Кремний карбиді (SiC) пластиналы қайық

Қысқаша сипаттама:

Кремний карбиді (SiC) пластиналы қайық - эпитаксия, тотығу, диффузия және күйдіру сияқты маңызды жоғары температуралық процестер кезінде пластиналарды ұстап тұруға және тасымалдауға арналған жоғары тазалықтағы SiC материалынан жасалған жартылай өткізгіш процесс тасымалдаушысы.

Бізге электрондық пошта жіберіңіз

Ерекше өзгешеліктері

Егжей-тегжейлі диаграмма

Кварц әйнегіне шолу

Қуатты жартылай өткізгіштер мен кең жолақты құрылғылардың қарқынды дамуымен дәстүрлі кварц қайықтары жоғары температурадағы деформация, бөлшектердің қатты ластануы және қысқа қызмет ету мерзімі сияқты шектеулерге тап болады. Жоғары термиялық тұрақтылыққа, төмен ластануға және ұзақ қызмет ету мерзіміне ие SiC пластиналы қайықтары кварц қайықтарын барған сайын алмастырып, SiC құрылғыларын өндіруде таңдаулы таңдауға айналуда.

Негізгі мүмкіндіктер

1. Материалдық артықшылықтар

Жоғары тазалықтағы SiC-ден жасалғанжоғары қаттылық және беріктік.
Балқу температурасы 2700°C-тан жоғары, кварцқа қарағанда әлдеқайда жоғары, бұл экстремалды ортада ұзақ мерзімді тұрақтылықты қамтамасыз етеді.

2. Жылулық қасиеттер

Жылдам және біркелкі жылу беру үшін жоғары жылу өткізгіштік, пластина кернеуін азайтады.
Термиялық кеңею коэффициенті (ТКК) SiC негіздеріне өте ұқсас, бұл пластинаның майысуын және жарылуын азайтады.

3. Химиялық тұрақтылық

Жоғары температурада және әртүрлі атмосфераларда (H₂, N₂, Ar, NH₃ және т.б.) тұрақты.
Тотығуға төзімділігі жоғары, ыдырау мен бөлшектердің пайда болуына жол бермейді.

4. Процестің өнімділігі

Тегіс және тығыз бет бөлшектердің төгілуін және ластануды азайтады.
Ұзақ мерзімді пайдаланудан кейін өлшемдік тұрақтылықты және жүк көтергіштігін сақтайды.

5. Шығындардың тиімділігі

Кварц қайықтарына қарағанда қызмет ету мерзімі 3-5 есе ұзақ.
Техникалық қызмет көрсету жиілігінің төмендеуі, тоқтап қалу уақытын және ауыстыру шығындарын азайтады.

Қолданбалар

SiC эпитаксиясыЖоғары температуралы эпитаксиалды өсу кезінде 4 дюймдік, 6 дюймдік және 8 дюймдік SiC субстраттарын қолдау.
Қуат құрылғыларын жасау: SiC MOSFET, Schottky тосқауыл диодтары (SBD), IGBT және басқа құрылғылар үшін өте қолайлы.
Термиялық өңдеуКүйдіру, нитрлеу және карбондау процестері.
Тотығу және диффузияЖоғары температуралы тотығу және диффузияға арналған тұрақты пластина тірек платформасы.

Техникалық сипаттамалар

Тауар	Техникалық сипаттама
Материал	Жоғары тазалықтағы кремний карбиді (SiC)
Вафли өлшемі	4 дюймдік / 6 дюймдік / 8 дюймдік (теңшеуге болады)
Максималды жұмыс температурасы.	≤ 1800°C
Термиялық кеңею CTE	4,2 × 10⁻⁶ /K (SiC субстратына жақын)
Жылу өткізгіштігі	120–200 Вт/м·К
Беттік кедір-бұдырлық	Ra < 0,2 мкм
Параллелизм	±0,1 мм
Қызмет ету мерзімі	Кварц қайықтарынан ≥ 3 есе ұзын

Салыстыру: Кварц қайығы және SiC қайығы

Өлшемі	Кварц қайығы	SiC қайығы
Температураға төзімділік	≤ 1200°C, жоғары температурада деформацияланады.	≤ 1800°C, термиялық тұрақты
CTE-мен SiC сәйкестігі	Үлкен сәйкессіздік, пластина кернеуінің қаупі	Жақын сәйкестік, пластинаның жарылуын азайтады
Бөлшектердің ластануы	Жоғары, қоспалар түзеді	Төмен, тегіс және тығыз беті
Қызмет ету мерзімі	Қысқа мерзімді, жиі ауыстыру	Ұзақ, 3-5 есе ұзақ өмір сүру
Қолайлы процесс	Дәстүрлі Si эпитаксиясы	SiC эпитаксисі және қуат құрылғылары үшін оңтайландырылған

Жиі қойылатын сұрақтар – Кремний карбиді (SiC) пластиналы қайықтар

1. SiC пластиналы қайық дегеніміз не?

SiC пластиналы қайық - жоғары тазалықтағы кремний карбидінен жасалған жартылай өткізгіш процесс тасымалдаушысы. Ол эпитаксия, тотығу, диффузия және күйдіру сияқты жоғары температуралы процестер кезінде пластиналарды ұстап тұру және тасымалдау үшін қолданылады. Дәстүрлі кварц қайықтарымен салыстырғанда, SiC пластиналы қайықтары жоғары термиялық тұрақтылықты, төмен ластануды және ұзақ қызмет ету мерзімін ұсынады.

2. Неліктен кварц қайықтарына қарағанда SiC пластиналы қайықтарды таңдау керек?

Жоғары температураға төзімділікКварцпен (≤1200°C) салыстырғанда 1800°C дейін тұрақты.
CTE-ге жақсырақ сәйкестікSiC негіздеріне жақын, пластина кернеуі мен жарықшақтануды азайтады.
Төменгі бөлшектердің пайда болуыТегіс, тығыз бет ластануды азайтады.
Ұзақ қызмет ету мерзімікварц қайықтарына қарағанда 3-5 есе ұзын, бұл иелену құнын төмендетеді.

3. SiC пластиналы қайықтары қандай пластина өлшемдерін көтере алады?

Біз стандартты дизайндарды ұсынамыз4 дюймдік, 6 дюймдік және 8 дюймдіктұтынушылардың қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін толық теңшелетін вафлилер.

4. SiC пластиналы қайықтары қандай процестерде жиі қолданылады?

SiC эпитаксиалды өсуі
Қуатты жартылай өткізгіш құрылғылар өндірісі (SiC MOSFET, SBD, IGBT)
Жоғары температурада күйдіру, нитрлеу және карбонизациялау
Тотығу және диффузия процестері

Біз туралы

XKH арнайы оптикалық шыны мен жаңа кристалды материалдарды жоғары технологиялық әзірлеуге, өндіруге және сатуға маманданған. Біздің өнімдеріміз оптикалық электроникаға, тұтынушылық электроникаға және әскери салаға қызмет көрсетеді. Біз сапфир оптикалық компоненттерін, ұялы телефон линзаларының қақпақтарын, керамиканы, LT, кремний карбиді SIC, кварц және жартылай өткізгіш кристалды пластиналарды ұсынамыз. Білікті тәжірибеміз бен заманауи жабдықтарымызбен біз стандартты емес өнімді өңдеуде табысқа жетеміз, жетекші оптоэлектронды материалдардың жоғары технологиялық кәсіпорыны болуға ұмтыламыз.