4H/6H-P 6 дюймдік SiC пластинасы Нөлдік MPD класы Өндірістік класы Қолданбалы класы
4H/6H-P типті SiC композиттік негіздері Жалпы параметрлер кестесі
6 дюймдік диаметрлі кремний карбиді (SiC) субстраты Техникалық сипаттама
| Бағасы | Нөлдік MPD өндірісіДәреже (Z) (Дәреже) | Стандартты өндірісДәреже (P) (Дәреже) | Жалған дәреже (D (Дәреже) | ||
| Диаметрі | 145,5 мм ~ 150,0 мм | ||||
| Қалыңдығы | 350 мкм ± 25 мкм | ||||
| Вафли бағыты | -Offось: 4H/6H-P үшін [1120] бағытында 2,0°-4,0° ± 0,5°, осьте: 3C-N үшін 111〉± 0,5° | ||||
| Микроқұбыр тығыздығы | 0 см-2 | ||||
| Қарсылық | p-типті 4H/6H-P | ≤0.1 Ωꞏсм | ≤0,3 Ωꞏсм | ||
| n-типті 3C-N | ≤0,8 мΩꞏсм | ≤1 м Ωꞏсм | |||
| Бастапқы жазықтық бағыты | 4H/6H-P | -{1010} ± 5,0° | |||
| 3C-N | -{110} ± 5,0° | ||||
| Бастапқы жазық ұзындық | 32,5 мм ± 2,0 мм | ||||
| Екінші реттік жазық ұзындық | 18,0 мм ± 2,0 мм | ||||
| Екінші реттік жазық бағдар | Кремний беті жоғары қараған: Prime flat-тан 90° CW. ± 5.0° | ||||
| Жиектік ерекшелік | 3 мм | 6 мм | |||
| LTV/TTV/Bow /Warp | ≤2,5 мкм/≤5 мкм/≤15 мкм/≤30 мкм | ≤10 мкм/≤15 мкм/≤25 мкм/≤40 мкм | |||
| Кедір-бұдырлық | Поляк Ra≤1 нм | ||||
| CMP Ra≤0,2 нм | Ra≤0,5 нм | ||||
| Жоғары қарқынды жарықтың әсерінен шеткі жарықтар | Жоқ | Жиынтық ұзындық ≤ 10 мм, жеке ұзындық ≤2 мм | |||
| Жоғары қарқынды жарықпен алтыбұрышты тақтайшалар | Жиынтық аудан ≤0,05% | Жиынтық аудан ≤0,1% | |||
| Жоғары қарқынды жарықпен политипті аймақтар | Жоқ | Жиынтық аудан ≤3% | |||
| Көрнекі көміртегі қоспалары | Жиынтық аудан ≤0,05% | Жиынтық аудан ≤3% | |||
| Жоғары қарқынды жарықпен кремний бетіндегі сызаттар | Жоқ | Жиынтық ұзындық ≤1 × пластина диаметрі | |||
| Қарқынды жарықпен жоғары Edge Chips | Ені мен тереңдігі ≥0,2 мм рұқсат етілмейді | 5 рұқсат етілген, әрқайсысы ≤1 мм | |||
| Кремний бетінің жоғары қарқындылықпен ластануы | Жоқ | ||||
| Қаптама | Көп вафлилі кассета немесе бір вафлилі контейнер | ||||
Ескертпелер:
※ Ақаулық шектеулері жиектің алып тастау аймағынан басқа пластинаның бүкіл бетіне қолданылады. # Сызықтар Si бетінде тексерілуі керек
Нөлдік MPD класы және өндірістік немесе жалған класы бар 4H/6H-P типті 6 дюймдік SiC пластинасы озық электронды қолданбаларда кеңінен қолданылады. Оның тамаша жылу өткізгіштігі, жоғары бұзылу кернеуі және қатал орталарға төзімділігі оны жоғары вольтты қосқыштар мен инверторлар сияқты қуатты электроника үшін өте қолайлы етеді. Нөлдік MPD класы жоғары сенімділік құрылғылары үшін маңызды болып табылатын минималды ақауларды қамтамасыз етеді. Өндірістік класты пластиналар қуатты құрылғыларды және радиожиілікті қолданбаларды ірі көлемде өндіруде қолданылады, мұнда өнімділік пен дәлдік маңызды. Екінші жағынан, жалған класты пластиналар процесті калибрлеу, жабдықты сынау және прототиптеу үшін қолданылады, бұл жартылай өткізгіш өндірістік ортада сапаны тұрақты бақылауды қамтамасыз етеді.
N-типті SiC композиттік негіздерінің артықшылықтарына мыналар жатады
- Жоғары жылу өткізгіштік4H/6H-P SiC пластинасы жылуды тиімді түрде таратады, бұл оны жоғары температуралы және жоғары қуатты электронды қолданбаларға жарамды етеді.
- Жоғары бұзылу кернеуіЖоғары кернеулерді ақаусыз өңдеу қабілеті оны қуат электроникасы мен жоғары кернеулі коммутация қолданбалары үшін өте қолайлы етеді.
- Нөлдік MPD (микроқұбыр ақауы) дәрежесіМинималды ақау тығыздығы жоғары сенімділік пен өнімділікті қамтамасыз етеді, бұл талап етілетін электрондық құрылғылар үшін өте маңызды.
- Жаппай өндіріске арналған өндірістік деңгей: Қатаң сапа стандарттары бар жоғары өнімді жартылай өткізгіш құрылғыларды ірі көлемде өндіруге жарамды.
- Сынақтан өткізу және калибрлеу үшін макет-сыныпЖоғары бағалы өндірістік деңгейдегі пластиналарды пайдаланбай, процесті оңтайландыруға, жабдықты сынауға және прототиптеуге мүмкіндік береді.
Жалпы алғанда, нөлдік MPD класы, өндірістік класы және жалған класы бар 4H/6H-P 6 дюймдік SiC пластиналары жоғары өнімді электрондық құрылғыларды әзірлеу үшін айтарлықтай артықшылықтар ұсынады. Бұл пластиналар жоғары температуралық жұмысты, жоғары қуат тығыздығын және тиімді қуат түрлендіруді қажет ететін қолданбаларда әсіресе пайдалы. Нөлдік MPD класы құрылғының сенімді және тұрақты жұмысы үшін минималды ақауларды қамтамасыз етеді, ал өндірістік класы пластиналар қатаң сапа бақылауымен ірі көлемді өндірісті қолдайды. Жалғау класы пластиналары процестерді оңтайландыру және жабдықты калибрлеу үшін үнемді шешім ұсынады, бұл оларды жоғары дәлдіктегі жартылай өткізгіштерді жасау үшін қажет етеді.
Егжей-тегжейлі диаграмма
