Ультра дәлдіктегі SiC ауа мойынтіректер сатысы

Қысқаша сипаттама:

Жартылай өткізгіштер өнеркәсібінің үздіксіз дамуымен өңдеу және тексеру жабдықтары үнемі жоғары өнімділікті талап етеді. Қозғалысты басқару және нанометр деңгейіндегі позициялау саласындағы кең тәжірибеге сүйене отырып, біз жазық H-типті қос осьті ультра дәлдіктегі ауа өткізгіш сатысын жасап шығардық.

Бізге электрондық пошта жіберіңіз

Ерекше өзгешеліктері

Егжей-тегжейлі диаграмма

Шолу

Шекті элементтерге оңтайландырылған кремний карбиді (SiC) керамикалық құрылымымен және компенсацияланған ауа өткізгіш технологиясымен жасалған бұл сахна керемет дәлдікті, қаттылықты және динамикалық реакцияны қамтамасыз етеді. Ол мыналарға өте қолайлы:

Жартылай өткізгіштерді өңдеу және тексеру
Микро/нано өндірісі және метрология
Нанометрлік масштабтағы кесу және жылтырату
Жоғары жылдамдықты дәлдікпен сканерлеу

Негізгі мүмкіндіктер

SiC ауа өткізгіш бағыттаушы жолөте жоғары қаттылық пен дәлдік үшін
Жоғары динамикажылдамдығы 1 м/с дейін, үдеу 4 г дейін, тез тұнуы
Қос жетекті Y-осьті гантрижоғары жүк көтергіштігі мен тұрақтылығын қамтамасыз етеді
Кодер параметрлеріоптикалық тор немесе лазерлік интерферометр
Орналастыру дәлдігі: ±0,15 мкм;қайталанымдылық: ±75 нм
Оңтайландырылған кабельдік маршруттаутаза дизайн және ұзақ мерзімді сенімділік үшін
Теңшелетін конфигурацияларқолданбаға тән қажеттіліктер үшін

Ультра дәлдіктегі дизайн және тікелей жетек, байланыссыз архитектура

SiC керамикалық жақтауыАлюминий қорытпасының қаттылығы ~5 есе және жылу кеңеюі ~5 есе төмендейді, бұл жоғары жылдамдықтағы тұрақтылық пен жылу беріктігі қамтамасыз етеді.
Өтемақыланған ауа мойынтірегіМеншікті дизайн қаттылықты, жүк көтергіштігін және қозғалыс тұрақтылығын арттырады.
Динамикалық өнімділік: Жоғары өнімділіктегі процестер үшін өте қолайлы, 1 м/с жылдамдықты және 4 г үдеуді қолдайды.
Үздіксіз интеграцияДіріл оқшаулау жүйелерімен, айналмалы сатылармен, еңкейту модульдерімен және пластиналарды өңдеу платформаларымен үйлесімді.
Кабельді басқаруБақыланатын иілу радиусы қызмет ету мерзімін ұзарту үшін кернеуді азайтады.

Өзексіз сызықтық қозғалтқыш: Нөлдік бұрылыс күшімен тегіс қозғалыс.
Көп қозғалтқышты жетекЖүктеме жазықтығындағы қозғалтқышты орналастыру түзулікті, жазықтықты және бұрыштық дәлдікті жақсартады.
Жылу оқшаулауыҚозғалтқыштар сахна құрылымынан оқшауланған; жоғары жұмыс циклдары үшін ауамен немесе сумен салқындату қосымша мүмкіндігі бар.

Техникалық сипаттамалары

Модель	400-400	500-500	600-600
Балталар	X (сканерлеу) / Y (қадам)	X (сканерлеу) / Y (қадам)	X (сканерлеу) / Y (қадам)
Жүріс (мм)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Дәлдік (мкм)	±0,15	±0,2	±0,2
Қайталанымдылық (нм)	±75	±100	±100
Ажыратымдылық (нм)	0,3	0,3	0,3
Максималды жылдамдық (м/с)	1	1	1
Үдеу (g)	4	4	4
Түзулік (мкм)	±0,2	±0,3	±0,4
Тұрақтылық (нм)	±5	±5	±5
Максималды жүктеме (кг)	20	20	20
Дыбыс/Айналым/Жау (доға-сек)	±1	±1	±1

Сынақ шарттары:

Ауамен жабдықтау: таза, құрғақ; шық нүктесі ≤ 0°F; бөлшектердің сүзілуі ≤ 0,25 мкм; немесе 99,99% азот.
Дәлдік 20±1 °C температурада, 40–60% ылғалдылықта, сахна орталығынан 25 мм жоғары өлшенді.

Қолданбалар

Жартылай өткізгіш литография, тексеру және пластиналарды өңдеу
Микро/наноөндіріс және дәлдік метрологиясы
Жоғары сапалы оптика өндірісі және интерферометрия
Аэроғарыш және озық ғылыми зерттеулер

Жиі қойылатын сұрақтар – Кремний карбидінің ауа мойынтірек сатысы

1. Ауа өткізгіш саты дегеніміз не?

Ауа өткізгіш саты саты мен бағыттаушы жолдың арасында қысымды ауаның жұқа қабатын пайдаланады, бұл оны қамтамасыз етедіүйкеліссіз, тозбайтын және өте тегіс қозғалысДәстүрлі механикалық мойынтіректерден айырмашылығы, ол жабысып сырғанау мүмкіндігін жояды, нанометрлік дәлдікті қамтамасыз етеді және ұзақ мерзімді сенімділікті қолдайды.

2. Неліктен сахналық құрылым үшін кремний карбидін (SiC) пайдалану керек?

Жоғары қаттылықДинамикалық қозғалыс кезінде деформацияны азайтатын алюминий қорытпасынан шамамен 5 есе көп.
Төмен термиялық кеңею: Алюминийден ~5 есе төмен, температура ауытқулары кезінде дәлдікті сақтайды.
ЖеңілБолатпен салыстырғанда тығыздығы төмен, бұл жоғары жылдамдықты және жоғары үдеуді қамтамасыз етеді.
Тамаша тұрақтылық: Өте дәл позициялау үшін жоғары демпферлеу және қаттылық.

3. Сахнаны майлау немесе күтіп ұстау қажет пе?

Дәстүрлі майлау қажет емес, себебі бармеханикалық байланыс жоқҰсынылатын техникалық қызмет көрсету мыналарды қамтиды:

Жеткізутаза, құрғақ сығылған ауа немесе азот
Сүзгілер мен кептіргіштерді мерзімді тексеру
Бақылау кабельдері мен салқындату жүйелері

4. Ауамен жабдықтауға қойылатын талаптар қандай?

Шық нүктесі: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Бөлшектерді сүзу: ≤ 0,25 мкм
Таза, құрғақ ауа немесе 99,99% таза азот
Минималды ауытқуы бар тұрақты қысым

Біз туралы

XKH арнайы оптикалық шыны мен жаңа кристалды материалдарды жоғары технологиялық әзірлеуге, өндіруге және сатуға маманданған. Біздің өнімдеріміз оптикалық электроникаға, тұтынушылық электроникаға және әскери салаға қызмет көрсетеді. Біз сапфир оптикалық компоненттерін, ұялы телефон линзаларының қақпақтарын, керамиканы, LT, кремний карбиді SIC, кварц және жартылай өткізгіш кристалды пластиналарды ұсынамыз. Білікті тәжірибеміз бен заманауи жабдықтарымызбен біз стандартты емес өнімді өңдеуде табысқа жетеміз, жетекші оптоэлектронды материалдардың жоғары технологиялық кәсіпорыны болуға ұмтыламыз.