LiTaO3 Вафли 2 дюйм-8 дюйм 10x10x0,5 мм 1сп 2сп 5G/6G байланысы үшін
Техникалық параметрлер
Аты | Оптикалық дәрежелі LiTaO3 | Дыбыс үстелінің деңгейі LiTaO3 |
Осьтік | Z кесу + / - 0,2 ° | 36 ° Y кесу / 42 ° Y кесу / X кесу (+ / - 0,2 °) |
Диаметрі | 76,2 мм + / - 0,3 мм/ 100±0,2мм | 76,2 мм + /-0,3 мм 100мм + /-0,3мм 0р 150±0,5мм |
Мәліметтер жазықтығы | 22мм + / - 2мм | 22мм + /-2мм 32мм + /-2мм |
Қалыңдығы | 500um + /-5мм 1000um + /-5мм | 500um + /-20мм 350um + /-20мм |
TTV | ≤ 10um | ≤ 10um |
Кюри температурасы | 605 °C + / - 0,7 °C (DTA әдісі) | 605 °C + / -3 °C (DTAәдісі |
Бетінің сапасы | Екі жақты жылтырату | Екі жақты жылтырату |
Кесілген жиектер | жиегін дөңгелектеу | жиегін дөңгелектеу |
Негізгі сипаттамалар
1.Электрлік және оптикалық өнімділік
· Электро-оптикалық коэффициент: r33 30 pm/V жетеді (X-cut), LiNbO3-тен 1,5× жоғары, ультра кең жолақты электрооптикалық модуляцияны (>40 ГГц өткізу қабілеттілігі) қосады.
· Кең спектрлік жауап: беру диапазоны 0,4–5,0 мкм (қалыңдығы 8 мм), ультракүлгін сәулелерді сіңіру жиегі 280 нм-ге дейін, УК лазерлері мен кванттық нүкте құрылғылары үшін өте қолайлы.
· Төмен пироэлектрлік коэффициент: dP/dT = 3,5×10⁻⁴ C/(m²·K), жоғары температуралы инфрақызыл сенсорларда тұрақтылықты қамтамасыз етеді.
2. Жылулық және механикалық қасиеттер
· Жоғары жылуөткізгіштік: 4,6 Вт/м·К (X-кесу), кварцтан төрт есе көп, -200–500°C жылу циклін сақтайды.
· Төмен термиялық кеңею коэффициенті: CTE = 4,1×10⁻⁶/K (25–1000°C), термиялық кернеуді азайту үшін кремний қаптамасымен үйлесімді.
3. Ақауларды бақылау және өңдеу дәлдігі
· Микроқұбырдың тығыздығы: <0,1 см⁻² (8 дюймдік пластиналар), дислокация тығыздығы <500 см⁻² (KOH ою арқылы расталған).
· Бетінің сапасы: Ra <0,5 нм дейін CMP жылтыратылған, EUV литографиялық дәрежедегі тегістік талаптарына сай.
Негізгі қолданбалар
домен | Қолдану сценарийлері | Техникалық артықшылықтар |
Оптикалық байланыстар | 100G/400G DWDM лазерлері, кремний фотоникасының гибридті модульдері | LiTaO3 пластинаның кең спектрлік берілістері және төмен толқын өткізгіштік жоғалуы (α <0,1 дБ/см) C диапазонын кеңейтуге мүмкіндік береді. |
5G/6G байланыстары | SAW сүзгілері (1,8–3,5 ГГц), BAW-SMR сүзгілері | 42°Y-кесілген пластиналар Kt² >15% жетеді, бұл кірістіру кезінде аз шығынды (<1,5 дБ) және жоғары оралуды (>30 дБ) қамтамасыз етеді. |
Кванттық технологиялар | Бір фотонды детекторлар, параметрлік төмен түрлендіру көздері | Жоғары сызықтық емес коэффициент (χ(2)=40 pm/V) және төмен қараңғы санау жылдамдығы (<100 санау/с) кванттық дәлдікті арттырады. |
Өнеркәсіптік зондтау | Жоғары температура қысымды датчиктер, ток трансформаторлары | LiTaO3 пластинаның пьезоэлектрлік реакциясы (g33 >20 мВ/м) және жоғары температураға төзімділігі (>400°C) төтенше орталарға сәйкес келеді. |
XKH қызметтері
1.Таңдамалы вафли өндірісі
· Өлшем және кесу: X/Y/Z-кесілген, 42°Y-кесілген және реттелетін бұрыштық кесілген 2–8 дюймдік пластиналар (±0,01° төзімділік).
· Допингтік бақылау: электрооптикалық коэффициенттер мен термиялық тұрақтылықты оңтайландыру үшін Чохральски әдісі арқылы Fe, Mg қоспасы (концентрация диапазоны 10¹⁶–10¹⁹ см⁻³).
2. Advanced Process Technologies
?
· Periodic Poling (PPLT): LTOI пластинкаларына арналған Smart-Cut технологиясы, ±10 нм домен периодының дәлдігіне және квазифазалық сәйкес (QPM) жиілікті түрлендіруге қол жеткізу.
· Гетерогенді интеграция: жоғары жиілікті SAW сүзгілері үшін қалыңдығын бақылау (300–600 нм) және жылу өткізгіштігі 8,78 Вт/м·К дейінгі Si негізіндегі LiTaO3 композиттік пластиналар (POI).
3.Сапа менеджменті жүйелері
?
· Үздіксіз тестілеу: Раман спектроскопиясы (политипті тексеру), XRD (кристалдылық), AFM (беттік морфология) және оптикалық біркелкі тестілеу (Δn <5×10⁻⁵).
4.Жаһандық жеткізу тізбегін қолдау
?
· Өндіріс қуаты: Ай сайынғы өнім >5 000 вафли (8 дюймдік: 70%), 48 сағаттық төтенше жағдайда жеткізу.
· Логистикалық желі: Еуропа, Солтүстік Америка және Азия-Тынық мұхиты аймағында температура реттелетін қаптамамен әуе/теңіз жүктері арқылы қамту.


