TGV шыны астарлары 12 дюймдік вафли Шыны тескіш
Шыны астары термиялық қасиеттері, физикалық тұрақтылығы бойынша жақсырақ жұмыс істейді және ыстыққа төзімді және жоғары температураға байланысты деформация немесе деформация мәселелеріне бейім емес;
Сонымен қатар, шыны өзегінің бірегей электрлік қасиеттері диэлектрлік шығындарды азайтуға мүмкіндік береді, бұл анық сигнал мен қуат беруді қамтамасыз етеді. Нәтижесінде сигнал беру кезінде қуат жоғалуы азаяды және чиптің жалпы тиімділігі табиғи түрде артады. Шыны өзек негізінің қалыңдығын ABF пластмассасымен салыстырғанда шамамен екі есе азайтуға болады, ал жұқарту сигнал беру жылдамдығын және қуат тиімділігін жақсартады.
TGV саңылауларын қалыптастыру технологиясы:
Импульсті лазер арқылы үздіксіз денатурация аймағын индукциялау үшін лазерлік индукциялық қыштау әдісі қолданылады, содан кейін лазермен өңделген шыны ою үшін фторлы қышқыл ерітіндісіне салынады. Денатурация аймағының шынысының фторлы қышқылдағы қышқылдану жылдамдығы денатуратылмаған шыныға қарағанда саңылаулар арқылы пайда болу жылдамдығы.
TGV толтыру:
Біріншіден, TGV соқыр тесіктер жасалады. Екіншіден, тұқым қабаты физикалық бу тұндыру (PVD) арқылы TGV соқыр тесігінің ішіне қойылды. Үшіншіден, төменнен жоғарыға электропландау TGV-ны біркелкі толтыруға қол жеткізеді; Соңында, уақытша байланыстыру, кері тегістеу, химиялық механикалық жылтырату (CMP) мыс экспозициясы, ажырату, TGV металл толтырылған тасымалдау тақтасын қалыптастыру.