Титан қоспасы бар сапфир кристалды лазерлік таяқшаларды беттік өңдеу әдісі

Титан асыл тастар кристалдары Ti:Al2O3 (қосылу концентрациясы 0,35 масса % Ti2O3), олардың кристалдық дайындамалары осы өнертабыстағы титан асыл тастар кристалды лазер таяқшасының бетін өңдеу әдісінің технологиялық сызбасына сәйкес келеді. 1-суретте көрсетілген. өнертабыстар келесідей:

<1> Бағдар бойынша кесу: титан асыл тастар кристалы алдымен бағдарланады, содан кейін аяқталған лазер таяқшасының өлшеміне сәйкес шамамен 0,4-0,6 мм өңдеу мүмкіндігін қалдыру арқылы тетрагональды баған тәрізді дайындамаға кесіледі.

<2>Бағананы өрескел және жұқа ұнтақтау: баған дайындамасы ±0,01 мм конустық және дөңгелектен тыс қателікпен өрескел тегістеу машинасында 120~180# кремний карбиді немесе бор карбиді абразивтері бар тетрагональды немесе цилиндрлік көлденең қимаға ұнтақталған.

<3> Соңындағы бетін өңдеу: титан асыл тастар лазер жолағы екі шеткі бетін W40, W20, W10 бор карбидін болат дискідегі ұнтақтау бетімен дәйекті өңдеу. Тегістеу процесінде соңғы беттің вертикальдылығын өлшеуге назар аудару керек.

<4> Химиялық-механикалық жылтырату: химиялық-механикалық жылтырату - бұл алдын ала дайындалған химиялық өңдеу ерітіндісінің тамшыларымен жылтырату алаңындағы кристалдарды жылтырату процесі. Салыстырмалы қозғалыс пен үйкеліске арналған жылтырату дайындамасы мен жылтырату жастықшасы, ал зерттеу кезінде құрамында химиялық өңдеу агенті (жылтырату сұйықтығы деп аталады) көмегімен жылтыратуды аяқтау үшін.

<5> Қышқылмен өңдеу: жоғарыда сипатталғандай жылтыратылғаннан кейін титан асыл тастар шыбықтар 100-400°C температурада H2SO4:H3PO4 = 3:1 (көлем/көлем) қоспасына салынып, 5-30 минут бойы қышқылмен өңделеді. Мақсаты - механикалық астыңғы беттік зақымдану нәтижесінде пайда болатын лазерлік жолақтың бетіндегі жылтырату процесін жою және таза беттің тегіс және тегіс, торлы тұтастығын атомдық деңгейін алу үшін әртүрлі дақтарды кетіру.

<6> БЕТІН ЖЫЛМЫҚ ӨҢДЕУ: Алдыңғы процеске байланысты пайда болған беттік кернеулер мен сызаттарды одан әрі жою және атом деңгейінде тегістелген бетті алу үшін, қышқылмен өңдеуден кейін титан асыл тастар таяқшасы одан кейін 5 минут бойы ионсыздандырылған сумен шайылды, ал титан асыл тас өзегі ± 0.0 ° C-ден 3 ° C-қа дейінгі тұрақты температурада орналастырылды. 3 сағат сутегі атмосферасында, және беті термиялық өңдеуге ұшырайды.