5G/6G байланысы үшін LiTaO3 пластинасы 2 дюйм-8 дюйм 10x10x0.5 мм 1sp 2sp
Техникалық параметрлер
| Аты | Оптикалық дәрежелі LiTaO3 | Дыбыс кестесінің деңгейі LiTaO3 |
| Осьтік | Z кесіндісі + / - 0,2 ° | 36 ° Y кесу / 42 ° Y кесу / X кесу (+ / - 0,2 °) |
| Диаметрі | 76,2 мм + / - 0,3 мм/ 100±0,2 мм | 76,2 мм + /-0,3 мм 100 мм + /-0,3 мм 0р 150±0,5 мм |
| Деректер жазықтығы | 22 мм + / - 2 мм | 22 мм + /-2 мм 32 мм + /-2 мм |
| Қалыңдығы | 500 мкм + /-5 мм 1000 мкм + /-5 мм | 500 мкм + /-20 мм 350 мкм + /-20 мм |
| TTV | ≤ 10 мкм | ≤ 10 мкм |
| Кюри температурасы | 605 °C + / - 0,7 °C (DTA әдісі) | 605 °C + / -3 °C (DTAәдісі |
| Беткі сапасы | Екі жақты жылтырату | Екі жақты жылтырату |
| Қиғашталған жиектер | жиекті дөңгелектеу | жиекті дөңгелектеу |
Негізгі сипаттамалары
1. Электрлік және оптикалық өнімділік
· Электро-оптикалық коэффициент: r33 30 pm/V (X-кесу) жетеді, бұл LiNbO3-тен 1,5 есе жоғары, бұл ультра кең жолақты электро-оптикалық модуляцияны (>40 ГГц өткізу қабілеті) қамтамасыз етеді.
· Кең спектрлі жауап: Өткізу диапазоны 0,4–5,0 мкм (қалыңдығы 8 мм), ультракүлгін сәулеленудің жұтылу шеті 280 нм-ге дейін, ультракүлгін лазерлер мен кванттық нүктелік құрылғылар үшін өте қолайлы.
· Төмен пироэлектрлік коэффициент: dP/dT = 3,5×10⁻⁴ C/(м²·K), жоғары температуралы инфрақызыл сенсорлардың тұрақтылығын қамтамасыз етеді.
2. Жылулық және механикалық қасиеттер
· Жоғары жылу өткізгіштік: 4,6 Вт/м·К (X-кесу), кварцтықынан төрт есе жоғары, -200–500°C жылу циклін сақтайды.
· Төмен жылулық кеңею коэффициенті: CTE = 4.1×10⁻⁶/K (25–1000°C), жылулық кернеуді азайту үшін кремний қаптамасымен үйлесімді.
3. Ақауларды бақылау және өңдеу дәлдігі
· Микроқұбыр тығыздығы: <0,1 см⁻² (8 дюймдік пластиналар), дислокация тығыздығы <500 см⁻² (KOH ою арқылы расталған).
· Бетінің сапасы: Ra <0,5 нм дейін CMP жылтыратылған, EUV литографиялық деңгейдегі жазықтық талаптарына сәйкес келеді.
Негізгі қолданбалар
| Домен | Қолдану сценарийлері | Техникалық артықшылықтар |
| Оптикалық байланыс | 100G/400G DWDM лазерлері, кремний фотоникасының гибридті модульдері | LiTaO3 пластинасының кең спектрлік өткізгіштігі және толқын өткізгіштің төмен шығыны (α <0,1 дБ/см2) C-диапазонының кеңеюіне мүмкіндік береді. |
| 5G/6G байланысы | SAW сүзгілері (1,8–3,5 ГГц), BAW-SMR сүзгілері | 42°Y кесілген пластиналар Kt² >15% -ға жетеді, бұл төмен кірістіру шығынын (<1,5 дБ) және жоғары домалауды (>30 дБ) қамтамасыз етеді. |
| Кванттық технологиялар | Бір фотонды детекторлар, параметрлік төмен түрлендіру көздері | Жоғары сызықтық емес коэффициент (χ(2)=40 pm/V) және төмен қараңғы санау жылдамдығы (<100 санау/с) кванттық дәлдікті арттырады. |
| Өнеркәсіптік зондтау | Жоғары температуралы қысым датчиктері, ток трансформаторлары | LiTaO3 пластинасының пьезоэлектрлік реакциясы (g33 >20 мВ/м) және жоғары температураға төзімділігі (>400°C) экстремалды орталарға сәйкес келеді. |
XXKH қызметтері
1. Тапсырыс бойынша пластина жасау
· Өлшемі және кесу: X/Y/Z кесуімен, 42°Y кесуімен және арнайы бұрыштық кесулері бар 2–8 дюймдік пластиналар (±0,01° төзімділік).
· Допинг-бақылау: Электроптикалық коэффициенттерді және термиялық тұрақтылықты оңтайландыру үшін Чохральский әдісі арқылы Fe, Mg легирлеу (концентрация диапазоны 10¹⁶–10¹⁹ см⁻³).
2. Жетілдірілген технологиялық технологиялар
?
· Периодты поляризация (PPLT): LTOI пластиналарына арналған Smart-Cut технологиясы, ±10 нм домендік период дәлдігіне және квазифазалық сәйкестендіру (QPM) жиілік түрлендіруіне қол жеткізеді.
· Гетерогенді интеграция: жоғары жиілікті SAW сүзгілері үшін қалыңдығын бақылау (300–600 нм) және жылу өткізгіштігі 8,78 Вт/м·К дейін болатын Si негізіндегі LiTaO3 композиттік пластиналары (POI).
3. Сапа менеджменті жүйелері
?
· Толық тестілеу: Раман спектроскопиясы (политипті тексеру), XRD (кристаллдылық), AFM (беттік морфология) және оптикалық біркелкілікті тексеру (Δn <5×10⁻⁵).
4. Әлемдік жеткізу тізбегін қолдау
?
· Өндірістік қуаттылығы: Ай сайынғы өндіріс >5000 пластина (8 дюйм: 70%), 48 сағат ішінде жедел жеткізумен.
· Логистикалық желі: Еуропада, Солтүстік Америкада және Азия-Тынық мұхиты аймағында температура бақыланатын қаптамамен әуе/теңіз жүктері арқылы тасымалдау.









