FZ CZ Si вафли қоймасында 12 дюймдік кремний пластинасы Prime немесе Test
Вафельді қораппен таныстыру
Жылтыратылған вафли
Айна бетін алу үшін екі жағынан арнайы жылтыратылған кремний пластиналары. Тазалық пен тегістік сияқты жоғары сипаттамалар бұл вафлидің ең жақсы сипаттамаларын анықтайды.
Қоспасыз кремний пластиналары
Олар сондай-ақ ішкі кремний пластиналары ретінде белгілі. Бұл жартылай өткізгіш пластинада ешқандай қоспасыз кремнийдің таза кристалды түрі болып табылады, осылайша оны идеалды және тамаша жартылай өткізгіш етеді.
Қоспаланған кремний пластиналары
N-типі және P-типі - легирленген кремний пластинкаларының екі түрі.
N-типті легирленген кремний пластиналары құрамында мышьяк немесе фосфор бар. Ол озық CMOS құрылғыларын жасауда кеңінен қолданылады.
Бор қоспасы бар P-типті кремний пластиналары. Көбінесе ол баспа схемаларын немесе фотолитографияны жасау үшін қолданылады.
Эпитаксиалды пластиналар
Эпитаксиалды пластиналар - бетінің тұтастығын алу үшін қолданылатын кәдімгі пластиналар. Эпитаксиалды пластиналар қалың және жұқа пластиналар түрінде болады.
Көп қабатты эпитаксиалды пластиналар мен қалың эпитаксиалды пластиналар энергияны тұтынуды және құрылғылардың қуатын басқаруды реттеу үшін де қолданылады.
Жұқа эпитаксиалды пластиналар әдетте жоғары MOS аспаптарында қолданылады.
SOI вафлилері
Бұл пластиналар бір кристалды кремнийдің жұқа қабаттарын бүкіл кремний пластинкасынан электрлік оқшаулау үшін қолданылады. SOI пластиналары әдетте кремний фотоникасында және жоғары өнімділік радиожиілік қолданбаларында қолданылады. SOI пластиналары микроэлектрондық құрылғылардағы паразиттік құрылғының сыйымдылығын азайту үшін де қолданылады, бұл өнімділікті жақсартуға көмектеседі.
Неліктен вафельді өндіру қиын?
12 дюймдік кремний пластиналары кірістілік тұрғысынан кесу өте қиын. Кремний қатты болғанымен, ол сынғыш. Кесілген пластинаның жиектері сынуға бейім болғандықтан, өрескел аймақтар жасалады. Алмаз дискілер пластинаның шеттерін тегістеу және кез келген зақымдануды жою үшін қолданылады. Кесілгеннен кейін вафли оңай сынады, өйткені олардың енді өткір жиектері бар. Вафли жиектері нәзік, өткір жиектер жойылып, сырғып кету мүмкіндігі төмендетілетін етіп жасалған. Жиектерді қалыптау операциясының нәтижесінде пластинаның диаметрі реттеледі, пластинаны дөңгелектендіреді (кесілгеннен кейін кесілген вафли сопақ болады), ойықтар немесе бағдарланған жазықтықтар жасалады немесе өлшемдері алынады.