P-типті SiC пластинасы 4H/6H-P 3C-N 6 дюймдік қалыңдығы 350 мкм, бастапқы жазық бағдармен
Техникалық сипаттамасы4H/6H-P типті SiC композиттік негіздері Жалпы параметрлер кестесі
6 дюймдік диаметрлі кремний карбиді (SiC) субстраты Техникалық сипаттама
| Бағасы | Нөлдік MPD өндірісіДәреже (Z) (Дәреже) | Стандартты өндірісДәреже (P) (Дәреже) | Жалған дәреже (D (Дәреже) | ||
| Диаметрі | 145,5 мм ~ 150,0 мм | ||||
| Қалыңдығы | 350 мкм ± 25 мкм | ||||
| Вафли бағыты | -Offось: 4H/6H-P үшін [1120] бағытында 2,0°-4,0° ± 0,5°, осьте: 3C-N үшін 111〉± 0,5° | ||||
| Микроқұбыр тығыздығы | 0 см-2 | ||||
| Қарсылық | p-типті 4H/6H-P | ≤0.1 Ωꞏсм | ≤0,3 Ωꞏсм | ||
| n-типті 3C-N | ≤0,8 мΩꞏсм | ≤1 м Ωꞏсм | |||
| Бастапқы жазықтық бағыты | 4H/6H-P | -{1010} ± 5,0° | |||
| 3C-N | -{110} ± 5,0° | ||||
| Бастапқы жазық ұзындық | 32,5 мм ± 2,0 мм | ||||
| Екінші реттік жазық ұзындық | 18,0 мм ± 2,0 мм | ||||
| Екінші реттік жазық бағдар | Кремний беті жоғары қараған: Prime flat-тан 90° CW. ± 5.0° | ||||
| Жиектік ерекшелік | 3 мм | 6 мм | |||
| LTV/TTV/Bow /Warp | ≤2,5 мкм/≤5 мкм/≤15 мкм/≤30 мкм | ≤10 мкм/≤15 мкм/≤25 мкм/≤40 мкм | |||
| Кедір-бұдырлық | Поляк Ra≤1 нм | ||||
| CMP Ra≤0,2 нм | Ra≤0,5 нм | ||||
| Жоғары қарқынды жарықтың әсерінен шеткі жарықтар | Жоқ | Жиынтық ұзындық ≤ 10 мм, жеке ұзындық ≤2 мм | |||
| Жоғары қарқынды жарықпен алтыбұрышты тақтайшалар | Жиынтық аудан ≤0,05% | Жиынтық аудан ≤0,1% | |||
| Жоғары қарқынды жарықпен политипті аймақтар | Жоқ | Жиынтық аудан ≤3% | |||
| Көрнекі көміртегі қоспалары | Жиынтық аудан ≤0,05% | Жиынтық аудан ≤3% | |||
| Жоғары қарқынды жарықпен кремний бетіндегі сызаттар | Жоқ | Жиынтық ұзындық ≤1 × пластина диаметрі | |||
| Қарқынды жарықпен жоғары Edge Chips | Ені мен тереңдігі ≥0,2 мм рұқсат етілмейді | 5 рұқсат етілген, әрқайсысы ≤1 мм | |||
| Кремний бетінің жоғары қарқындылықпен ластануы | Жоқ | ||||
| Қаптама | Көп вафлилі кассета немесе бір вафлилі контейнер | ||||
Ескертпелер:
※ Ақаулық шектеулері жиектің алып тастау аймағынан басқа пластинаның бүкіл бетіне қолданылады. # Сызықтар Si бетінде тексерілуі керек
6 дюймдік өлшемі және 350 мкм қалыңдығы бар P-типті SiC пластинасы, 4H/6H-P 3C-N, жоғары өнімді қуат электроникасының өнеркәсіптік өндірісінде маңызды рөл атқарады. Оның тамаша жылу өткізгіштігі және жоғары тесілу кернеуі оны электр көліктері, электр желілері және жаңартылатын энергия жүйелері сияқты жоғары температуралы ортада қолданылатын қуат қосқыштары, диодтар және транзисторлар сияқты компоненттерді өндіруге өте ыңғайлы етеді. Пластинаның қатал жағдайларда тиімді жұмыс істеу қабілеті жоғары қуат тығыздығы мен энергия тиімділігін қажет ететін өнеркәсіптік қолданбаларда сенімді жұмыс істеуді қамтамасыз етеді. Сонымен қатар, оның негізгі жазық бағдары құрылғыны жасау кезінде дәл туралауға көмектеседі, өндіріс тиімділігі мен өнімнің үйлесімділігін арттырады.
N-типті SiC композиттік негіздерінің артықшылықтарына мыналар жатады
- Жоғары жылу өткізгіштікP-типті SiC пластиналары жылуды тиімді түрде таратады, бұл оларды жоғары температуралы қолдану үшін өте қолайлы етеді.
- Жоғары бұзылу кернеуі: Жоғары кернеулерге төтеп бере алады, қуат электроникасы мен жоғары вольтты құрылғылардың сенімділігін қамтамасыз етеді.
- Қатал орталарға төзімділік: Жоғары температура және коррозиялық орта сияқты экстремалды жағдайларда тамаша беріктік.
- Тиімді қуат түрлендіруіP-типті қоспа қуатты тиімді өңдеуді жеңілдетеді, бұл пластинаны энергияны түрлендіру жүйелеріне жарамды етеді.
- Бастапқы жазықтық бағытыӨндіріс кезінде дәл туралауды қамтамасыз етеді, құрылғының дәлдігі мен үйлесімділігін жақсартады.
- Жұқа құрылым (350 мкм)Пластинаның оңтайлы қалыңдығы кеңістікті шектейтін озық электрондық құрылғыларға интеграциялауды қолдайды.
Жалпы алғанда, P-типті SiC пластинасы, 4H/6H-P 3C-N, оны өнеркәсіптік және электрондық қолданбаларға өте қолайлы ететін бірқатар артықшылықтарды ұсынады. Оның жоғары жылу өткізгіштігі және бұзылу кернеуі жоғары температуралы және жоғары вольтты ортада сенімді жұмыс істеуге мүмкіндік береді, ал қатал жағдайларға төзімділігі беріктікті қамтамасыз етеді. P-типті қоспа қуатты тиімді түрлендіруге мүмкіндік береді, бұл оны энергетикалық электроника және энергетикалық жүйелер үшін өте қолайлы етеді. Сонымен қатар, пластинаның негізгі жазық бағыты өндіріс процесінде дәл туралауды қамтамасыз етеді, өндірістің тұрақтылығын арттырады. Қалыңдығы 350 мкм болғандықтан, ол озық, ықшам құрылғыларға интеграциялауға өте қолайлы.
Егжей-тегжейлі диаграмма
