LiTaO3 Вафли 2 дюйм-8 дюйм 10x10x0,5 мм 1сп 2сп 5G/6G байланысы үшін

Қысқаша сипаттама:

Үшінші буындағы жартылай өткізгіштер мен оптоэлектроникадағы негізгі материал болып табылатын LiTaO3 вафли (литий танталат пластинасы) өзінің жоғары Кюри температурасын (610°C), кең мөлдірлік диапазонын (0,4–5,0 мкм), жоғары пьезоэлектрлік коэффициентін (d33 > 1500 pCδ2) және төмен диэлектриктік жоғалтуды пайдаланады. 5G байланысын, фотонды интеграцияны және кванттық құрылғыларды төңкеріске айналдырды. Физикалық буларды тасымалдау (PVT) және химиялық буларды тұндыру (CVD) сияқты озық өндіріс технологияларын пайдалана отырып, XKH бетінің кедір-бұдыры (Ra) <0,5 нм және микроқұбырдың тығыздығы <0,5 нм және микроқұбырдың тығыздығы бар 2–8 дюймдік пішімдерде X/Y/Z-кесілген, 42°Y-кесілген және мерзімді полюсті (PPLT) пластиналар береді. Біздің қызметтеріміз жоғары өнімді оптикалық сүзгілерге, инфрақызыл детекторларға және кванттық жарық көздеріне бағытталған Fe қоспасын, химиялық редукцияны және Smart-Cut гетерогенді интеграциясын қамтиды. Бұл материал миниатюризацияда, жоғары жиілікті жұмыста және термиялық тұрақтылықта серпіліс жасайды, маңызды технологиялардағы отандық алмастыруды жеделдетеді.


  • :
  • Ерекше өзгешеліктері

    Техникалық параметрлер

    Аты Оптикалық дәрежелі LiTaO3 Дыбыс үстелінің деңгейі LiTaO3
    Осьтік Z кесу + / - 0,2 ° 36 ° Y кесу / 42 ° Y кесу / X кесу

    (+ / - 0,2 °)

    Диаметрі 76,2 мм + / - 0,3 мм/

    100±0,2мм

    76,2 мм + /-0,3 мм

    100мм + /-0,3мм 0р 150±0,5мм

    Мәліметтер жазықтығы 22мм + / - 2мм 22мм + /-2мм

    32мм + /-2мм

    Қалыңдығы 500um + /-5мм

    1000um + /-5мм

    500um + /-20мм

    350um + /-20мм

    TTV ≤ 10um ≤ 10um
    Кюри температурасы 605 °C + / - 0,7 °C (DTA әдісі) 605 °C + / -3 °C (DTAәдісі
    Бетінің сапасы Екі жақты жылтырату Екі жақты жылтырату
    Кесілген жиектер жиегін дөңгелектеу жиегін дөңгелектеу

     

    Негізгі сипаттамалар

    1.Электрлік және оптикалық өнімділік
    · Электро-оптикалық коэффициент: r33 30 pm/V жетеді (X-cut), LiNbO3-тен 1,5× жоғары, ультра кең жолақты электрооптикалық модуляцияны (>40 ГГц өткізу қабілеттілігі) қосады.
    · Кең спектрлік жауап: беру диапазоны 0,4–5,0 мкм (қалыңдығы 8 мм), ультракүлгін сәулелерді сіңіру жиегі 280 нм-ге дейін, УК лазерлері мен кванттық нүкте құрылғылары үшін өте қолайлы.
    · Төмен пироэлектрлік коэффициент: dP/dT = 3,5×10⁻⁴ C/(m²·K), жоғары температуралы инфрақызыл сенсорларда тұрақтылықты қамтамасыз етеді.

    2. Жылулық және механикалық қасиеттер
    · Жоғары жылуөткізгіштік: 4,6 Вт/м·К (X-кесу), кварцтан төрт есе көп, -200–500°C жылу циклін сақтайды.
    · Төмен термиялық кеңею коэффициенті: CTE = 4,1×10⁻⁶/K (25–1000°C), термиялық кернеуді азайту үшін кремний қаптамасымен үйлесімді.
    3. Ақауларды бақылау және өңдеу дәлдігі
    · Микроқұбырдың тығыздығы: <0,1 см⁻² (8 дюймдік пластиналар), дислокация тығыздығы <500 см⁻² (KOH ою арқылы расталған).
    · Бетінің сапасы: Ra <0,5 нм дейін CMP жылтыратылған, EUV литографиялық дәрежедегі тегістік талаптарына сай.

    Негізгі қолданбалар

    домен

    Қолдану сценарийлері

    Техникалық артықшылықтар

    Оптикалық байланыстар

    100G/400G DWDM лазерлері, кремний фотоникасының гибридті модульдері

    LiTaO3 пластинаның кең спектрлік берілістері және төмен толқын өткізгіштік жоғалуы (α <0,1 дБ/см) C диапазонын кеңейтуге мүмкіндік береді.

    5G/6G байланыстары

    SAW сүзгілері (1,8–3,5 ГГц), BAW-SMR сүзгілері

    42°Y-кесілген пластиналар Kt² >15% жетеді, бұл кірістіру кезінде аз шығынды (<1,5 дБ) және жоғары оралуды (>30 дБ) қамтамасыз етеді.

    Кванттық технологиялар

    Бір фотонды детекторлар, параметрлік төмен түрлендіру көздері

    Жоғары сызықтық емес коэффициент (χ(2)=40 pm/V) және төмен қараңғы санау жылдамдығы (<100 санау/с) кванттық дәлдікті арттырады.

    Өнеркәсіптік зондтау

    Жоғары температура қысымды датчиктер, ток трансформаторлары

    LiTaO3 пластинаның пьезоэлектрлік реакциясы (g33 >20 мВ/м) және жоғары температураға төзімділігі (>400°C) төтенше орталарға сәйкес келеді.

     

    XKH қызметтері

    1.Таңдамалы вафли өндірісі

    · Өлшем және кесу: X/Y/Z-кесілген, 42°Y-кесілген және реттелетін бұрыштық кесілген 2–8 дюймдік пластиналар (±0,01° төзімділік).

    · Допингтік бақылау: электрооптикалық коэффициенттер мен термиялық тұрақтылықты оңтайландыру үшін Чохральски әдісі арқылы Fe, Mg қоспасы (концентрация диапазоны 10¹⁶–10¹⁹ см⁻³).

    2. Advanced Process Technologies
    ?
    · Periodic Poling (PPLT): LTOI пластинкаларына арналған Smart-Cut технологиясы, ±10 нм домен периодының дәлдігіне және квазифазалық сәйкес (QPM) жиілікті түрлендіруге қол жеткізу.

    · Гетерогенді интеграция: жоғары жиілікті SAW сүзгілері үшін қалыңдығын бақылау (300–600 нм) және жылу өткізгіштігі 8,78 Вт/м·К дейінгі Si негізіндегі LiTaO3 композиттік пластиналар (POI).

    3.Сапа менеджменті жүйелері
    ?
    · Үздіксіз тестілеу: Раман спектроскопиясы (политипті тексеру), XRD (кристалдылық), AFM (беттік морфология) және оптикалық біркелкі тестілеу (Δn <5×10⁻⁵).

    4.Жаһандық жеткізу тізбегін қолдау
    ?
    · Өндіріс қуаты: Ай сайынғы өнім >5 000 вафли (8 дюймдік: 70%), 48 сағаттық төтенше жағдайда жеткізу.

    · Логистикалық желі: Еуропа, Солтүстік Америка және Азия-Тынық мұхиты аймағында температура реттелетін қаптамамен әуе/теңіз жүктері арқылы қамту.

    Лазерлік голографиялық контрафактілікке қарсы құрал 2
    Лазерлік голографиялық контрафактілікке қарсы құрал 3
    Лазерлік голографиялық контрафактілікке қарсы құрал 5

  • Алдыңғы:
  • Келесі:

  • Хабарламаңызды осы жерге жазып, бізге жіберіңіз