Сапфир SiC Si үшін иондық сәулелік жылтырату машинасы

Қысқаша сипаттама:

Иондық сәулені пішіндеу және жылтырату машинасы иондық тозаңдату принципіне негізделген. Жоғары вакуумды камераның ішінде ион көзі плазманы түзеді, ол жоғары энергиялы иондық сәулеге үдетіледі. Бұл сәуле оптикалық компоненттің бетін бомбалайды, аса дәл бетті түзету және әрлеу үшін материалды атомдық масштабта жояды.

Бізге электрондық пошта жіберіңіз

Ерекше өзгешеліктері

Егжей-тегжейлі диаграмма

Иондық сәулелік жылтырату машинасының өніміне шолу

Байланыссыз процесс ретінде иондық сәулелерді жылтырату механикалық кернеуді жояды және жер асты зақымдануын болдырмайды, бұл оны астрономияда, аэроғарыштық салада, жартылай өткізгіштерде және озық зерттеу қолданбаларында қолданылатын жоғары дәлдіктегі оптика өндірісі үшін өте қолайлы етеді.

Иондық сәулелік жылтырату машинасының жұмыс принципі

Ион генерациясы
Инертті газ (мысалы, аргон) вакуумдық камераға енгізіліп, плазма түзу үшін электр разряды арқылы иондалады.

Үдеу және сәуленің пайда болуы
Иондар бірнеше жүз немесе мың электронвольтқа (эВ) дейін үдетіліп, тұрақты, фокусталған сәулелік нүктеге айналады.

Материалды алып тастау
Иондық сәуле химиялық реакцияларды бастамай, атомдарды бетінен физикалық түрде шашыратады.

Қателерді анықтау және жолды жоспарлау
Беттік фигураның ауытқулары интерферометриямен өлшенеді. Алып тастау функциялары тоқтау уақытын анықтау және оңтайландырылған құрал жолдарын жасау үшін қолданылады.

Тұйық циклді түзету
Өңдеу мен өлшеудің итеративті циклдері RMS/PV дәлдік мақсаттарына жеткенше жалғасады.

Иондық сәулелік жылтырату машинасының негізгі ерекшеліктері

Әмбебап беттік үйлесімділік– Жазық, сфералық, сфералық емес және еркін пішінді беттерді өңдейді

Өте тұрақты жою жылдамдығы– Нанометрден төмен фигураларды түзетуді қосады

Зақымсыз өңдеу– Жер асты ақаулары немесе құрылымдық өзгерістер жоқ

Тұрақты өнімділік– Әртүрлі қаттылықтағы материалдарда бірдей жақсы жұмыс істейді

Төмен/орташа жиілікті түзету– Орташа/жоғары жиілікті артефактілерді тудырмай қателерді жояды

Төмен техникалық қызмет көрсету талаптары– Минималды тоқтап қалу уақытымен ұзақ үздіксіз жұмыс

Иондық сәулелік жылтырату машинасының негізгі техникалық сипаттамалары

Тауар	Техникалық сипаттама
Өңдеу әдісі	Жоғары вакуумды ортада иондық шашырау
Өңдеу түрі	Байланыссыз бетті пішіндеу және жылтырату
Дайындаманың максималды өлшемі	Φ4000 мм
Қозғалыс осьтері	3 осьті / 5 осьті
Алып тастау тұрақтылығы	≥95%
Беттік дәлдік	PV < 10 нм; RMS ≤ 0,5 нм (әдеттегі RMS < 1 нм; PV < 15 нм)
Жиілікті түзету мүмкіндігі	Орташа/жоғары жиілікті қателерді енгізбей, төмен-орташа жиілікті қателерді жояды
Үздіксіз жұмыс	Шаңсорғышпен күтімсіз 3-5 апта
Техникалық қызмет көрсету құны	Төмен

Иондық сәулелік жылтырату машинасының өңдеу мүмкіндіктері

Қолдау көрсетілетін бет түрлері

Қарапайым: жалпақ, сфералық, призмалық

Күрделі: Симметриялы/асимметриялық асфера, осьтен тыс асфера, цилиндрлік

Арнайы: Ультра жұқа оптика, пластиналы оптика, жартылай сфералық оптика, конформды оптика, фазалық пластиналар, еркін пішінді беттер

Қолдау көрсетілетін материалдар

Оптикалық әйнек: кварц, микрокристалды, K9 және т.б.

Инфрақызыл материалдар: кремний, германий және т.б.

Металдар: алюминий, тот баспайтын болат, титан қорытпасы және т.б.

Кристалдар: YAG, монокристалды кремний карбиді және т.б.

Қатты/сынғыш материалдар: кремний карбиді және т.б.

Беттік сапа / дәлдік

PV < 10 нм

RMS ≤ 0,5 нм

Иондық сәулелік жылтырату машинасын өңдеу бойынша кейс-стадилер

1-жағдай – Стандартты жалпақ айна

Дайындама: D630 мм кварц жалпақ

Нәтиже: PV 46,4 нм; RMS 4,63 нм

2-жағдай – Рентгендік шағылыстырғыш айна

Дайындама: 150 × 30 мм жалпақ силикон

Нәтиже: PV 8,3 нм; RMS 0,379 нм; Көлбеу 0,13 мкрад

3-жағдай – Осьтен тыс айна

Дайындама: D326 мм осьтен тыс жерге қаратылған айна

Нәтиже: PV 35,9 нм; RMS 3,9 нм

Кварц көзілдірігі туралы жиі қойылатын сұрақтар

Жиі қойылатын сұрақтар – Иондық сәулелік жылтырату машинасы

1-сұрақ: Иондық сәулемен жылтырату дегеніміз не?
A1:Иондық сәулемен жылтырату - бұл дайындама бетінен материалды кетіру үшін иондардың (мысалы, аргон иондары) шоғырланған сәулесін пайдаланатын жанаспайтын процесс. Иондар үдетіліп, бетке бағытталған, бұл атом деңгейіндегі материалды кетіруге әкеледі, нәтижесінде өте тегіс әрлеу пайда болады. Бұл процесс механикалық кернеу мен жер асты зақымдарын жояды, бұл оны дәл оптикалық компоненттер үшін өте қолайлы етеді.

2-сұрақ: Иондық сәулелік жылтырату машинасы қандай беттерді өңдей алады?
A2:TheИондық сәулелік жылтырату машинасысияқты қарапайым оптикалық компоненттерді қоса алғанда, әртүрлі беттерді өңдей аладыжазықтықтар, сфералар және призмалар, сондай-ақ күрделі геометриялар сияқтыасфералар, осьтен тыс асфераларжәнееркін пішінді беттерБұл әсіресе оптикалық әйнек, инфрақызыл оптика, металдар және қатты/сынғыш материалдар сияқты материалдарда тиімді.

С3: Иондық сәулелік жылтырату машинасы қандай материалдармен жұмыс істей алады?
A3:TheИондық сәулелік жылтырату машинасысияқты материалдарды қоса алғанда, әртүрлі материалдарды жылтырата алады:

Оптикалық әйнек: Кварц, микрокристалды, K9 және т.б.
Инфрақызыл материалдар: Кремний, германий және т.б.
Металдар: Алюминий, тот баспайтын болат, титан қорытпасы және т.б.
Кристалдық материалдарYAG, монокристалды кремний карбиді және т.б.
Басқа қатты/сынғыш материалдар: Кремний карбиді және т.б.

Біз туралы

XKH арнайы оптикалық шыны мен жаңа кристалды материалдарды жоғары технологиялық әзірлеуге, өндіруге және сатуға маманданған. Біздің өнімдеріміз оптикалық электроникаға, тұтынушылық электроникаға және әскери салаға қызмет көрсетеді. Біз сапфир оптикалық компоненттерін, ұялы телефон линзаларының қақпақтарын, керамиканы, LT, кремний карбиді SIC, кварц және жартылай өткізгіш кристалды пластиналарды ұсынамыз. Білікті тәжірибеміз бен заманауи жабдықтарымызбен біз стандартты емес өнімді өңдеуде табысқа жетеміз, жетекші оптоэлектронды материалдардың жоғары технологиялық кәсіпорыны болуға ұмтыламыз.