемдерін қалыптастыру үшін озық CNC алмас құралдары қолданыладыКремний карбиді керамикалық шанышқы тұтқасы/қолТығыз төзімділік (±0,01 мм) және айна деңгейіндегі беткі әрлеу бөлшектердің бөлінуін және механикалық кернеуді азайтады.

5. Беттерді тазалау және кондиционерлеу

Соңғы бетті өңдеуге химиялық жылтырату және ультрадыбыстық тазалау кіредішанышқы қол/қоласа таза жүйелерге тікелей интеграциялау үшін. Қосымша жабындар (CVD-SiC, шағылыстырмайтын қабаттар) да қолжетімді.

Бұл мұқият процесс әрқайсысына кепілдік бередіКремний карбиді керамикалық шанышқы тұтқасы/қолSEMI және ISO таза бөлме талаптарын қоса алғанда, ең қатаң өнеркәсіптік стандарттарға сәйкес келеді.

Кремний карбидінің керамикалық шанышқысының/қолының параметрі

Тауар	Сынақ шарттары	Деректер	Бірлік
Кремний карбидінің құрамы	/	>99,5	%
Орташа дән мөлшері	/	4-10	микрон
Тығыздық	/	>3.14	г/см3
Көрінетін кеуектілік	/	<0,5	Көлем %
Виккерс қаттылығы	HV0.5	2800	Кг/мм²
Жарылу модулі (3 ұпай)	Сынақ жолағының өлшемі: 3 x 4 x 40 мм	450	МПа
Сығымдау күші	20°C	3900	МПа
Серпімділік модулі	20°C	420	GPA
Сыну беріктігі	/	3.5	МПа/м^1/2
Жылу өткізгіштігі	20°C	160	Вт/(мК)
Электрлік кедергі	20°C	10⁶-10⁸	Ωсм
Жылулық кеңею коэффициенті	20°C-800°C	4.3	K^-110^-6
Максималды қолдану температурасы	Оксидтік атмосфера	1600	°C
Максималды қолдану температурасы	Инертті атмосфера	1950 ж.	°C

Кремний карбидінің керамикалық шанышқысының/қолының қолданылуы

TheКремний карбиді керамикалық шанышқы тұтқасы/қолжоғары дәлдіктегі, жоғары қауіпті және ластануға сезімтал қолданбаларда қолдануға арналған. Ол маңызды компоненттерді сенімді түрде өңдеуге, тасымалдауға немесе қолдауға мүмкіндік береді, бұл ешқандай бұзушылықсыз.

➤ Жартылай өткізгіштер өнеркәсібі

Алдыңғы пластиналарды беру және FOUP станцияларында роботтық шанышқы ретінде қолданылады.
Плазмалық өңдеу және PVD/CVD процестеріне арналған вакуумдық камераларға біріктірілген.
Метрологияда және пластиналарды туралау құралдарында тасымалдаушы иін ретінде қызмет етеді.

TheКремний карбиді керамикалық шанышқы тұтқасы/қолэлектростатикалық разряд (ЭЗР) қаупін жояды, өлшемдік дәлдікті қолдайды және плазмалық коррозияға төзімді.

➤ Фотоника және оптика

Өндіріс немесе тексеру кезінде нәзік линзаларды, лазерлік кристалдарды және сенсорларды қолдайды.
Оның жоғары қаттылығы дірілді болдырмайды, ал керамикалық корпус оптикалық беттердің ластануына төзімді.

➤ Дисплей және панель өндірісі

Тасымалдау немесе тексеру кезінде жұқа шыны, OLED модульдері және LCD негіздерін өңдейді.
Жазық және химиялық инерттіКремний карбиді керамикалық шанышқы тұтқасы/қолсызаттардан немесе химиялық өңдеуден қорғайды.

➤ Аэроғарыштық және ғылыми құралдар

Спутниктік оптика құрастыруында, вакуумдық робототехникада және синхротронды сәулелік желілерді орнатуда қолданылады.
Ғарыштық деңгейдегі таза бөлмелерде және радиацияға бейім орталарда мінсіз жұмыс істейді.

Әрбір салада,Кремний карбиді керамикалық шанышқы тұтқасы/қолжүйенің тиімділігін арттырады, бөлшектердің істен шығуын азайтады және тоқтап қалу уақытын азайтады.

Жиі қойылатын сұрақтар – Кремний карбидінің керамикалық шанышқысының қолы/тұтқасы туралы жиі қойылатын сұрақтар

1-сұрақ: Кремний карбидінің керамикалық шанышқы тұтқасын/қолын металл баламаларынан не жақсы етеді?

TheКремний карбиді керамикалық шанышқы тұтқасы/қолметалдарға қарағанда жоғары қаттылыққа, төмен тығыздыққа, жақсы химиялық төзімділікке және жылу кеңеюіне айтарлықтай аз ие. Сондай-ақ, ол таза бөлмеге үйлесімді және коррозиядан немесе бөлшектердің пайда болуынан таза.

2-сұрақ: Кремний карбидті керамикалық шанышқы тұтқасы/тұтқасы үшін арнайы өлшемдерді сұрай аламын ба?

Иә. Біз шанышқының енін, қалыңдығын, бекіту тесіктерін, ойықтарын және беткі өңдеуді қоса алғанда, толық теңшеуді ұсынамыз. 6", 8" немесе 12" пластиналар үшін, сіздіңшанышқы қол/қолсәйкестендіру үшін бейімделуі мүмкін.

С3: Кремний карбидті керамикалық шанышқы тұтқасы/тұтқасы плазмалық немесе вакуумдық жағдайда қанша уақытқа шыдайды?

Жоғары тығыздықтағы SiC материалы мен инертті табиғатының арқасында,шанышқы қол/қолмыңдаған процесс циклдерінен кейін де функционалды болып қалады. Агрессивті плазмалық немесе вакуумдық жылу жүктемелері кезінде минималды тозуды көрсетеді.

С4: Өнім ISO 1 класындағы таза бөлмелерге жарамды ма?

Әрине.Кремний карбиді керамикалық шанышқы тұтқасы/қолбөлшектер деңгейі ISO 1 класының талаптарынан әлдеқайда төмен, сертификатталған таза бөлмелерде өндіріледі және қапталады.

5-сұрақ: Бұл шанышқы тұтқасы/қолының максималды жұмыс температурасы қандай?

TheКремний карбиді керамикалық шанышқы тұтқасы/қол1500°C дейін үздіксіз жұмыс істей алады, бұл оны жоғары температуралы өңдеу камераларында және термиялық вакуумдық жүйелерде тікелей пайдалануға жарамды етеді.

Бұл жиі қойылатын сұрақтар инженерлерден, зертхана менеджерлерінен және жүйелік интеграторлардан туындайтын ең көп таралған техникалық мәселелерді көрсетеді.Кремний карбиді керамикалық шанышқы тұтқасы/қол.

Біз туралы

XKH арнайы оптикалық шыны мен жаңа кристалды материалдарды жоғары технологиялық әзірлеуге, өндіруге және сатуға маманданған. Біздің өнімдеріміз оптикалық электроникаға, тұтынушылық электроникаға және әскери салаға қызмет көрсетеді. Біз сапфир оптикалық компоненттерін, ұялы телефон линзаларының қақпақтарын, керамиканы, LT, кремний карбиді SIC, кварц және жартылай өткізгіш кристалды пластиналарды ұсынамыз. Білікті тәжірибеміз бен заманауи жабдықтарымызбен біз стандартты емес өнімді өңдеуде табысқа жетеміз, жетекші оптоэлектронды материалдардың жоғары технологиялық кәсіпорыны болуға ұмтыламыз.