8 дюймдік литий ниобаты вафли LiNbO3 LN пластинасы
Толық ақпарат
Диаметрі | 200±0,2мм |
негізгі тегістік | 57,5 мм, ойық |
Бағдарлау | 128Y-Cut, X-Cut, Z-Cut |
Қалыңдығы | 0,5±0,025мм, 1,0±0,025мм |
Беткей | DSP және SSP |
TTV | < 5 мкм |
ТАҒАМ | ± (20μm ~40um) |
Бұрыш | <= 20µm ~ 50µm |
LTV (5ммх5мм) | <1,5 мм |
PLTV(<0,5um) | ≥98% (5мм*5мм) 2мм жиегі қосылмаған |
Ra | Ra<=5А |
Scratch & Dig (S/D) | 20/10, 40/20, 60/40 |
Жиек | GC800# арқылы SEMI M1.2@ танысыңыз. С типіндегі тұрақты |
Арнайы спецификациялар
Диаметрі: 8 дюйм (шамамен 200 мм)
Қалыңдығы: Жалпы стандартты қалыңдығы 0,5 мм-ден 1 мм-ге дейін ауытқиды. Басқа қалыңдықтарды арнайы талаптарға сәйкес реттеуге болады
Кристалл бағдары: Негізгі жалпы кристалдық бағдар 128Y-кесу, Z-кесу және X-кесу кристалды бағдарлау болып табылады және басқа кристалдық бағдар арнайы қолданбаға байланысты қамтамасыз етілуі мүмкін.
Өлшемнің артықшылықтары: 8 дюймдік серрата тұқы вафлилері кішігірім вафлилерге қарағанда бірнеше өлшемді артықшылықтарға ие:
Үлкен аумақ: 6-дюймдік немесе 4-дюймдік пластиналармен салыстырғанда, 8-дюймдік пластиналар бетінің үлкен ауданын қамтамасыз етеді және көбірек құрылғылар мен интегралды схемаларды орналастыра алады, нәтижесінде өндіріс тиімділігі мен кірістілік артады.
Жоғары тығыздық: 8 дюймдік пластиналарды пайдалану арқылы бір аймақта көбірек құрылғылар мен құрамдас бөліктерді жүзеге асыруға болады, бұл интеграцияны және құрылғы тығыздығын арттырады, бұл өз кезегінде құрылғы өнімділігін арттырады.
Жақсырақ консистенция: Үлкен пластиналар өндіріс процесінде жақсырақ консистенциясы бар, бұл өндіріс процесіндегі өзгермелілікті азайтуға және өнімнің сенімділігі мен консистенциясын жақсартуға көмектеседі.
8 дюймдік L және LN пластиналары негізгі кремний пластиналарымен бірдей диаметрге ие және оңай жабыстырылады. Жоғары жиілік диапазондарын өңдей алатын жоғары өнімді «біріктірілген SAW сүзгісі» материалы ретінде.