Екі станциялы шаршы машина монокристалды кремний таяқшасын өңдеу 6/8/12 дюймдік бетінің тегістігі Ra≤0,5μm

Екі станциялы төртбұрышты машина монокристалды кремний таяқшасын өңдеу 6/8/12 дюйм бетінің тегістігі Ra≤0,5μm Таңдаулы сурет

Қысқаша сипаттама:

Монокристалды кремний қос станциясының шаршы машинасы монокристалды кремний таяқшаларын (құйма) өңдеуге арналған тиімді жабдық болып табылады. Ол қос станцияның синхронды жұмыс дизайнын қабылдайды және бір уақытта екі кремний таяқшасын кесіп, өндіріс тиімділігін айтарлықтай арттырады. Құрылғы цилиндрлік кремний шыбықтарын алмас сым кесу технологиясы немесе ішкі дөңгелек аралау дискілері арқылы төртбұрышты/квази шаршы кремний блоктарына (Грит) өңдейді, кейіннен кесуге (мысалы, кремний пластинкаларын жасау) дайындайды және фотоэлектрлік және жартылай өткізгіштер өнеркәсібінде кремний материалын өңдеу сілтемелерінде кеңінен қолданылады.

Бізге электрондық поштаны жіберіңіз

Өнімнің егжей-тегжейі

Өнім тегтері

Жабдық сипаттамалары:

(1) Қос станцияны синхронды өңдеу
· Екі есе тиімділік: екі кремний шыбықтарын (Ø6"-12") бір уақытта өңдеу Simplex жабдықтарына қарағанда өнімділікті 40%-60% арттырады.

· Тәуелсіз басқару: Әр станция кремний штангасының әртүрлі сипаттамаларына бейімделу үшін кесу параметрлерін (кернеу, беру жылдамдығы) дербес реттей алады.

(2) Жоғары дәлдіктегі кесу
· Өлшемдік дәлдік: шаршы жолақ бүйіріндегі қашықтыққа төзімділік ±0,15мм, диапазон ≤0,20мм.

· Бетінің сапасы: кескіш жиектің сынуы <0,5 мм, кейінгі тегістеу мөлшерін азайтыңыз.

(3) Интеллектуалды басқару
· Бейімделетін кесу: кремний таяқшасының морфологиясын нақты уақыт режимінде бақылау, кесу жолын динамикалық реттеу (мысалы, майысқан кремний штангасын өңдеу).

· Деректерді қадағалау: MES жүйесінің қондырылуын қолдау үшін әрбір кремний таяқшасының өңдеу параметрлерін жазып алыңыз.

(4) Төмен тұтыну құны
· Алмаз сым шығыны: ≤0,06м/мм (кремний таяқшасының ұзындығы), сым диаметрі ≤0,30мм.

· Салқындатқыш сұйықтықтың айналымы: сүзу жүйесі қызмет ету мерзімін ұзартады және қалдық сұйықтықты жоюды азайтады.

Технологиялар мен дамудың артықшылықтары:

(1) Кесу технологиясын оңтайландыру
- Көп сызықты кесу: 100-200 алмаз сызықтары параллель қолданылады, ал кесу жылдамдығы ≥40мм/мин.

- Кернеуді бақылау: сымның үзілу қаупін азайту үшін жабық контурды реттеу жүйесі (±1N).

(2) Үйлесімділік кеңейтімі
- Материалдық бейімделу: TOPCon, HJT және басқа жоғары тиімді батарея кремний шыбықтарымен үйлесімді P-типті/N-типті монокристалды кремнийді қолдау.

- Икемді өлшемі: кремний таяқшасының ұзындығы 100-950 мм, шаршы таяқтың бүйірлік қашықтығы 166-233 мм реттеледі.

(3) Автоматтандыруды жаңарту
- Роботты тиеу және түсіру: кремний шыбықтарын автоматты түрде тиеу/түсіру, соғу ≤3 минут.

- Интеллектуалды диагностика: жоспарланбаған тоқтау уақытын азайту үшін болжамды техникалық қызмет көрсету.

(4) Салалық көшбасшылық
- Вафельді қолдау: шаршы таяқшалары бар ≥100μm ультра жұқа кремнийді өңдей алады, фрагментация жылдамдығы <0,5%.

- Энергияны тұтынуды оңтайландыру: кремний таяқшасының бірлігіне энергия шығыны 30%-ға төмендейді (дәстүрлі жабдықпен салыстырғанда).

Техникалық параметрлері:

Параметр атауы	Индекс мәні
Өңделген жолақтардың саны	2 дана/жинақ
Өңдеу жолағы ұзындығы диапазоны	100~950мм
Өңдеу маржа диапазоны	166~233мм
Кесу жылдамдығы	≥40мм/мин
Алмаз сымның жылдамдығы	0~35м/с
Алмаз диаметрі	0,30 мм немесе одан аз
Сызықтық тұтыну	0,06 м/мм немесе одан аз
Үйлесімді дөңгелек өзек диаметрі	Дайын шаршы шыбықтың диаметрі +2 мм, жылтырату жылдамдығын қамтамасыз етіңіз
Үздік сынуды бақылау	Шикі жиегі ≤0,5 мм, жоңқасы жоқ, бетінің сапасы жоғары
Доға ұзындығының біркелкілігі	Проекция диапазоны <1,5 мм, кремний таяқшасының бұрмалануын қоспағанда
Машина өлшемдері (бір машина)	4800×3020×3660мм
Жалпы номиналды қуат	56 кВт
Жабдықтың өлі салмағы	12т

Өңдеу дәлдігі индексінің кестесі:

Дәлдік элемент	Төзімділік диапазоны
Шаршы жолақ жиегіне төзімділік	±0,15мм
Шаршы жолақ жиектерінің ауқымы	≤0,20мм
Шаршы таяқшаның барлық жағындағы бұрыш	90°±0,05°
Шаршы таяқшаның тегістігі	≤0,15мм
Роботтың қайталанатын орналасу дәлдігі	±0,05мм

XKH қызметтері:

XKH монокристалды кремнийлі қос станциялы машиналарға толық циклді қызметтерді ұсынады, соның ішінде жабдықты теңшеу (үлкен кремний өзектерімен үйлесімді), процесті іске қосу (кесу параметрін оңтайландыру), операциялық оқыту және сатудан кейінгі қолдау (негізгі бөлшектерді жеткізу, қашықтан диагностика), тұтынушылардың жоғары өнімділікке қол жеткізуін қамтамасыз ету (>99%) және төмен тұтыну шығындарын өндіруді қамтамасыз ету (жұмыс құнын қысқарту және техникалық өнімді азайту). Жеткізу мерзімі 2-4 ай.