SiC Si сапфиріне арналған ионды сәулелік жылтырату машинасы

Сапфир SiC Si үшін иондық сәулені жылтырату машинасы Таңдаулы кескін

Қысқаша сипаттама:

Иондық сәулені кескіндеу және жылтырату машинасы принципіне негізделгениондардың шашырауы. Жоғары вакуумды камераның ішінде ион көзі плазманы тудырады, ол жоғары энергиялы иондық сәулеге айналады. Бұл сәуле оптикалық компоненттің бетін бомбалайды, бетті өте дәл түзетуге және әрлеуге қол жеткізу үшін атомдық масштабтағы материалды алып тастайды.

Бізге электрондық поштаны жіберіңіз

Ерекше өзгешеліктері

Егжей-тегжейлі диаграмма

Иондық сәулелік жылтырату машинасының өніміне шолу

Иондық сәулені кескіндеу және жылтырату машинасы иондарды шашырату принципіне негізделген. Жоғары вакуумды камераның ішінде ион көзі плазманы тудырады, ол жоғары энергиялы иондық сәулеге айналады. Бұл сәуле оптикалық компоненттің бетін бомбалайды, бетті өте дәл түзетуге және әрлеуге қол жеткізу үшін атомдық масштабтағы материалды алып тастайды.

Байланыссыз процесс ретінде иондық сәулені жылтырату механикалық кернеуді жояды және жер асты қабатының зақымдалуын болдырмайды, бұл астрономияда, аэроғарышта, жартылай өткізгіштерде және алдыңғы қатарлы зерттеулерде қолданылатын жоғары дәлдіктегі оптиканы өндіру үшін өте қолайлы етеді.

Иондық сәулемен жылтырату машинасының жұмыс істеу принципі

Иондардың генерациясы
Инертті газ (мысалы, аргон) вакуумдық камераға енгізіледі және плазманы қалыптастыру үшін электр разряды арқылы иондалады.

Жеделдету және сәулені қалыптастыру
Иондар бірнеше жүз немесе мың электрон вольтқа (эВ) дейін үдетіліп, тұрақты, фокусталған сәулелік нүктеге айналады.

Материалды жою
Иондар сәулесі химиялық реакцияларды бастамастан атомдарды беткейден физикалық түрде шашыратады.

Қатені анықтау және жолды жоспарлау
Беттік фигураның ауытқулары интерферометриямен өлшенеді. Жою функциялары тұру уақытын анықтау және оңтайландырылған құрал жолдарын жасау үшін қолданылады.

Жабық циклды түзету
Өңдеу мен өлшеудің итерациялық циклдері RMS/PV дәлдігі мақсаттарына жеткенше жалғасады.

Иондық сәулелік жылтырату машинасының негізгі ерекшеліктері

Әмбебап беттік үйлесімділік– Тегіс, сфералық, асфералық және еркін пішінді беттерді өңдейді

Өте тұрақты жою жылдамдығы– Суб-нанометрлік фигураны түзетуді қосады

Зақымсыз өңдеу– Жер қойнауында ақаулар немесе құрылымдық өзгерістер жоқ

Тұрақты өнімділік– Әртүрлі қаттылықтағы материалдарда бірдей жақсы жұмыс істейді

Төмен/орта жиілікті түзету– Орташа/жоғары жиілікті артефактілерді жасамай қателерді жояды

Төмен техникалық қызмет көрсету талабы– Ең аз тоқтап қалумен ұзақ үздіксіз жұмыс

Иондық сәулелік жылтырату машинасының негізгі техникалық сипаттамалары

Элемент	Техникалық сипаттама
Өңдеу әдісі	Жоғары вакуумды ортада иондардың шашырауы
Өңдеу түрі	Беттерді жанаспайтын кескіндеу және жылтырату
Дайындаманың максималды өлшемі	Φ4000 мм
Қозғалыс осьтері	3-ось / 5-ось
Жою тұрақтылығы	≥95%
Беттік дәлдік	PV < 10 нм; RMS ≤ 0,5 нм (әдеттегі RMS < 1 нм; PV < 15 нм)
Жиіліктерді түзету мүмкіндігі	Орташа/жоғары жиілікті қателерді енгізбестен төмен-орта жиілік қателерін жояды
Үздіксіз жұмыс	3–5 апта вакуумды жөндеусіз
Техникалық қызмет көрсету құны	Төмен

Иондық сәулелік жылтырату машинасының өңдеу мүмкіндіктері

Қолдау көрсетілетін бет түрлері

Қарапайым: жазық, сфералық, призма

Кешен: симметриялық/ассиметриялық асфера, осьтен тыс асфера, цилиндрлік

Арнайы: ультра жұқа оптика, пластинкалы оптика, жарты шар оптика, конформды оптика, фазалық пластиналар, еркін пішінді беттер

Қолдау көрсетілетін материалдар

Оптикалық шыны: кварц, микрокристалды, K9 және т.б.

Инфрақызыл материалдар: кремний, германий және т.б.

Металдар: алюминий, тот баспайтын болат, титан қорытпасы және т.б.

Кристалдар: YAG, монокристалды кремний карбиді және т.б.

Қатты/сынғыш материалдар: кремний карбиді және т.б.

Беттің сапасы/дәлдігі

PV < 10 нм

RMS ≤ 0,5 нм

Иондық сәулелік жылтырату машинасының мысалдарын өңдеу

1-жағдай – Стандартты тегіс айна

Дайындама: D630 мм кварц тегіс

Нәтиже: PV 46,4 нм; RMS 4,63 нм

2-жағдай – Рентген сәулелерін шағылыстыратын айна

Дайындама: 150 × 30 мм кремний жалпақ

Нәтиже: PV 8,3 нм; RMS 0,379 нм; Көлбеу 0,13 мкрад

3-жағдай – осьтен тыс айна

Дайындама: D326 мм осьтен тыс жердегі айна

Нәтиже: PV 35,9 нм; RMS 3,9 нм

Кварц көзілдірігі туралы жиі қойылатын сұрақтар

Жиі қойылатын сұрақтар – Иондық сәулені жылтырату машинасы

1-сұрақ: Иондық сәулені жылтырату дегеніміз не?
A1:Иондық сәулемен жылтырату - дайындаманың бетінен материалды алу үшін иондардың шоғырланған шоғырын (мысалы, аргон иондары) пайдаланатын жанаспайтын процесс. Иондар тездетіліп, бетіне қарай бағытталады, бұл атомдық деңгейдегі материалды жоюға әкеледі, нәтижесінде өте тегіс аяқталады. Бұл процесс механикалық кернеу мен жер асты зақымдануын жояды, бұл оны дәл оптикалық компоненттер үшін өте қолайлы етеді.

2-сұрақ: Иондық сәулелік жылтырату машинасы беттердің қандай түрлерін өңдей алады?
A2:TheИондық сәулемен жылтырату машинасысияқты қарапайым оптикалық компоненттерді қоса алғанда, әртүрлі беттерді өңдей аладыжазықтар, шарлар және призмалар, сондай-ақ күрделі геометриялар сияқтыасфералар, осьтен тыс асфералар, жәнееркін пішінді беттер. Бұл әсіресе оптикалық шыны, инфрақызыл оптика, металдар және қатты/сынғыш материалдар сияқты материалдарда тиімді.

3-сұрақ: Иондық сәулені жылтырату машинасы қандай материалдармен жұмыс істей алады?
A3:TheИондық сәулемен жылтырату машинасыматериалдардың кең ауқымын жылтыратуға болады, соның ішінде:

Оптикалық шыны: кварц, микрокристалды, K9 және т.б.
Инфрақызыл материалдар: кремний, германий және т.б.
Металдар: Алюминий, тот баспайтын болат, титан қорытпасы және т.б.
Кристалды материалдар: YAG, монокристалды кремний карбиді және т.б.
Басқа қатты/сынғыш материалдар: кремний карбиді және т.б.

Біз туралы

XKH арнайы оптикалық шыны мен жаңа кристалды материалдарды жоғары технологиялық әзірлеуге, өндіруге және сатуға маманданған. Біздің өнімдер оптикалық электроникаға, тұрмыстық электроникаға және әскерге қызмет етеді. Біз Sapphire оптикалық компоненттерін, ұялы телефон линзаларының қақпақтарын, Ceramics, LT, Silicon Carbide SIC, кварц және жартылай өткізгіш кристалды пластиналарды ұсынамыз. Білікті тәжірибе мен озық жабдықтармен біз стандартты емес өнімді өңдеуде озық боламыз, оптоэлектрондық материалдардың жоғары технологиялық жетекші кәсіпорны болуға ұмтыламыз.