6 дюймдік GaN-On-Sapphire

Қысқаша сипаттама:

150мм 6 дюймдік GaN кремний/сапфир/SiC эпи-қабатты вафли Галлий нитриді эпитаксиалды пластина

6 дюймдік сапфир субстрат пластинасы - сапфир субстратында өсірілген галий нитриді (GaN) қабаттарынан тұратын жоғары сапалы жартылай өткізгіш материал.Материал тамаша электронды тасымалдау қасиеттеріне ие және жоғары қуатты және жоғары жиілікті жартылай өткізгіш құрылғыларды өндіру үшін өте қолайлы.

Бізге электрондық поштаны жіберіңіз

Өнімнің егжей-тегжейі

Өнім тегтері

150мм 6 дюймдік GaN кремний/сапфир/SiC эпи-қабатты вафли Галлий нитриді эпитаксиалды пластина

Өндіріс әдісі: Өндіріс процесі металл-органикалық химиялық булардың тұндыру (MOCVD) немесе молекулярлық сәуле эпитаксисі (MBE) сияқты озық әдістерді қолдана отырып, сапфир субстратында GaN қабаттарын өсіруді қамтиды.Тұндыру процесі жоғары кристалды сапасы мен біркелкі пленканы қамтамасыз ету үшін бақыланатын жағдайларда жүзеге асырылады.

6 дюймдік GaN-On-Sapphire қолданбалары: 6 дюймдік сапфир субстрат чиптері микротолқынды байланыста, радар жүйелерінде, сымсыз технологияда және оптоэлектроникада кеңінен қолданылады.

Кейбір жалпы қолданбалар кіреді

1. Rf қуат күшейткіші

2. Жарықдиодты жарықтандыру өнеркәсібі

3. Сымсыз желілік байланыс жабдығы

4. Жоғары температуралы ортадағы электронды құрылғылар

5. Оптоэлектронды құрылғылар

Өнімнің техникалық сипаттамалары

- Өлшем: субстрат диаметрі 6 дюйм (шамамен 150 мм).

- Бет сапасы: тамаша айна сапасын қамтамасыз ету үшін беті жақсы жылтыратылған.

- Қалыңдығы: GaN қабатының қалыңдығын арнайы талаптарға сәйкес реттеуге болады.

- Қаптама: Тасымалдау кезінде зақымдануды болдырмау үшін субстрат антистатикалық материалдармен мұқият оралған.

- Орналастыру жиектері: субстратта құрылғыны дайындау кезінде туралау мен жұмыс істеуді жеңілдететін арнайы орналасу жиектері бар.

- Басқа параметрлер: Жұқалық, меншікті кедергі және допинг концентрациясы сияқты ерекше параметрлерді тұтынушы талаптарына сәйкес реттеуге болады.

6 дюймдік сапфирді субстрат пластиналары жоғары материалдық қасиеттерімен және әртүрлі қолданбаларымен әртүрлі салаларда өнімділігі жоғары жартылай өткізгіш құрылғыларды әзірлеу үшін сенімді таңдау болып табылады.

Субстрат	6” 1мм <111> p-түрі Si	6” 1мм <111> p-түрі Si
Эпи ҚалыңОрта	~5ум	~7ум
Epi ThickUnif	<2%	<2%
Садақ	+/-45 мм	+/-45 мм
Крекинг	<5мм	<5мм
Vertical BV	>1000В	>1400В
HEMT Al%	25-35%	25-35%
HEMT ҚалыңОрт	20-30нм	20-30нм
Insitu SiN қақпағы	5-60нм	5-60нм
2DEG конц.	~10¹³cm^-2	~10¹³cm^-2
Ұтқырлық	~2000см²/Vs (<2%)	~2000см²/Vs (<2%)
Rsh	<330 Ом/кв (<2%)	<330 Ом/кв (<2%)