4 дюймдік 6 дюймдік литий ниобаты монокристалды пленка LNOI пластинасы

4 дюймдік 6 дюймдік литий ниобаты монокристалды пленка LNOI вафли Таңдаулы сурет

Қысқаша сипаттама:

Литий ниобаты тамаша электро-оптикалық, сызықты емес және пьезоэлектрлік қасиеттерге ие. Жетілдірілген микро және нано өңдеу технологиясының көмегімен оқшаулағыштардағы литий ниобаты жұқа қабықшалары (LNOI) негізінде біріктірілген фотоникалық құрылғылар кеңінен әзірленді. Болашақта жоғары өнімді LNOI материалдары LNOI негізіндегі микро-нанооптиканың, біріктірілген фотониканың және микротолқынды фотониканың одан әрі дамуына қолдау көрсетеді. Жоғары өнімді LNOI материалдарын өндіру литий ниобаты оптоэлектроника құрылғыларын өнеркәсіптік қолданудағы маңызды қадам болады.

Бізге электрондық поштаны жіберіңіз

Өнімнің егжей-тегжейі

Өнім тегтері

LNOI материалдарын дайындау процесі негізінен келесі төрт кезеңге бөлінеді

(1) Ол иондары X-кесілген литий ниобат материалына белгілі бір энергиямен енгізілді және литий ниобатының беткі қабатынан төмен белгілі бір тереңдікте ақаулық қабатқа енгізілді;

(2) Иондық имплантацияланған литий ниобат материалы байланыс құрылымын қалыптастыру үшін оксид қабаты бар кремний субстратына қосылады;

(3) Байланыс құрылымы He ионының имплантациясы арқылы енгізілген ақаулардың дамуы және жарықтар түзу үшін біріктірілуі үшін күйдірілді. Ақырында, литий ниобаты қалдық литий ниобаты тілімдері мен LNOI пластинкаларын қалыптастыру үшін ақаулық қабат бойымен бөлінді.

LNOI пластинкасының қолданылуы мен артықшылықтары

1--Литий ниобаты пьезоэлектрлік пленкалардың (LNOI) жоғары пьезоэлектрлік коэффициенті және диэлектрлік өтімділігі бар, олар механикалық энергияны электр энергиясына немесе электр энергиясын механикалық энергияға айналдыра алады. Сондықтан ол қысым датчиктері, жеделдету сенсорлары, температура сенсорлары және т.б. сияқты сенсорлар саласында кеңінен қолданылады. Сонымен қатар, литий ниобаты пьезоэлектрлік пленка акустикалық құрылғыларда және діріл құрылғыларында, мысалы, пьезоэлектрлік керамикалық түрлендіргіш кешенді пьезоэлектрлік керамикалық сүзгіде де қолданыла алады.

2-Литий ниобаты пьезоэлектрлік пленканың тұрақтылығы да оның артықшылықтарының бірі болып табылады. Кристалл құрылымының тұрақтылығы мен химиялық инерттілігіне байланысты литий ниобаты пьезоэлектрлік пленкасы жоғары температурада, жоғары ылғалдылықта, күшті қышқылда, күшті сілтіде және басқа да қатал ортада жақсы коррозияға төзімділігімен және беріктігімен жұмыс істей алады.

3-литий ниобаты пьезоэлектрлік пленка - бұл тамаша өнімділігі мен тұрақтылығы бар жаңа пьезоэлектрлік материал және кең қолдану перспективасы бар. Ғылым мен технологияның үздіксіз дамуымен литий ниобаты пьезоэлектрлік пленкасы көптеген қалаларда қолданылып, адамдардың өміріне көбірек ыңғайлылық пен инновациялар әкеледі.