8 дюймдік литий ниобаты пластинасы LiNbO3 LN пластинасы
Толық ақпарат
| Диаметрі | 200±0,2 мм |
| негізгі жазықтық | 57,5 мм, ойық |
| Бағыт | 128Y-кесу, X-кесу, Z-кесу |
| Қалыңдығы | 0,5±0,025мм, 1,0±0,025мм |
| Беткі қабат | DSP және SSP |
| TTV | < 5 мкм |
| САДА | ± (20µm ~40μm) |
| Верб | <= 20µm ~ 50µm |
| LTV (5ммx5мм) | <1,5 мкм |
| PLTV(<0,5 мкм) | ≥98% (5мм*5мм), 2мм жиегі алынып тасталған |
| Ra | Ra<=5A |
| Scratch & Dig (S/D) | 20/10, 40/20, 60/40 |
| Шеткі | C типті кәдімгі SEMI M1.2@GC800# арқылы танысыңыз. |
Нақты сипаттамалар
Диаметрі: 8 дюйм (шамамен 200 мм)
Қалыңдығы: Жалпы стандартты қалыңдығы 0,5 мм-ден 1 мм-ге дейін. Басқа қалыңдықтарды нақты талаптарға сәйкес реттеуге болады.
Кристалл бағыты: Негізгі жалпы кристалл бағыты - 128Y кесіндісі, Z кесіндісі және X кесіндісі, ал нақты қолданысқа байланысты басқа кристалл бағыттары қамтамасыз етілуі мүмкін.
Өлшемінің артықшылықтары: 8 дюймдік серрата тұқы вафлилерінің кішірек вафлилерге қарағанда бірнеше өлшемдік артықшылықтары бар:
Үлкенірек аумақ: 6 дюймдік немесе 4 дюймдік пластиналармен салыстырғанда, 8 дюймдік пластиналар үлкенірек беткі аумақты қамтамасыз етеді және көбірек құрылғылар мен интегралды схемаларды орналастыра алады, бұл өндіріс тиімділігі мен өнімділіктің артуына әкеледі.
Жоғары тығыздық: 8 дюймдік пластиналарды пайдалану арқылы бір аймақта көбірек құрылғылар мен компоненттерді жүзеге асыруға болады, бұл интеграция мен құрылғы тығыздығын арттырады, бұл өз кезегінде құрылғының өнімділігін арттырады.
Жақсырақ консистенция: Үлкен пластиналар өндіріс процесінде жақсы консистенцияға ие, бұл өндіріс процесіндегі өзгергіштікті азайтуға және өнімнің сенімділігі мен консистенциясын жақсартуға көмектеседі.
8 дюймдік L және LN пластиналарының диаметрі негізгі кремний пластиналарымен бірдей және оларды жабыстыру оңай. Жоғары жиілікті диапазондарды өңдей алатын жоғары өнімді «жалғастырылған ARW сүзгісі» материалы ретінде.
Егжей-тегжейлі диаграмма





