Ti/Cu металлмен қапталған кремний пластинасы (титан/мыс)

Қысқаша сипаттама:

БіздіңTi/Cu металлмен қапталған кремний пластиналарыжоғары сапалы кремний (немесе қосымша шыны/кварц) негізімен қапталғантитан адгезия қабатыжәнемыс өткізгіш қабатыпайдаланустандартты магнетронды тозаңдатуTi аралық қабаты адгезияны және процестің тұрақтылығын айтарлықтай жақсартады, ал Cu үстіңгі қабаты электрлік интерфейс және кейінгі микроөндіріс үшін өте қолайлы төмен кедергілі, біркелкі бетті ұсынады.

Бізге электрондық пошта жіберіңіз

Ерекше өзгешеліктері

Егжей-тегжейлі диаграмма

Ti/Cu металлмен қапталған кремний пластинасы (титан/мыс)6

Шолу

Зерттеу және тәжірибелік-конструкторлық жұмыстар үшін жасалған бұл пластиналар әртүрлі өлшемдерде және кедергі диапазондарында қолжетімді, қалыңдығы, негіз түрі және жабын конфигурациясы үшін икемді теңшелімдер бар.

Негізгі мүмкіндіктер

Мықты адгезия және сенімділікTi байланыс қабаты Si/SiO₂-ға пленканың жабысуын жақсартады және өңдеу беріктігін жақсартады
Жоғары өткізгіштік бетіCu жабыны контактілер мен сынақ құрылымдары үшін тамаша электрлік өнімділікті қамтамасыз етеді
Кең теңшеу ауқымы: пластина өлшемі, кедергісі, бағыты, негіз қалыңдығы және пленка қалыңдығы сұраныс бойынша қолжетімді
Процесске дайын субстраттар: кең таралған зертханалық және фабрикалық жұмыс процестерімен үйлесімді (литография, гальваникалық қаптауды құрастыру, метрология және т.б.)
Материалдық сериялар қолжетімдіTi/Cu-дан басқа, біз Au, Pt, Al, Ni, Ag металлмен қапталған пластиналарды да ұсынамыз

Типтік құрылым және тұндыру

Стек: Негіз + Ti адгезия қабаты + Cu жабын қабаты
Стандартты процессМагнетронды шашырату
Қосымша процестерТермиялық булану / Гальваникалық қаптау (қалың Cu талаптары үшін)

Кварц шынысының механикалық қасиеттері

Тауар	Опциялар
Вафли өлшемі	2", 4", 6", 8"; 10×10 мм; тапсырыс бойынша турауға болатын өлшемдер
Өткізгіштік түрі	P-типті / N-типті / Ішкі жоғары кедергілі (Un)
Бағыт	<100>, <111> және т.б.
Қарсылық	<0,0015 Ом·см; 1–10 Ом·см; >1000–10000 Ом·см
Қалыңдығы (мкм)	2 дюйм: 200/280/400/500; 4 дюйм: 450/500/525; 6 дюйм: 625/650/675; 8 дюйм: 650/700/725/775; тапсырыс бойынша жасалған
Субстрат материалдары	Кремний; қосымша кварц, BF33 әйнегі және т.б.
Пленка қалыңдығы	10 нм / 50 нм / 100 нм / 150 нм / 300 нм / 500 нм / 1 мкм (теңшеуге болады)
Металл пленка нұсқалары	Ti/Cu; сонымен қатар Au, Pt, Al, Ni, Ag қол жетімді

Ti/Cu металлмен қапталған кремний пластинасы (титан/мыс)4

Қолданбалар

Омдық байланыс және өткізгіш субстраттарқұрылғыларды зерттеу және тәжірибелік-конструкторлық жұмыстар және электрлік сынақтар үшін
Гальваникалық қаптауға арналған тұқым қабаттары(RDL, MEMS құрылымдары, қалың Cu жиналуы)
Соль-гель және наноматериалдардың өсу субстраттарынано және жұқа қабықшалы зерттеулер үшін
Микроскопия және беттік метрология(SEM/AFM/SPM үлгісін дайындау және өлшеу)
Биологиялық/химиялық беттермысалы, жасуша дақылдарының платформалары, ақуыз/ДНҚ микрочиптері және рефлектометриялық субстраттар

Жиі қойылатын сұрақтар (Ti/Cu металл қапталған кремний пластиналары)

1-сұрақ: Неліктен Cu жабынының астында Ti қабаты қолданылады?
A: Титан келесідей жұмыс істейдіадгезия (байланыстыру) қабаты, мыстың негізге бекітілуін жақсарту және беткі қабаттың тұрақтылығын арттыру, бұл өңдеу және өңдеу кезінде қабыршақтануды немесе қабыршақтануды азайтуға көмектеседі.

2-сұрақ: Ti/Cu қалыңдығының типтік конфигурациясы қандай?
A: Жалпы комбинацияларға мыналар жатадыTi: ондаған нм (мысалы, 10–50 нм)жәнеCu: 50–300 нмшашыратылған пленкалар үшін. Қалың Cu қабаттары (мкм-деңгейі) көбінесе келесі жолмен қол жеткізіледішашыратылған Cu тұқым қабатына электрохимиялық қаптау, қолданбаңызға байланысты.

3-сұрақ: Вафлидің екі жағын да жабыстырып бере аласыз ба?
Ж: Иә.Бір жақты немесе екі жақты жабынсұраныс бойынша қолжетімді. Тапсырыс берген кезде талабыңызды көрсетіңіз.

Біз туралы

XKH арнайы оптикалық шыны мен жаңа кристалды материалдарды жоғары технологиялық әзірлеуге, өндіруге және сатуға маманданған. Біздің өнімдеріміз оптикалық электроникаға, тұтынушылық электроникаға және әскери салаға қызмет көрсетеді. Біз сапфир оптикалық компоненттерін, ұялы телефон линзаларының қақпақтарын, керамиканы, LT, кремний карбиді SIC, кварц және жартылай өткізгіш кристалды пластиналарды ұсынамыз. Білікті тәжірибеміз бен заманауи жабдықтарымызбен біз стандартты емес өнімді өңдеуде табысқа жетеміз, жетекші оптоэлектронды материалдардың жоғары технологиялық кәсіпорыны болуға ұмтыламыз.