Критикалық өңдеу жүйелеріне арналған кремний карбиді SiC керамикалық шанышқы қол/қол

Силикон карбиді SiC керамикалық шанышқы қолы/қолы сыни өңдеу жүйелеріне арналған Таңдаулы сурет

Қысқаша сипаттама:

TheКремний карбиді керамикалық шанышқы қол/қолозық өнеркәсіптік автоматтандыру, жартылай өткізгіштерді өңдеу және өте таза орталар үшін әзірленген озық компонент болып табылады. Оның ерекше шанышқы архитектурасы және ультра тегіс керамикалық беті оны кремний пластиналары, шыны панельдер және оптикалық құрылғыларды қоса алғанда, нәзік субстраттарды өңдеуге өте ыңғайлы етеді. Дәлдікпен жасалған және ультра таза кремний карбидінен жасалғанКремний карбиді керамикалық шанышқы қол/қолтеңдесі жоқ механикалық беріктікті, термиялық сенімділікті және ластануды бақылауды ұсынады.

Бізге электрондық поштаны жіберіңіз

Ерекше өзгешеліктері

Егжей-тегжейлі диаграмма

Кремний карбиді керамикалық шанышқы қолын/қолын енгізу

Кәдімгі металл немесе пластикалық қарулардан айырмашылығыКремний карбиді керамикалық шанышқы қол/қолэкстремалды термиялық, химиялық және вакуумдық жағдайларда тұрақты өнімділікті қамтамасыз етеді. 1-сыныпты таза бөлмеде немесе жоғары вакуумды плазмалық камерада жұмыс істесе де, бұл компонент құнды бөлшектердің қауіпсіз, тиімді және қалдықсыз тасымалдануын қамтамасыз етеді.

Роботтық қаруларға, пластинаны өңдеуге және автоматтандырылған тасымалдау құралдарына арналған құрылымменКремний карбиді керамикалық шанышқы қол/қолкез келген жоғары дәлдіктегі жүйе үшін смарт жаңарту болып табылады.

Кремний карбиді керамикалық шанышқы қолын/қолын өндіру процесі

Жоғары өнімділікті жасауКремний карбиді керамикалық шанышқы қол/қолқайталанымдылықты, сенімділікті және өте төмен ақаулық көрсеткіштерін қамтамасыз ететін қатаң бақыланатын керамикалық инженерлік жұмыс процесін қамтиды.

1. Материалдық инженерия

Өндірісте тек өте жоғары таза кремний карбиді ұнтағы қолданыладыКремний карбиді керамикалық шанышқы қол/қол, төмен иондық ластануды және жоғары көлемді күшті қамтамасыз ету. Оңтайлы тығыздауға қол жеткізу үшін ұнтақтар агломерациялық қоспалармен және байланыстырғыштармен дәл араласады.

2. Базалық құрылымды қалыптастыру

Негізгі геометрияшанышқы қол/қолжоғары жасыл тығыздықты және кернеудің біркелкі таралуын қамтамасыз ететін суық изостатикалық престеу немесе инъекциялық қалыптау арқылы қалыптасады. U-пішінді конфигурациясы қаттылық-салмақ қатынасы және динамикалық жауап үшін оңтайландырылған.

3. Агломерация процесі

Жасыл денесіКремний карбиді керамикалық шанышқы қол/қол2000°С жоғары температурада инертті газ пешінде агломерацияланады. Бұл қадам теориялық тығыздықты қамтамасыз етеді, бұл нақты әлемдік термиялық жүктемелер кезінде крекингке, деформацияға және өлшемдік ауытқуларға қарсы тұратын құрамдас шығарады.

4. Дәл тегістеу және өңдеу

Жетілдірілген CNC гауһар құралы соңғы өлшемдерін пішіндеу үшін қолданыладыКремний карбиді керамикалық шанышқы қол/қол. Тығыз төзімділік (±0,01 мм) және айна деңгейіндегі бетті өңдеу бөлшектердің бөлінуін және механикалық кернеуді азайтады.

5. Беткі қабаттарды кондиционерлеу және тазалау

Соңғы бетті өңдеуге химиялық жылтырату және ультрадыбыстық тазалау кіредішанышқы қол/қолультра таза жүйелерде тікелей біріктіру үшін. Қосымша жабындар (CVD-SiC, шағылысқа қарсы қабаттар) да бар.

Бұл мұқият процесс әрқайсысына кепілдік бередіКремний карбиді керамикалық шанышқы қол/қолSEMI және ISO таза бөлме талаптарын қоса алғанда, ең қатаң өнеркәсіптік стандарттарға сәйкес келеді.

Кремний карбиді керамикалық шанышқы қолының/қолының параметрі

Элемент	Сынақ шарттары	Деректер	Бірлік
Кремний карбиді мазмұны	/	>99.5	%
Дәннің орташа мөлшері	/	4-10	микрон
Тығыздығы	/	>3.14	г/см3
Көрінетін кеуектілік	/	<0,5	Көлем %
Викерс қаттылығы	HV0.5	2800	Кг/мм2
Жарылу модулі (3 ұпай)	Сынақ жолағы өлшемі: 3 x 4 x 40 мм	450	МПа
Қысу күші	20°C	3900	МПа
Серпімділік модулі	20°C	420	GPa
Сыну беріктігі	/	3.5	МПа/м^1/2
Жылу өткізгіштік	20°C	160	Вт/(мК)
Электр кедергісі	20°C	10⁶-10⁸	Ωсм
Жылулық кеңею коэффициенті	20°C-800°C	4.3	K^-110^-6
Макс. Қолдану температурасы	Оксидті атмосфера	1600	°C
Макс. Қолдану температурасы	Инертті атмосфера	1950	°C

Кремний карбиді керамикалық шанышқы қолын/қолын қолдану

TheКремний карбиді керамикалық шанышқы қол/қолжоғары дәлдіктегі, жоғары қауіпті және ластануға сезімтал қолданбаларда пайдалануға арналған. Ол нөлдік ымырасыз маңызды компоненттерді сенімді өңдеуге, тасымалдауға немесе қолдауға мүмкіндік береді.

➤ Жартылай өткізгіштер өнеркәсібі

Алдыңғы жағындағы вафельді тасымалдауда және FOUP станцияларында роботтық шанышқы ретінде пайдаланылады.
Плазмалық өрнектеу және PVD/CVD процестері үшін вакуумдық камераларға біріктірілген.
Метрологияда және вафельді туралау құралдарында тасымалдаушы тірек ретінде қызмет етеді.

TheКремний карбиді керамикалық шанышқы қол/қолэлектростатикалық разряд (ESD) қаупін жояды, өлшемдік дәлдікті қолдайды және плазмалық коррозияға қарсы тұрады.

➤ Фотоника және оптика

Өндіріс немесе тексеру кезінде нәзік линзаларды, лазерлік кристалдарды және сенсорларды қолдайды.
Оның жоғары қаттылығы дірілді болдырмайды, ал керамикалық корпус оптикалық беттердің ластануына қарсы тұрады.

➤ Дисплей және панель өндіру

Тасымалдау немесе тексеру кезінде жұқа әйнекті, OLED модульдерін және СКД субстраттарын өңдейді.
Тегіс және химиялық инерттіКремний карбиді керамикалық шанышқы қол/қолсызаттардан немесе химиялық өңдеуден қорғайды.

➤ Аэроғарыштық және ғылыми аспаптар

Спутниктік оптиканы құрастыруда, вакуумдық робототехникада және синхротрондық сәулелік сызықты орнатуда қолданылады.
Ғарыштық таза бөлмелерде және радиацияға бейім орталарда мінсіз жұмыс істейді.

Әрбір салада,Кремний карбиді керамикалық шанышқы қол/қолжүйенің тиімділігін арттырады, бөліктердің істен шығуын азайтады және тоқтау уақытын азайтады.

Жиі қойылатын сұрақтар – кремний карбиді керамикалық шанышқы қолы/қолы туралы жиі қойылатын сұрақтар

1-сұрақ: Кремний карбиді керамикалық шанышқы қолын/қолын металл баламалардан не жақсы етеді?

TheКремний карбиді керамикалық шанышқы қол/қолметалдарға қарағанда жоғары қаттылыққа, төмен тығыздыққа, жақсы химиялық төзімділікке және айтарлықтай аз термиялық кеңеюге ие. Ол сондай-ақ таза бөлмеге сәйкес келеді және коррозия немесе бөлшектердің пайда болуы жоқ.

2-сұрақ: Кремний карбиді керамикалық шанышқы қолына/қолыма арнаулы өлшемдерді сұрай аламын ба?

Иә. Біз шанышқылардың енін, қалыңдығын, бекіту саңылауларын, кесулерді және бетті өңдеуді қоса, толық теңшеуді ұсынамыз. 6", 8" немесе 12" пластиналар үшін болсын, сіздіңшанышқы қол/қолсәйкес келтіруге болады.

3-сұрақ: Кремний карбиді керамикалық шанышқы қолы/қолы плазма немесе вакуумда қанша уақыт қызмет етеді?

Жоғары тығыздықтағы SiC материалы мен инертті табиғаттың арқасындашанышқы қол/қолмыңдаған процесс циклдарынан кейін де функционалды болып қалады. Ол агрессивті плазма немесе вакуумдық жылу жүктемелері кезінде ең аз тозуды көрсетеді.

4-сұрақ: Өнім ISO 1-сыныптағы таза бөлмелерге жарамды ма?

Мүлдем. TheКремний карбиді керамикалық шанышқы қол/қолбөлшектердің деңгейі ISO 1-сынып талаптарынан әлдеқайда төмен болатын сертификатталған таза бөлмелерде өндіріледі және оралады.

5-сұрақ: Бұл шанышқы қолы/қолы үшін максималды жұмыс температурасы қандай?

TheКремний карбиді керамикалық шанышқы қол/қол1500°C дейін үздіксіз жұмыс істей алады, бұл оны жоғары температуралы технологиялық камераларда және термиялық вакуумдық жүйелерде тікелей пайдалануға жарамды етеді.

Бұл жиі қойылатын сұрақтар инженерлердің, зертхана менеджерлерінің және жүйелік интеграторлардың жиі кездесетін техникалық мәселелерін көрсетедіКремний карбиді керамикалық шанышқы қол/қол.

Біз туралы

XKH арнайы оптикалық шыны мен жаңа кристалды материалдарды жоғары технологиялық әзірлеуге, өндіруге және сатуға маманданған. Біздің өнімдер оптикалық электроникаға, тұрмыстық электроникаға және әскерге қызмет етеді. Біз Sapphire оптикалық компоненттерін, ұялы телефон линзаларының қақпақтарын, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, кварц және жартылай өткізгіш кристалды пластиналарды ұсынамыз. Білікті тәжірибе мен озық жабдықтармен біз стандартты емес өнімді өңдеуде озық боламыз, оптоэлектрондық материалдардың жоғары технологиялық жетекші кәсіпорны болуға ұмтыламыз.